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化学溶液分解法制备LaNiO_3薄膜的研究 被引量：7
1
作者 李亚巍 孟祥建 +4 位作者 于剑 王根水 孙璟兰 褚君浩 张伟风 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期269-272,共4页
采用化学溶液分解法直接在单晶Si(10 0 )衬底上制备了LaNiO3 薄膜 ,研究了不同热处理气氛 (空气和氧气 )对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅 (PZT)薄膜的影响 .结果发现二种气氛得到的LaNiO3 薄膜的电阻率相差较... 采用化学溶液分解法直接在单晶Si(10 0 )衬底上制备了LaNiO3 薄膜 ,研究了不同热处理气氛 (空气和氧气 )对薄膜的结晶性、晶粒尺寸、电阻率以及其上面生长的锆钛酸铅 (PZT)薄膜的影响 .结果发现二种气氛得到的LaNiO3 薄膜的电阻率相差较大 ,其中在氧气中制备的薄膜电阻率仅为在空气中得到的 1/ 2 .对LaNiO3 薄膜的导电机制进行了讨论 . 展开更多
关键词 化学溶液分解法 镍酸镧薄膜 锆钛酸铅 电阻率 CSD 退火气氛 光电材料
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LaNiO_3/PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_3/LaNiO_3的疲劳特性研究 被引量：1
2
作者 王根水 赵强 +3 位作者 孟祥建 石富文 孙璟兰 褚君浩 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第1期72-75,共4页
采用化学溶液法在Si基衬底上制备了PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3异质结构。X-射线衍射测量结果表明,制备的PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3异质结构中PbZr0.4Ti0.6O3薄膜呈高度(100)择优取向;原子力显微镜测量表明制备的PbZr0.4Ti0.6O3薄膜的表面平整... 采用化学溶液法在Si基衬底上制备了PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3异质结构。X-射线衍射测量结果表明,制备的PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3异质结构中PbZr0.4Ti0.6O3薄膜呈高度(100)择优取向;原子力显微镜测量表明制备的PbZr0.4Ti0.6O3薄膜的表面平整、均匀、结构致密;RT-66A测量表明,400 kV/cm的外加电场下,LaNiO3/PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3结构具有优良的铁电性,剩余极化强度为14.6μC/cm2,矫顽电场为41 kV/cm。翻转1×108次极化下降小于10%,显示了很好的疲劳特性。并进一步研究了Pb含量对PbZr0.4Ti0.6O3薄膜的微结构和极化特性的影响。 展开更多
关键词 lanio3薄膜 PbZr0.4Ti0.6O3铁电薄膜 异质结构 疲劳特性
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不同衬底上LaN iO_3导电氧化物薄膜的制备和研究 被引量：2
3
作者 李建康 姚熹 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期318-322,共5页
通过MOD法和快速热处理过程,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了LaN iO3(LNO)导电氧化物薄膜。经XRD结构分析表明,所制备的LNO薄膜具有纯的钙钛矿结构,并且以(100)方向择优取向。经SEM和AFM分析表明,LNO薄膜具有表面均匀、无裂... 通过MOD法和快速热处理过程,在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备了LaN iO3(LNO)导电氧化物薄膜。经XRD结构分析表明,所制备的LNO薄膜具有纯的钙钛矿结构,并且以(100)方向择优取向。经SEM和AFM分析表明,LNO薄膜具有表面均匀、无裂纹。经标准四探针法测试表明,LNO薄膜具有好的金属特性,其室温电阻率为7.6×10-4Ω.cm。铁电性能测试表明,LNO薄膜可以提高PZT铁电薄膜的剩余极化强度。 展开更多
关键词 lanio3薄膜 快速热处理 钙钛矿结构
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LaNiO_3衬底上Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3铁电薄膜及梯度薄膜的制备和研究 被引量：2
4
作者 李建康 姚熹 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第5期512-516,共5页
报道了在镍酸镧(LaNiO3,简称LNO)衬底上锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,简称PZT]铁电薄膜及其成分梯度薄膜的结构、介电性能、铁电性能以及热释电性能.首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3薄膜,再通过溶胶-凝胶(s... 报道了在镍酸镧(LaNiO3,简称LNO)衬底上锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,简称PZT]铁电薄膜及其成分梯度薄膜的结构、介电性能、铁电性能以及热释电性能.首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3薄膜,再通过溶胶-凝胶(sol-gel)法,在LNO/Si(100)衬底上制备出Pb(Zr0.80Ti0.20)O3[PZT(80/20)]和Pb(Zr0.20Ti0.80)O3[PZT(20/80)]铁电薄膜及其成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的梯度薄膜进行了成分深度分析,结果证实成分梯度的存在.经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.经介电频谱测试表明,梯度薄膜的介电常数比每个单元的介电常数要大,但介电损耗相近.在10kHz下,梯度薄膜的介电常数和介电损耗分别为317和0.057.经电滞回线的测试表明,梯度薄膜的剩余极化强度比每个单元都大,而矫顽场却明显较小.梯度薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为29.96μC·cm-2和54.12kV·cm-1.经热释电性能测试表明,室温下梯度薄膜的热释电系数为5.54×10-8C·cm-·2K-1,高于每个单元的热释电系数. 展开更多
关键词 lanio3薄膜 成分梯度薄膜 锆钛酸铅 热释电系数
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Sol-Gel法在不同衬底上制备的LaNiO_3导电薄膜的性能研究 被引量：2
5
作者 汪静 姚熹 《山东科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第6期94-97,共4页
采用溶胶凝胶法快速成膜工艺分别在Si(100),SiO2/Si,Pt/Ti/SiO2/Si不同基底上制备LaNiO3导电薄膜,并分别以LNO和Pt/Ti为基底制备PZT薄膜。通过XRD,AFM,EDS等测试手段对LNO导电薄膜的结构及组成进行表征,并通过XRD,介电性能的测试比较LNO... 采用溶胶凝胶法快速成膜工艺分别在Si(100),SiO2/Si,Pt/Ti/SiO2/Si不同基底上制备LaNiO3导电薄膜,并分别以LNO和Pt/Ti为基底制备PZT薄膜。通过XRD,AFM,EDS等测试手段对LNO导电薄膜的结构及组成进行表征,并通过XRD,介电性能的测试比较LNO/Si和Pt/Ti沉积PZT薄膜的性能。结果表明,在Si(100),Pt/Ti/SiO2/Si上制备的LaNiO3导电薄膜是赝立方结构,而在SiO2/Si衬底上是四方结构。在Si(100)上得到的LNO薄膜致密、平整,可以作为制备PZT薄膜的导电层。在LNO和Pt/Ti上制备的PZT薄膜均为钙钛矿结构,且PZT/LNO薄膜各衍射峰强度优于PZT/Pt/Ti;而介电性能方面,PZT/LNO较PZT/Pt/Ti稍差,100kHz时,PZT/LNO和PZT/Pt/Ti的介电常数和介电损耗分别为562,0.29;408,0.037。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 lanio3薄膜 PZT薄膜 XRD AFM 介电性能
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溅射工艺对LaNiO_3薄膜结构的影响 被引量：1
6
作者 张丛春 石金川 +1 位作者 刘兴刚 杨春生 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期215-217,共3页
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜。通过原位加热或后续热处理使薄膜晶化。借助X-ray衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺对薄膜显微结构的影响。实验结果表明,溅射时是否加热对... 采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜。通过原位加热或后续热处理使薄膜晶化。借助X-ray衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺对薄膜显微结构的影响。实验结果表明,溅射时是否加热对薄膜的结晶取向影响很大,而氧分压则影响La/Ni比。衬底不加热时,通过后续热处理得到多晶的随机取向薄膜,而当溅射时原位加热300℃,则得到有明显(100)择优取向的薄膜。 展开更多
关键词 溅磁控溅射 镍酸镧薄膜 择优取向 沉积温度
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在LaNiO_3衬底上(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的制备和研究
7
作者 刘兴 赵帮岭 李建康 《苏州科技学院学报（工程技术版）》 CAS 2012年第1期56-59,共4页
首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3(LNO)薄膜,再通过溶胶-凝胶(sol-gel)法,在LNO/Si(100)衬底上制备出(PbxLa1-x)TiO3(PLT)铁电薄膜。经XRD分析表明,LNO薄膜具有(100)择优取向的类钙钛矿结构,PLT/LNO/Si... 首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3(LNO)薄膜,再通过溶胶-凝胶(sol-gel)法,在LNO/Si(100)衬底上制备出(PbxLa1-x)TiO3(PLT)铁电薄膜。经XRD分析表明,LNO薄膜具有(100)择优取向的类钙钛矿结构,PLT/LNO/Si薄膜具有四方相钙钛矿结构,同时以(100)择优取向。最后对薄膜的介电性和铁电性进行了测试,发现薄膜介电常数适中,铁电性良好。 展开更多
关键词 lanio3薄膜 镧钛酸铅 铁电性质
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氧压对脉冲激光沉积LaNiO_3薄膜结构和电学性能的影响
8
作者 王光明 张铭 +2 位作者 李廷先 郭宏瑞 严辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B04期325-327,331,共4页
通过改变氧分压,利用脉冲激光沉积方法在Si(100)衬底上制备了系列LaNiO3导电氧化物薄膜;经XRD测试研究发现,通过调控氧压,可获得具有高(100)取向薄膜,且氧压对薄膜结晶性有很大影响,在氧分压为7.5Pa时获得结晶性最好的薄膜。经XRF分析表... 通过改变氧分压,利用脉冲激光沉积方法在Si(100)衬底上制备了系列LaNiO3导电氧化物薄膜;经XRD测试研究发现,通过调控氧压,可获得具有高(100)取向薄膜,且氧压对薄膜结晶性有很大影响,在氧分压为7.5Pa时获得结晶性最好的薄膜。经XRF分析表明,La、Ni元素化学成分计量比随氧压增大而减小。经四探针法测试,薄膜电阻率最小为2.03×10-4Ω.cm,表现出了良好的金属导电性。经SEM和AFM分析表明,薄膜晶粒为柱状晶,排列均匀致密,薄膜表面均匀,粗糙度较小,表明LaNiO3薄膜可以用作一种良好的铁电薄膜底电极材料。 展开更多
关键词 lanio3薄膜 氧压 脉冲激光沉积 SI衬底
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退火升温速率对LaNiO_3薄膜结构和电学性能的影响
9
作者 姜涛 祝元坤 +3 位作者 赵爽 李磊 余远根 王现英 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期424-429,共6页
采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si(100)衬底上制备了镍酸镧(LaNiO3,LNO)薄膜,并利用XRD、SEM、AFM和半导体参数分析仪等研究了退火升温速率对LNO薄膜结构和电学性能的影响。结果表明,溶胶-凝胶法制备的LNO薄膜呈现赝立方钙钛矿型多晶结构,呈(1... 采用溶胶-凝胶法在SiO2/Si(100)衬底上制备了镍酸镧(LaNiO3,LNO)薄膜,并利用XRD、SEM、AFM和半导体参数分析仪等研究了退火升温速率对LNO薄膜结构和电学性能的影响。结果表明,溶胶-凝胶法制备的LNO薄膜呈现赝立方钙钛矿型多晶结构,呈(110)择优取向生长;薄膜表面平整、均匀、无裂纹。随着退火升温速率的增加,LNO薄膜的晶粒尺寸先增大后减小;其电阻率先减小后增大。在退火升温速率为20℃/min时,LNO薄膜晶粒尺寸达到最大值94nm,电阻率达到最小值9.5×10-4Ω·m。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 lanio3薄膜 退火升温速率 电阻率
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LaNiO_3纳米陶瓷薄膜氧敏特性的研究 被引量：7
10
作者 侯峰 阴育新 徐廷献 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 2000年第6期693-696,共4页
以 L a(NO3) 3· 6 H2 O和 Ni(NO3) 2 · 6 H2 O为原料 ,采用柠檬酸为螯合剂 ,利用溶胶 -凝胶法合成了钙钛矿型稀土复合氧化物 L a Ni O3纳米陶瓷薄膜 。
关键词 lanio3薄膜 SOL-GEL法 氧敏特性 纳米陶瓷薄膜
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