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一种PN结隔离互补双极工艺 被引量：3
1
作者 欧宏旗 刘伦才 +1 位作者 胡明雨 税国华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期548-552,共5页
介绍了几种互补双极工艺的结构和特点,详细阐述了一种基于N型外延的PN结隔离互补双极工艺;着重探讨了隔离制作技术和PNP管设计要点,并对实际流片结果进行了讨论。
关键词 互补双极工艺 隔离技术 pnp晶体管 高速放大器
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