煎炸食用油质量变化的同步荧光光谱研究 被引量：26

1

作者 贾艳华 徐晓轩 +3 位作者 杨仁杰 梁骏 周新勇 张存洲 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1717-1720,共4页

利用同步扫描荧光光谱法,并结合红外吸收光谱法对经过高温煎炸的几种食用油进行了分析和研究.实验发现,与新油相比煎炸后的食用油在370～380 nm附近的荧光峰消失,表明一些营养物质（如维生素E）的挥发或分解;而461 nm和479 nm附近出现... 利用同步扫描荧光光谱法,并结合红外吸收光谱法对经过高温煎炸的几种食用油进行了分析和研究.实验发现,与新油相比煎炸后的食用油在370～380 nm附近的荧光峰消失,表明一些营养物质（如维生素E）的挥发或分解;而461 nm和479 nm附近出现的新荧光峰,和红外光谱区1745 cm附近的红外吸收增加表明油样中含有羰基C＝O基团的物质的增加.从而表明荧光光谱方法可以用来对煎炸食用油进行检测. 展开更多

关键词 同步扫描荧光光谱法 红外吸收光谱法 煎炸食用油 羰基基团

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BaTiO_3凝胶合成的红外吸收光谱研究 被引量：8

2

作者 陈志雄 周方桥 +1 位作者 潘祥生 刘梅冬 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第2期168-175,共8页

以丁醇钛和醋酸钡为原材料,醋酸为化学添加剂,用溶胶-凝胶方法制备成凝胶,经过700℃热处理后,得到具有四方钙钛矿结构的 BaTiO_3结晶氧化物。红外吸收光谱分析表明,醋酸不仅作为催化剂,而且也作为配位取代物起作用;醋酸根二配位取代丁... 以丁醇钛和醋酸钡为原材料,醋酸为化学添加剂,用溶胶-凝胶方法制备成凝胶,经过700℃热处理后,得到具有四方钙钛矿结构的 BaTiO_3结晶氧化物。红外吸收光谱分析表明,醋酸不仅作为催化剂,而且也作为配位取代物起作用;醋酸根二配位取代丁醇钛中的氧丁基,并直接与钛键合,改变了金属醇盐原材料的性质,从而改变了水解和聚合的速率。由于在凝胶中醋酸钡仍然存在,因此设想钡与钛是通过醋酸根连接并相互作用。控制醋酸加入量,可得到适合的水解和聚合的相对速率,从而使钡与钛能有机会通过醋酸根连接,由此得到透明、均匀并且不易碎裂的凝胶。 展开更多

关键词 光谱 凝胶 钛酸钡 醋酸 陶瓷 材料

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苏州光福瓷石中绢云母的X射线衍射及红外吸收光谱研究 被引量：11

3

作者 汪灵 李朝毅 《岩石矿物学杂志》 CAS CSCD 1991年第3期270-278,共9页

光福瓷石矿床规模巨大,矿石主要由颗粒细小的石英(62%±)和绢云母(36%±)组成,具有中国瓷石富钾、贫铝、高硅、低铁的化学成分特征和典型的梅花状结构。光福瓷石中绢云母为二八面体型,多型为2M1,其晶胞参数a=5.15,b=8.97,c=20.... 光福瓷石矿床规模巨大,矿石主要由颗粒细小的石英(62%±)和绢云母(36%±)组成,具有中国瓷石富钾、贫铝、高硅、低铁的化学成分特征和典型的梅花状结构。光福瓷石中绢云母为二八面体型,多型为2M1,其晶胞参数a=5.15,b=8.97,c=20.10,β=96.18°。 具有结晶度较高、水化程度较低的特征。光福瓷石中绢云母的10和5衍射峰的半高宽值W1和人W2,基本相等,表明它是一种不含蒙脱石(间层)的绢云母。根据绢云母的d(060)衍射峰和红外吸收光谱530cm-1等波数研究,其八面体晶格中几乎不含Fe、Mg等有害杂质。它的晶体化学式为:(K0.809Na.c37Ca0.003)0.849(Al2.08sFe0.003Mg0.075)2.164[(Si3.272Al0.728)4O10](OH)2。总之,光福瓷石矿质量优良,是陶瓷生产的良好原料。 展开更多

关键词 瓷石 绢云母 X射线 衍射 陶瓷原料

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祖母绿的红外光谱特征研究 被引量：11

4

作者 梁婷 《长安大学学报（地球科学版）》 2003年第2期10-13,共4页

　采用中红外、近红外光谱技术,对中国云南、哥伦比亚产出的祖母绿中的水进行了初步研究。结果表明:祖母绿中Ⅰ型水和Ⅱ型水之间弯曲振动和伸缩振动的频率和强度是不同的,Ⅱ型水的振动频率和强度大于Ⅰ型水;根据祖母绿中是否含水以及水... 　采用中红外、近红外光谱技术,对中国云南、哥伦比亚产出的祖母绿中的水进行了初步研究。结果表明:祖母绿中Ⅰ型水和Ⅱ型水之间弯曲振动和伸缩振动的频率和强度是不同的,Ⅱ型水的振动频率和强度大于Ⅰ型水;根据祖母绿中是否含水以及水的赋存状态,可为准确鉴别祖母绿提供重要依据。 展开更多

关键词 祖母绿 红外光谱特征 Ⅰ型水 Ⅱ型水 弯曲振动 伸缩振动 频率 强度 赋存状态 矿物鉴定

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Eu:Y_2O_3纳米晶的光谱特性与微结构 被引量：9

5

作者 施申蕾 黄莉蕾 +2 位作者 张伦 朱京平 付晏彬 《中国计量学院学报》 2005年第3期227-232,共6页

采用均相共沉淀法制备了不同粒径的Y2O3:Eu3+和Y2O3粉体材料,根据红外光谱和荧光光谱,探讨了纳米Y2O3:Eu3+粉体的微观结构与同质体微米材料相对变化.发现纳米粉体的Y(Eu)-O键吸收峰校正高度和面积随着颗粒的减小而减小,而对于同质微米... 采用均相共沉淀法制备了不同粒径的Y2O3:Eu3+和Y2O3粉体材料,根据红外光谱和荧光光谱,探讨了纳米Y2O3:Eu3+粉体的微观结构与同质体微米材料相对变化.发现纳米粉体的Y(Eu)-O键吸收峰校正高度和面积随着颗粒的减小而减小,而对于同质微米材料却相反.分析认为:Y(Eu)-O键红外吸收峰校正高度和面积由Y(Eu)-O键的平均键长和Y(Eu)-O键振动态的数目两个因素决定,对于微米粉Y(Eu)-O键长起主要作用.由于纳米粉体的比表面积随粒径的减少呈指数的增加,不饱和键和悬空键的数目随粒径减小而指数增加,Y(Eu)-O键振动态的数目起主要作用.计算了纳米粉体相对微米粉的跃迁强度参量Ωt/Ωt′值,发现Ω2和Ω4均增加,说明粉粒内部跃迁几率增加.纳米荧光粉比微米粉荧光强度减少的实验事实应是纳米粉粒表面效应引起的,与红外光谱实验的结果相符. 展开更多

关键词 纳米粉体Y2O3:Eu^3+ 红光谱 荧光谱

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滁州绢云母XRD和红外分析的研究 被引量：9

6

作者 郁新丰 尹琳 +2 位作者 熊飞 李真 何坤 《江西科学》 2006年第6期436-440,共5页

绢云母具有广阔的应用前景与市场潜力,蒙脱石(间层)具有膨胀性会对绢云母在涂料中的使用产生影响。本文通过对滁州产出的绢云母分别进行了X射线衍射、化学成分、红外吸收光谱等分析,滁州绢云母具有结晶度较高,水化程度较低的特征,它的10... 绢云母具有广阔的应用前景与市场潜力,蒙脱石(间层)具有膨胀性会对绢云母在涂料中的使用产生影响。本文通过对滁州产出的绢云母分别进行了X射线衍射、化学成分、红外吸收光谱等分析,滁州绢云母具有结晶度较高,水化程度较低的特征,它的10与5衍射峰的半高宽W1和W2基本相等,表明滁州的绢云母中不含有蒙脱石(间层)。 展开更多

关键词 滁州 绢云母 蒙脱石 X射线衍射 红外吸收光谱

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铝改性硅溶胶胶粒组成与结构关系研究 被引量：8

7

作者 方永浩 杨南如 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期184-189,共6页

用ＦＴ－ＩＲ，２７Ａｌ－ＮＭＲ和２９＿Ｓｉ－ＮＭＲ研究了不同Ａｌ／Ｓｉ摩尔比的铝改性硅溶胶胶粒结构。结果表明：在Ａｌ／Ｓｉ比为０．２～０．５的范围内，铝改性硅溶胶胶粒中Ａｌ主要是以在第二配位圈上与［ＳｉＯ＿４］四面体... 用ＦＴ－ＩＲ，２７Ａｌ－ＮＭＲ和２９＿Ｓｉ－ＮＭＲ研究了不同Ａｌ／Ｓｉ摩尔比的铝改性硅溶胶胶粒结构。结果表明：在Ａｌ／Ｓｉ比为０．２～０．５的范围内，铝改性硅溶胶胶粒中Ａｌ主要是以在第二配位圈上与［ＳｉＯ＿４］四面体相连接的［ＰＡｌＯ＿４］四面体的形式存在；Ａｌ／Ｓｉ比的不同，其中铝硅酸阳离子结构也各异，根据２９＿Ｓｉ－ＮＭＲ测定结果能较好地定量计算出各种结构的铝硅酸阴离子的分布；ＩＲ谱的８４０～１３００ｃｍ＿（－１）范围内的各吸收带的频率随胶粒的Ａｌ／Ｓｉ摩尔比的增加而减小并存在较好的线性关系。 展开更多

关键词 铝 改性 硅溶胶 阴离子结构 胶粒 溶胶

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源气体流量比对F-DLC薄膜结构的影响 被引量：6

8

作者 江美福 宁兆元 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期539-541,共3页

以高纯石墨作靶、CHF3/Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备出了氟化类金刚石 (F -DLC)薄膜。拉曼光谱表明 ,CHF3相对流量的增加会引起薄膜的D峰与G峰强度之比I(D) /I(G)减小 ,晶粒增大 ,芳香环结构比例下降。红外吸收光谱分析证实了这些... 以高纯石墨作靶、CHF3/Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备出了氟化类金刚石 (F -DLC)薄膜。拉曼光谱表明 ,CHF3相对流量的增加会引起薄膜的D峰与G峰强度之比I(D) /I(G)减小 ,晶粒增大 ,芳香环结构比例下降。红外吸收光谱分析证实了这些推论 ,指出这是由于薄膜中氟含量上升的结果。 展开更多

关键词 源气体 流量比 F-DLC薄膜 影响 反应磁控溅射法 氟化类金刚石薄膜 拉曼光谱

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激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究 被引量：7

9

作者 王锐 李道火 +2 位作者 黄永攀 罗丽明 浦坦 《中国粉体技术》 CAS 2003年第4期35-38,共4页

研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体。实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多奇异物理性能和光谱特性。

关键词 激光诱导化学气相沉积法 氮化硅 纳米粉体 红外吸收光谱 拉曼光谱

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红外吸收光谱法研究磁控溅射沉积SiO_x非晶薄膜的过程 被引量：5

10

作者 王申伟 衣立新 +2 位作者 苏梦蟾 陈恩光 王永生 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期456-459,共4页

利用磁控溅射技术,在单晶Si衬底上生长了SiOx非晶薄膜。傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR)显示,SiOx非晶薄膜存在3个吸收谱带。研究发现,随着溅射功率的提高,薄膜中先后形成Si-Oy-Si4-y(0<y≤4),Si6环以及无桥氧空位中心(NBOHC)缺陷等结... 利用磁控溅射技术,在单晶Si衬底上生长了SiOx非晶薄膜。傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR)显示,SiOx非晶薄膜存在3个吸收谱带。研究发现,随着溅射功率的提高,薄膜中先后形成Si-Oy-Si4-y(0<y≤4),Si6环以及无桥氧空位中心(NBOHC)缺陷等结构,这几种结构对应的Si—O—Si键的伸缩振动吸收、非对称伸缩振动吸收以及O—Si—O键的振动吸收是导致薄膜的FTIR光谱出现3个吸收谱带的根本原因。 展开更多

关键词 SIOX 非晶薄膜 磁控溅射 红外吸收光谱

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La_(2/3)Sr_(1/3)MnO_3掺杂RE(RE=Pr、Eu、Y、Tb)的结构、红外及磁学性质 被引量：5

11

作者 刘建 云国宏 +7 位作者 杨智慧 吴江波 张飞 王耀强 徐文清 李晓平 苏美琳 杨丹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1443-1446,共4页

采用空气中固相反应烧结法制备了一系列钙钛矿结构的(La1-xREx)2/3Sr1/3MnO3(RE=Pr、Eu、Y、Tb;x=0、0.3或0.4)掺杂稀土锰氧化物多晶样品。X射线衍射(XRD)分析表明随着RE离子半径的减小,样品XRD的衍射峰位置普遍向高角度偏移,2θ增大0.0... 采用空气中固相反应烧结法制备了一系列钙钛矿结构的(La1-xREx)2/3Sr1/3MnO3(RE=Pr、Eu、Y、Tb;x=0、0.3或0.4)掺杂稀土锰氧化物多晶样品。X射线衍射(XRD)分析表明随着RE离子半径的减小,样品XRD的衍射峰位置普遍向高角度偏移,2θ增大0.02～0.62°。扫描电镜(SEM)观测的结果表明掺杂RE离子的半径越小,形成多晶样品的晶粒越小,未掺杂RE的La2/3Sr1/3MnO3在所有的样品中晶粒最大。红外吸收光谱测量发现样品在599～629cm-1范围出现了吸收峰并且峰的位置随掺杂RE离子半径的减小而向低频方向偏移。样品的磁性质测量表明掺杂稀土离子的半径及磁矩对材料的磁电阻有明显影响。 展开更多

关键词 La2/3Sr1/3MnO3 晶体结构 红外吸收谱 磁性质 稀土 掺杂

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新型半导体清洗剂的清洗工艺 被引量：6

12

作者 曹宝成 于新好 马洪磊 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期777-781,共5页

报道了利用红外吸收谱、X射线光电子谱和表面张力测试仪对新型半导体清洗工艺进行研究的结果 .采用DGQ系列清洗剂清洗硅片时 ,首先需用HF稀溶液浸泡硅片 ,以利于将包埋于氧化层内的金属和有机污染物去除 ;溶液的配比浓度由临界胶束浓度... 报道了利用红外吸收谱、X射线光电子谱和表面张力测试仪对新型半导体清洗工艺进行研究的结果 .采用DGQ系列清洗剂清洗硅片时 ,首先需用HF稀溶液浸泡硅片 ,以利于将包埋于氧化层内的金属和有机污染物去除 ;溶液的配比浓度由临界胶束浓度和硅片表面的污染程度确定 ,要确保清洗过程中溶液内部有足够的胶束存在 ,一般DGQ 1、DGQ 2的配比浓度在 90 %到 98%之间 ;当温度接近表面活性剂溶液的浊点温度时 ,增溶能力最强 ,因而清洗液的温度定在 6 0℃ . 展开更多

关键词 半导体 清洗剂 清洗工艺 红外吸收谱 X射线光电子谱

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纳米Si_3N_4制备及光学特性研究 被引量：6

13

作者 王锐 李道火 +2 位作者 黄永攀 罗丽明 浦坦 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第5期557-560,共4页

为了制备高纯度的非晶纳米氮化硅粉体,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上,加入正交紫外光束以激励NH3分解,从而提高气相中n(N)/n(Si)比,减少产物中游离硅的摩尔浓度.利用TEM技术和光谱分析技术研究了粒子的形貌和特性.结... 为了制备高纯度的非晶纳米氮化硅粉体,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上,加入正交紫外光束以激励NH3分解,从而提高气相中n(N)/n(Si)比,减少产物中游离硅的摩尔浓度.利用TEM技术和光谱分析技术研究了粒子的形貌和特性.结果表明:在一定的工艺参数条件下,可制备出粒径超微(7-15nm)、无团聚、理想化学剂量(n(N)/n(Si)=1.314)的非晶纳米氮化硅粉体;表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱和拉曼光谱的'蓝移'和'宽化'现象;采用双光束激励的激光诱导化学气相沉积法是制备高纯度纳米氮化硅粉体的理想方法. 展开更多

关键词 粉体 制备 高纯度 纳米 氮化硅 硅粉 游离硅 化学气相沉积法 光束 光学特性

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纳米Y_2O_3:Eu^(3+)(Y_2O_3)粉体的红外光谱研究 被引量：5

14

作者 张伦 黄莉蕾 +2 位作者 付晏彬 罗宏雷 施申蕾 《中国计量学院学报》 2007年第1期75-78,共4页

采用均相沉淀法和燃烧合成法制备了不同粒径的粉体材料Y2O3:Eu3+,着重研究了样品的红外光谱,探讨了纳米晶Y2O3:Eu3+与同质微米材料相比的微观结构的变化.研究发现,波数位于563 cm-1的Y(Eu)—O键的吸收峰校正高度和面积对于纳米级粒径的... 采用均相沉淀法和燃烧合成法制备了不同粒径的粉体材料Y2O3:Eu3+,着重研究了样品的红外光谱,探讨了纳米晶Y2O3:Eu3+与同质微米材料相比的微观结构的变化.研究发现,波数位于563 cm-1的Y(Eu)—O键的吸收峰校正高度和面积对于纳米级粒径的粉体材料随着颗粒的减小而减小,而对于同质微米材料却相反.经分析认为:Y(Eu)—O键的吸收峰校正高度和面积由Y(Eu)—O键的平均键长和Y(Eu)—O键振动态数目这两个因素决定.对于微米粉体Y(Eu)—O键长的变化起主要作用,而对于纳米粉体由于不饱和键和悬空键的形成,Y(Eu)—O键振动态数目的变化起主要作用. 展开更多

关键词 纳米晶Y2O3:Eu^3+ Y(Eu)-O键的吸收峰的校正高度和面积 晶粒尺寸

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红外吸收光谱基团频率影响因素的验证 被引量：6

15

作者 刘芳 胡国海 《景德镇高专学报》 2010年第4期28-30,共3页

分子中化学键的振动并不是孤立的,而是受分子中其他部分,特别是相邻基团的影响,有时还会受到溶剂、测定条件等外部因素的影响。因此在分析中不仅要知道红外特征谱带出现的频率和强度,而且还应了解影响它们的因素,只有这样才能正确进行... 分子中化学键的振动并不是孤立的,而是受分子中其他部分,特别是相邻基团的影响,有时还会受到溶剂、测定条件等外部因素的影响。因此在分析中不仅要知道红外特征谱带出现的频率和强度,而且还应了解影响它们的因素,只有这样才能正确进行分析。特别对于结构的测定往往可以根据基团频率的位移和强度的改变,推断产生这种影响的结构因素。本论文通过实验对影响吸收频率的一部分内部因素进行了验证。 展开更多

关键词 红外吸收光谱 影响因素 验证

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甲壳素的酰化改性研究 被引量：5

16

作者 陈长春 丁岷 +1 位作者 孙康 吴人洁 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期116-119,共4页

对不同酸性反应体系对甲壳素酰化反应的影响进行了研究．在不同反应条件下，对甲壳素进行了乙酰化、甲酰／乙酰化、丁酰化、己酰化和十二烷酰化等实验．利用红外吸收光谱分析了酰化反应的结果，讨论了酰化衍生物的溶解及熔融特性．

关键词 甲壳素 酰化 红外光谱

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微量掺碳nc-SiC:H薄膜用于p-i-n太阳电池的窗口层 被引量：3

17

作者 许颖 刁宏伟 +4 位作者 张世斌 励旭东 曾湘波 王文静 廖显伯 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期2915-2919,共5页

采用等离子增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了微量掺碳的p型纳米非晶硅碳薄膜(p-nc-SiC:H),反应气体为硅烷和甲烷,掺杂气体采用硼烷,沉积温度分别采用333K,353K和373K.测量结果表明随着沉积温度增加和碳含量的增加,薄膜的光学带隙增加... 采用等离子增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了微量掺碳的p型纳米非晶硅碳薄膜(p-nc-SiC:H),反应气体为硅烷和甲烷,掺杂气体采用硼烷,沉积温度分别采用333K,353K和373K.测量结果表明随着沉积温度增加和碳含量的增加,薄膜的光学带隙增加;薄膜具有较宽的带隙和较高的电导率,同时有较低的激活能(0.06eV).Raman和XRD测量结果表明薄膜存在纳米晶.优化的p型纳米非晶硅碳薄膜作为非晶硅p-i-n太阳电池的窗口层,使得太阳电池的开路电压达到0.94V. 展开更多

关键词 光学带隙 纳米硅 薄膜 太阳能电池

原文传递

单壁碳纳米管晶格振动模及红外吸收光谱的研究 被引量：4

18

作者 孔乐 唐世彪 +3 位作者 李承祥 王卫 朱大鸣 阴泽杰 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期612-614,共3页

碳纳米管晶格动力学的研究可以提供碳纳米管结构和螺旋性等方面的相关信息。在室温下测量了单壁碳纳米管的红外吸收光谱,首次在透射法模式下观察到了其晶格振动模的红外吸收峰,通过与晶格动力学理论计算值对照,做出了振动模的初步归属... 碳纳米管晶格动力学的研究可以提供碳纳米管结构和螺旋性等方面的相关信息。在室温下测量了单壁碳纳米管的红外吸收光谱,首次在透射法模式下观察到了其晶格振动模的红外吸收峰,通过与晶格动力学理论计算值对照,做出了振动模的初步归属。讨论了单壁碳纳米管高频振动模与管径的关系,并与高取向热解石墨振动模进行了对比。结果表明,红外吸收光谱包含有碳纳米管的许多信息,是研究其晶格动力学的有效方法。 展开更多

关键词 单壁碳纳米管 红外吸收光谱 晶格动力学

原文传递

激光法制备纳米氮化硅及其光谱特性研究 被引量：2

19

作者 陈磊 黄永攀 +3 位作者 浦坦 郭晓勇 赵文武 张为俊 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期268-272,共5页

介绍了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工艺原理,通过增加正交紫外光束激励NH3分解,提高气相中n(N)／n(Si)比,从而减少产物中游离硅的浓度,制备出粒径7-15 nm的无团聚、理想化学剂量(n(N)／n(Si)=1．314)的非晶纳米氮化硅粉体... 介绍了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工艺原理,通过增加正交紫外光束激励NH3分解,提高气相中n(N)／n(Si)比,从而减少产物中游离硅的浓度,制备出粒径7-15 nm的无团聚、理想化学剂量(n(N)／n(Si)=1．314)的非晶纳米氮化硅粉体。采用透射电子显微镜观察粉体形貌,并指出表面效应和量子尺寸效应导致粉体红外吸收光谱和拉曼光谱的“蓝移”和“宽化”现象。采用双光束激励的光诱导化学气相沉积法是制备高纯度纳米氮化硅粉体的理想方法。 展开更多

关键词 光电子学 LICVD 氮化硅 双光束激发 红外吸收光谱 拉曼光谱

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清洗后硅片表面的电子结构 被引量：4

20

作者 曹宝成 于新好 +2 位作者 马谨 马洪磊 刘忠立 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期496-499,共4页

介绍了一种含表面活性剂和螯合剂的新型半导体清洗剂和清洗工艺。利用红外吸收谱、X射线光电子谱和原子力显微镜等 ,把它和标准 RCA清洗工艺的清洗效果做了比较。测试结果表明 ,经清洗过的硅片表面主要是由硅、氧和碳三种元素组成 ,它... 介绍了一种含表面活性剂和螯合剂的新型半导体清洗剂和清洗工艺。利用红外吸收谱、X射线光电子谱和原子力显微镜等 ,把它和标准 RCA清洗工艺的清洗效果做了比较。测试结果表明 ,经清洗过的硅片表面主要是由硅、氧和碳三种元素组成 ,它们分别以 Si-O键、C-O键和 Si-C键的形式存在。两种清洗技术都在硅片表面产生氧化硅层 ,在硅片表面都存在有机碳污染 ,但新型半导体清洗工艺产生的有机碳污染少于标准 RCA清洗。在对硅片表面的粗糙化影响方面 ,新型半导体清洗技术清洗明显优于标准 展开更多

关键词 表面清洗 红外吸收谱 X射线光电子谱 原子力显微镜

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