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ITO/Ag光子晶体薄膜的制备及性能
被引量：
14
1
作者
赵亚丽
马富花
+3 位作者
江波
李克训
张青翠
魏学红
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期1516-1522,共7页
考虑材料的电磁屏蔽特性和可见光透过的矛盾,设计了以铝/氧化铟锡(Ag/ITO)为周期的光子晶体薄膜以实现电磁屏蔽和可见光透过的兼容。首先根据电磁屏蔽和可视的双重需求,优化了光子晶体的组份并对其性能进行了研究。接着采用磁控溅射方...
考虑材料的电磁屏蔽特性和可见光透过的矛盾,设计了以铝/氧化铟锡(Ag/ITO)为周期的光子晶体薄膜以实现电磁屏蔽和可见光透过的兼容。首先根据电磁屏蔽和可视的双重需求,优化了光子晶体的组份并对其性能进行了研究。接着采用磁控溅射方法制备了以Ag/ITO为周期的光子晶体薄膜,并对光子晶体薄膜的屏蔽和可见光透光率进行了测试和分析。实验结果表明:这种光子晶体薄膜在金属Ag总膜厚大于可见光趋肤深度而远小于微波波段趋肤深度时,在可见光波段的最高透光率高达55%,而在微波x频率段的屏蔽性能最高可达65dB。通过结构设计,使薄膜的可见光透光率曲线与人眼的敏感曲线相吻合。随着每个周期Ag膜层的厚度增加,方阻相应降低,微波屏蔽性能相应提高。随着周期数的增加,薄膜的可见光透光率没有相应降低、屏蔽性能没有相应提高。设计的光子晶体薄膜在30 MHz^18GHz较宽波段的屏蔽性能均大于40dB。这种设计方法为材料的电磁屏蔽和可见光透明兼容开辟了一条新的技术途径。
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关键词
光子晶体
光子晶体薄膜
ito
/
ag
薄膜
电磁屏蔽
透明金属
下载PDF
职称材料
高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术
被引量：
10
2
作者
胡云慧
李京增
+6 位作者
余圣发
彭晶
苏丹丹
彭传才
李伟
蒋力
刘婧
《真空》
CAS
北大核心
2001年第2期36-38,共3页
高透明低方阻 ITO- Ag- ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明 ,ITO- Ag- ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产 ,性能优异 ,工艺稳定 ,系统可靠。
关键词
银
ito
膜
柔性薄膜
连续卷绕镀膜
镀膜工艺
磁控溅射
下载PDF
职称材料
题名
ITO/Ag光子晶体薄膜的制备及性能
被引量：
14
1
作者
赵亚丽
马富花
江波
李克训
张青翠
魏学红
机构
中国电子科技集团公司第三十三研究所电磁防护技术山西省重点实验室
山西大学化学化工学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期1516-1522,共7页
基金
山西省青年科学基金资助项目(No.2012021020-4
No.2013021004-3
+2 种基金
No.2014021020-1)
山西大学预研基金资助项目(No.201262401090404)
山西省自然科学基金资助项目(No.2014011049-26)
文摘
考虑材料的电磁屏蔽特性和可见光透过的矛盾,设计了以铝/氧化铟锡(Ag/ITO)为周期的光子晶体薄膜以实现电磁屏蔽和可见光透过的兼容。首先根据电磁屏蔽和可视的双重需求,优化了光子晶体的组份并对其性能进行了研究。接着采用磁控溅射方法制备了以Ag/ITO为周期的光子晶体薄膜,并对光子晶体薄膜的屏蔽和可见光透光率进行了测试和分析。实验结果表明:这种光子晶体薄膜在金属Ag总膜厚大于可见光趋肤深度而远小于微波波段趋肤深度时,在可见光波段的最高透光率高达55%,而在微波x频率段的屏蔽性能最高可达65dB。通过结构设计,使薄膜的可见光透光率曲线与人眼的敏感曲线相吻合。随着每个周期Ag膜层的厚度增加,方阻相应降低,微波屏蔽性能相应提高。随着周期数的增加,薄膜的可见光透光率没有相应降低、屏蔽性能没有相应提高。设计的光子晶体薄膜在30 MHz^18GHz较宽波段的屏蔽性能均大于40dB。这种设计方法为材料的电磁屏蔽和可见光透明兼容开辟了一条新的技术途径。
关键词
光子晶体
光子晶体薄膜
ito
/
ag
薄膜
电磁屏蔽
透明金属
Keywords
photonic
crystal
photonic
crystal
thin
film
ito
/
ag
thin
film
electrom
ag
netic
shieldingtransparent
metal
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术
被引量：
10
2
作者
胡云慧
李京增
余圣发
彭晶
苏丹丹
彭传才
李伟
蒋力
刘婧
机构
国防科技大学薄膜电子技术研究所
湖南三才光电信息材料有限公司
出处
《真空》
CAS
北大核心
2001年第2期36-38,共3页
文摘
高透明低方阻 ITO- Ag- ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明 ,ITO- Ag- ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产 ,性能优异 ,工艺稳定 ,系统可靠。
关键词
银
ito
膜
柔性薄膜
连续卷绕镀膜
镀膜工艺
磁控溅射
Keywords
high
transparent
low
square
resistance
ito
ag
ito
flexible
thin
film
rolling
coating
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ITO/Ag光子晶体薄膜的制备及性能
赵亚丽
马富花
江波
李克训
张青翠
魏学红
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
14
下载PDF
职称材料
2
高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性镀膜技术
胡云慧
李京增
余圣发
彭晶
苏丹丹
彭传才
李伟
蒋力
刘婧
《真空》
CAS
北大核心
2001
10
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职称材料
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