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PMMA表面高功率脉冲磁控溅射制备ITO涂层
被引量:
1
1
作者
冯军
李必文
+3 位作者
陈文波
陈美艳
金凡亚
但敏
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第7期2229-2233,共5页
采用高功率脉冲磁控溅射技术在PMMA基体上制备了ITO涂层。利用XRD、SEM对涂层进行了相结构的分析,并进行了划痕实验、光电性能测试。结果表明:偏压、氢氩流量比等工艺参数对涂层的相结构、膜基结合力、光电性能均有影响。增大偏压,膜基...
采用高功率脉冲磁控溅射技术在PMMA基体上制备了ITO涂层。利用XRD、SEM对涂层进行了相结构的分析,并进行了划痕实验、光电性能测试。结果表明:偏压、氢氩流量比等工艺参数对涂层的相结构、膜基结合力、光电性能均有影响。增大偏压,膜基结合力将增强,偏压达到240 V时,膜基结合力最好(56.5 N)。偏压由0 V增加到160 V的过程中,涂层晶粒增大,透射率变高(由82.24%增至89.82%),电阻率变低(由0.006571减至0.000543Ω·cm)。当氢氩流量比由0增至0.05,透射率变低(由89.82%减至56.12%)。氢氩流量比由0增至0.03,电阻率变低(由0.000543减至0.000212Ω·cm);氢氩流量比由0.03增至0.05,电阻率变高(由0.000212增至0.000373Ω·cm)。
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关键词
ito
涂层
高功率脉冲磁控溅射
PMMA
脉冲偏压
氢氩流量比
原文传递
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
2
作者
马永龙
刘红光
《光学与光电技术》
2011年第3期56-58,63,共4页
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及...
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验。结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求。
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关键词
透明导电薄膜
非平衡闭合磁场反应溅射
ito
薄膜
环境试验
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职称材料
Cu^+离子注入对ITO薄膜玻璃进行表面改性的研究
被引量:
2
3
作者
姜妍彦
刘洪珠
+2 位作者
王承遇
刘振民
史维东
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1999年第3期18-21,43,共5页
将透明导电氧化铟锡(ITO)薄膜玻璃注入了Cu+离子进行表面改性。利用四探针、分光光度计、红外反射等设备,测定了注入Cu+离子前后ITO薄膜玻璃的电学、光学、微波衰减和机械性能,得出它们性能的变化规律,并加以分析。结...
将透明导电氧化铟锡(ITO)薄膜玻璃注入了Cu+离子进行表面改性。利用四探针、分光光度计、红外反射等设备,测定了注入Cu+离子前后ITO薄膜玻璃的电学、光学、微波衰减和机械性能,得出它们性能的变化规律,并加以分析。结果表明,Cu+离子注入虽然使电学、光学性能有所降低,但表面硬度显著增加,可应用于对磨损性能要求较高的场合。
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关键词
薄膜玻璃
离子注入
表面改性
铜
ito
玻璃
下载PDF
职称材料
题名
PMMA表面高功率脉冲磁控溅射制备ITO涂层
被引量:
1
1
作者
冯军
李必文
陈文波
陈美艳
金凡亚
但敏
机构
南华大学
核工业西南物理研究院
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第7期2229-2233,共5页
基金
National Magnetic Confinement Fusion Energy Development Research Project(2018YFE0313100)
Nanhua University Doctoral Initial Funding(2016XQD29)。
文摘
采用高功率脉冲磁控溅射技术在PMMA基体上制备了ITO涂层。利用XRD、SEM对涂层进行了相结构的分析,并进行了划痕实验、光电性能测试。结果表明:偏压、氢氩流量比等工艺参数对涂层的相结构、膜基结合力、光电性能均有影响。增大偏压,膜基结合力将增强,偏压达到240 V时,膜基结合力最好(56.5 N)。偏压由0 V增加到160 V的过程中,涂层晶粒增大,透射率变高(由82.24%增至89.82%),电阻率变低(由0.006571减至0.000543Ω·cm)。当氢氩流量比由0增至0.05,透射率变低(由89.82%减至56.12%)。氢氩流量比由0增至0.03,电阻率变低(由0.000543减至0.000212Ω·cm);氢氩流量比由0.03增至0.05,电阻率变高(由0.000212增至0.000373Ω·cm)。
关键词
ito
涂层
高功率脉冲磁控溅射
PMMA
脉冲偏压
氢氩流量比
Keywords
ito
coatings
high-power
pulse
magnetron
sputtering
PMMA
pulsed
bias
flow
rate
ratio
of
hydrogen
and
argon
分类号
TB306 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
2
作者
马永龙
刘红光
机构
海军驻中南地区光电系统军事代表室
中国人民解放军
出处
《光学与光电技术》
2011年第3期56-58,63,共4页
文摘
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验。结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求。
关键词
透明导电薄膜
非平衡闭合磁场反应溅射
ito
薄膜
环境试验
Keywords
transparent
conductive
coatings
unbalanced
closed
field
magnetron
reactive
sputtering
ito
coatings
environ-
mental
test
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
Cu^+离子注入对ITO薄膜玻璃进行表面改性的研究
被引量:
2
3
作者
姜妍彦
刘洪珠
王承遇
刘振民
史维东
机构
大连轻工业学院
大连理工大学
出处
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1999年第3期18-21,43,共5页
文摘
将透明导电氧化铟锡(ITO)薄膜玻璃注入了Cu+离子进行表面改性。利用四探针、分光光度计、红外反射等设备,测定了注入Cu+离子前后ITO薄膜玻璃的电学、光学、微波衰减和机械性能,得出它们性能的变化规律,并加以分析。结果表明,Cu+离子注入虽然使电学、光学性能有所降低,但表面硬度显著增加,可应用于对磨损性能要求较高的场合。
关键词
薄膜玻璃
离子注入
表面改性
铜
ito
玻璃
Keywords
ito
coat
ed
glass
Ion
implantation
Surface
modification
分类号
TQ171.73 [化学工程—玻璃工业]
TQ171.6 [化学工程—硅酸盐工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PMMA表面高功率脉冲磁控溅射制备ITO涂层
冯军
李必文
陈文波
陈美艳
金凡亚
但敏
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
1
原文传递
2
一种保护玻璃防水雾透明导电薄膜的设计与制备
马永龙
刘红光
《光学与光电技术》
2011
0
下载PDF
职称材料
3
Cu^+离子注入对ITO薄膜玻璃进行表面改性的研究
姜妍彦
刘洪珠
王承遇
刘振民
史维东
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1999
2
下载PDF
职称材料
已选择
0
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统计分析
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