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超短脉冲激光辐照硅膜的热弹性
被引量：
2
1
作者
郭春凤
于继平
+1 位作者
王德飞
齐文宗
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期907-911,共5页
考虑到热电子崩力的影响,在基于玻耳兹曼理论弛豫时间近似的非线性自相关模型基础上,将晶格温度与应变速率相耦合,建立了超短脉冲激光作用下半导体材料的超快热弹性模型。在单轴应变条件下,利用有限差分法模拟了500 fs脉冲激光作用下2μ...
考虑到热电子崩力的影响,在基于玻耳兹曼理论弛豫时间近似的非线性自相关模型基础上,将晶格温度与应变速率相耦合,建立了超短脉冲激光作用下半导体材料的超快热弹性模型。在单轴应变条件下,利用有限差分法模拟了500 fs脉冲激光作用下2μm厚硅膜内的载流子温度、晶格温度、载流子数密度、热应力和热电子崩力等的变化情况。结果表明:在低能量密度激光条件下,热弹性效应对半导体材料的影响很小;载流子温度达到峰值的时间比激光强度达到峰值的时间早,随后载流子数密度达到峰值,以及激光脉冲作用5 ps以后硅膜趋于总体热平衡;在脉冲辐照早期,非热平衡阶段形成的热电子崩力在超快损伤过程中起主要作用。
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关键词
超短脉冲激光
硅膜
热弹性
热电子崩力
有限差分法
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职称材料
超短脉冲辐照下金膜的超快热弹性力学响应
2
作者
徐攀
李兴国
《机械与电子》
2010年第S1期125-127,共3页
从热力耦合模型出发,对热电子崩力进行初步分析研究。得出结论:在超短脉冲的超急速加热过程中,对光学材料造成根本损伤的为非热损伤。
关键词
超快热弹性模型
热电子崩力
金属薄膜
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职称材料
超短脉冲激光对硅膜的热力效应分析
3
作者
宿伟
齐文宗
郭春凤
《光学与光电技术》
2009年第6期21-25,共5页
为了研究超短脉冲激光辐照下半导体材料的热力效应,在热电子崩力和自洽场两种模型的基础上,得到了完全耦合的非线性热弹方程组。在单轴应力条件下,采用有限差分法,讨论了不同脉宽的超短脉冲激光辐照下,硅膜内载流子温度、晶格温度、热...
为了研究超短脉冲激光辐照下半导体材料的热力效应,在热电子崩力和自洽场两种模型的基础上,得到了完全耦合的非线性热弹方程组。在单轴应力条件下,采用有限差分法,讨论了不同脉宽的超短脉冲激光辐照下,硅膜内载流子温度、晶格温度、热应力以及热电子崩力随时间及膜深度的变化情况。结果表明,脉冲宽度对硅膜的热力损伤过程起重要作用。能量密度一定时,载流子和晶格达到热平衡所需时间随脉冲宽度的增加而增加;热电子崩力呈现明显的双峰结构,同时脉冲宽度对第二个峰值的影响较大;脉宽越窄,热应力的峰值越大,越容易对材料造成损伤,为激光加工和光电器件的损伤提供了理论参考。
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关键词
超快热弹模型
有限差分法
热电子崩力
热应力
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职称材料
题名
超短脉冲激光辐照硅膜的热弹性
被引量：
2
1
作者
郭春凤
于继平
王德飞
齐文宗
机构
四川大学电子信息学院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期907-911,共5页
文摘
考虑到热电子崩力的影响,在基于玻耳兹曼理论弛豫时间近似的非线性自相关模型基础上,将晶格温度与应变速率相耦合,建立了超短脉冲激光作用下半导体材料的超快热弹性模型。在单轴应变条件下,利用有限差分法模拟了500 fs脉冲激光作用下2μm厚硅膜内的载流子温度、晶格温度、载流子数密度、热应力和热电子崩力等的变化情况。结果表明:在低能量密度激光条件下,热弹性效应对半导体材料的影响很小;载流子温度达到峰值的时间比激光强度达到峰值的时间早,随后载流子数密度达到峰值,以及激光脉冲作用5 ps以后硅膜趋于总体热平衡;在脉冲辐照早期,非热平衡阶段形成的热电子崩力在超快损伤过程中起主要作用。
关键词
超短脉冲激光
硅膜
热弹性
热电子崩力
有限差分法
Keywords
Ultra-short
pulse
laser
Silicon
film
Thermoelasticity
hot
-
electron
blast
force
Finite
difference
method
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
超短脉冲辐照下金膜的超快热弹性力学响应
2
作者
徐攀
李兴国
机构
四川大学锦江学院电子信息工程系
出处
《机械与电子》
2010年第S1期125-127,共3页
文摘
从热力耦合模型出发,对热电子崩力进行初步分析研究。得出结论:在超短脉冲的超急速加热过程中,对光学材料造成根本损伤的为非热损伤。
关键词
超快热弹性模型
热电子崩力
金属薄膜
Keywords
ultra-fast
thermo-elasticity
model
hot
-
electron
blast
force
metal
film
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
超短脉冲激光对硅膜的热力效应分析
3
作者
宿伟
齐文宗
郭春凤
机构
四川大学电子信息学院
出处
《光学与光电技术》
2009年第6期21-25,共5页
文摘
为了研究超短脉冲激光辐照下半导体材料的热力效应,在热电子崩力和自洽场两种模型的基础上,得到了完全耦合的非线性热弹方程组。在单轴应力条件下,采用有限差分法,讨论了不同脉宽的超短脉冲激光辐照下,硅膜内载流子温度、晶格温度、热应力以及热电子崩力随时间及膜深度的变化情况。结果表明,脉冲宽度对硅膜的热力损伤过程起重要作用。能量密度一定时,载流子和晶格达到热平衡所需时间随脉冲宽度的增加而增加;热电子崩力呈现明显的双峰结构,同时脉冲宽度对第二个峰值的影响较大;脉宽越窄,热应力的峰值越大,越容易对材料造成损伤,为激光加工和光电器件的损伤提供了理论参考。
关键词
超快热弹模型
有限差分法
热电子崩力
热应力
Keywords
ultrafast
thermoelasticity
model
finite
difference
method
hot
-
electron
blast
force
thermal
stress
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超短脉冲激光辐照硅膜的热弹性
郭春凤
于继平
王德飞
齐文宗
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
下载PDF
职称材料
2
超短脉冲辐照下金膜的超快热弹性力学响应
徐攀
李兴国
《机械与电子》
2010
0
下载PDF
职称材料
3
超短脉冲激光对硅膜的热力效应分析
宿伟
齐文宗
郭春凤
《光学与光电技术》
2009
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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