材料表面微图案结构成型技术及其研究进展 被引量：3

1

作者 裴云亮 姚煜 +2 位作者 邹文俊 彭进 宋旭东 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期87-101,共15页

表面微图案结构成型技术作为实现材料表面纹理化并促进材料先进化、功能化的一种手段已经广泛应用到实际生产制造中。根据材料应用领域的差异,表面微图案成型的主要方法包括热压花、化学蚀刻、电火花加工、光刻和3D打印。本文综述了不... 表面微图案结构成型技术作为实现材料表面纹理化并促进材料先进化、功能化的一种手段已经广泛应用到实际生产制造中。根据材料应用领域的差异,表面微图案成型的主要方法包括热压花、化学蚀刻、电火花加工、光刻和3D打印。本文综述了不同表面微图案结构成型技术及制备表面纹理化功能材料的基本原理,并列举其在光伏、电子信息、智能制造、超精密制造等领域的实际应用。总结了不同表面微图案结构成型技术的特点及适用范围,提出了实现材料表面纹理化和功能化所面临的关键问题,为表面微图案结构的微加工技术提供了一定参考。 展开更多

关键词 微图案 热压花 蚀刻 电火花加工 光刻 3D打印

下载PDF 职称材料

不同表面处理方法对氧化锆与饰瓷剪切强度的影响 被引量：7

2

作者 张夏雪 陈志宇 +3 位作者 孟令强 焦建平 李钢 郭长军 《实用口腔医学杂志》 CSCD 北大核心 2017年第6期723-726,共4页

目的:研究不同表面处理方法对氧化锆与饰瓷剪切强度的影响。方法:制作28个氧化锆瓷块试件并按表面处理方法随机均分为4组:A(对照组)、B(喷砂组)、C(热酸蚀组)、D(喷砂+热酸蚀组),每组各随机抽取2个试件,分别用扫描电镜(SEM)及X射线衍射(... 目的:研究不同表面处理方法对氧化锆与饰瓷剪切强度的影响。方法:制作28个氧化锆瓷块试件并按表面处理方法随机均分为4组:A(对照组)、B(喷砂组)、C(热酸蚀组)、D(喷砂+热酸蚀组),每组各随机抽取2个试件,分别用扫描电镜(SEM)及X射线衍射(XRD)法观察处理后的试件表面结构;其余试件常规上饰瓷后用剪切实验测试界面剪切强度,数据用SPSS 13.0进行统计学分析。结果:SEM观察显示试件表面呈现不同程度的微孔结构;XRD分析表明4组试件表面均出现单斜相氧化锆晶体;A、B、C、D组剪切强度值(MPa)分别为:15.96±3.44、20.58±2.21、26.28±2.86和22.51±1.94,其中,A组的剪切强度低于其他3组(P<0.05),C组的剪切强度大于其他3组(P<0.05)。结论:喷砂、热酸蚀、喷砂+热酸蚀处理方法能提高氧化锆与饰瓷的结合强度,其中热酸蚀的效果较好。 展开更多

关键词 氧化锆 喷砂 热酸蚀 剪切强度

下载PDF 职称材料

不同表面处理对氧化锆晶相结构及性能的影响 被引量：7

3

作者 焦洋 王继德 邓久鹏 《北京大学学报（医学版）》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期49-52,共4页

目的:研究3种不同表面处理方式对氧化锆晶相转变、表面粗糙度、抗剪切及抗折强度的影响。方法:制作氧化锆试件并随机分为4组:(1)空白对照组,试件表面不做任何处理;(2)氧化铝喷砂组,用110μm氧化铝颗粒距离10 mm垂直喷砂21 s,气压0.25 MP... 目的:研究3种不同表面处理方式对氧化锆晶相转变、表面粗糙度、抗剪切及抗折强度的影响。方法:制作氧化锆试件并随机分为4组:(1)空白对照组,试件表面不做任何处理;(2)氧化铝喷砂组,用110μm氧化铝颗粒距离10 mm垂直喷砂21 s,气压0.25 MPa;(3)激光蚀刻组,试件表面均匀涂布石墨粉,以2 W(200 m J/10 Hz)铒:钇铝石榴石(Er:Yttrium Aluminum Garnet,Er:YAG)激光均匀辐照试件表面30 s;(4)热酸蚀组,将试件置于1∶1混合的40%(质量分数)硝酸与68%(质量分数)氢氟酸蚀液密闭反应釜中,100℃水浴锅中反应30 min。检测不同表面处理后氧化锆晶相结构、表面粗糙度、抗剪切及抗折强度的改变,所得数据运用SPSS 20.0统计软件进行统计分析。结果:X射线衍射仪图谱(X-ray diffractometer,XRD)显示4组试件表面单斜相晶型的体积百分数分别为0.91%、12.50%、6.64%、17.81%,经过3种表面处理后,氧化锆表面发生了程度不等的四方相向单斜相的转变。表面粗糙度:空白对照组(0.29±0.01)μm,氧化铝喷砂组(1.05±0.11)μm,激光蚀刻组(0.73±0.04)μm,热酸蚀组(1.31±0.06)μm,各组间两两比较差异有统计学意义(P<0.05)。剪切强度:空白对照组(7.09±0.46)MPa,氧化铝喷砂组(12.14±1.51)MPa,激光蚀刻组(8.82±0.74)MPa,热酸蚀组(11.97±0.99)MPa,氧化铝喷砂组与热酸蚀组比较差异无统计学意义(P>0.05),其余两两比较差异有统计学意义(P<0.05)。三点弯曲强度:空白对照组(933.70±44.13)MPa,氧化铝喷砂组(850.95±60.66)MPa,激光蚀刻组(771.53±68.08)MPa,热酸蚀组(766.27±57.49)MPa,激光蚀刻组与热酸蚀组比较差异无统计学意义(P>0.05),其余两两比较差异有统计学意义(P<0.05)。结论:经过不同表面处理后,氧化锆表面发生了程度不等的四方相向单斜相的转变。3种处理工艺均有效提高了氧化锆与树脂水门汀的粘结强度,同时也会导致氧化锆抗折强度的降低。 展开更多

关键词 氧化锆 喷砂 热酸蚀

下载PDF 职称材料

热酸蚀处理氧化锆陶瓷的相关研究讨论 被引量：3

4

作者 杨小敏 陈剑锋 《口腔颌面修复学杂志》 2020年第1期53-56,共4页

氧化锆陶瓷因其具有良好的机械性能、生物相容性、稳定的化学性能,在口腔领域的应用越来越广泛,目前临床应用主要依靠氧化锆陶瓷与树脂粘接材料之间的粘接力进行固位,为了进一步提高氧化锆材料与树脂粘接材料的粘接强度,研究的重点主要... 氧化锆陶瓷因其具有良好的机械性能、生物相容性、稳定的化学性能,在口腔领域的应用越来越广泛,目前临床应用主要依靠氧化锆陶瓷与树脂粘接材料之间的粘接力进行固位,为了进一步提高氧化锆材料与树脂粘接材料的粘接强度,研究的重点主要集中在氧化锆陶瓷的表面处理上。本文主要针对热酸蚀对氧化锆陶瓷表面处理的相关研究及相关问题做一综述。 展开更多

关键词 氧化锆陶瓷 热酸蚀 表面粗化 粘接强度 抗折强度

下载PDF 职称材料

2种酸液热酸蚀对氧化锆表面形貌及粘接强度的影响

5

作者 梁琢然 张研楠 +3 位作者 魏萌 刘敏 王博 陈剑锋 《上海口腔医学》 CAS 北大核心 2023年第4期369-374,共6页

目的探讨2种酸液热酸蚀对氧化锆表面形貌和粘接强度的影响。方法制备10 mm×10 mm×2 mm的氧化锆试件(Ⅰ类)24个,3 mm×3 mm×2 mm的试件(Ⅱ类)20个,将其平均分为4组进行处理,即空白对照组(A组)、喷砂处理组(B组)、HCl... 目的探讨2种酸液热酸蚀对氧化锆表面形貌和粘接强度的影响。方法制备10 mm×10 mm×2 mm的氧化锆试件(Ⅰ类)24个,3 mm×3 mm×2 mm的试件(Ⅱ类)20个,将其平均分为4组进行处理,即空白对照组(A组)、喷砂处理组(B组)、HCl热酸蚀组(C组)以及HF热酸蚀组(D组)。采用原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)、扫描电镜(scanning electron microscope,SEM)、X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD)和万能试验机等对氧化锆表面形貌及粘接强度进行观察和检测。采用SPSS 26.0软件包对实验数据进行单因素方差分析和最小显著性差异检验,XRD的检测结果采用MDI Jade 6软件和Origin 2019软件进行处理。结果C组和D组的形貌图像与B组截然不同,B组可见明显的粘接界面裂隙,D组具有最大的粗糙度(78.17±4.94)nm及最大的剪切粘接强度(25.09±4.09)MPa。结论与HCl相比,HF热酸蚀能使氧化锆形成更加均匀致密的多孔形貌,粗糙度和粘接强度也更大,不会造成明显的粘接界面裂隙及晶相转变。 展开更多

关键词 氧化锆 热酸蚀 表面形貌 粗糙度 剪切粘接强度

下载PDF 职称材料

氧化锆表面不同处理方式对锆瓷与饰瓷结合强度的影响 被引量：9

6

作者 夏玉宏 徐飞 +3 位作者 陈蕾 周雄文 曹扬 童汇 《中南大学学报（医学版）》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期53-58,共6页

目的:探讨不同方式处理对氧化锆陶瓷与饰瓷结合强度的影响。方法:制作40个氧化锆瓷块、10个镍铬合金片,并按照表面处理方法分为5组,即喷砂组(A组)、结合瓷组(B组)、热酸蚀组(C组)、氧化锆空白对照组(D组)、镍铬烤瓷对照组(E组)。5组试... 目的:探讨不同方式处理对氧化锆陶瓷与饰瓷结合强度的影响。方法:制作40个氧化锆瓷块、10个镍铬合金片,并按照表面处理方法分为5组,即喷砂组(A组)、结合瓷组(B组)、热酸蚀组(C组)、氧化锆空白对照组(D组)、镍铬烤瓷对照组(E组)。5组试件处理完成后,采用粉浆涂塑法烧结大小为4 mm×4 mm×2 mm的饰瓷。通过万能试验机对所有试件进行剪切强度测试,每组随机抽取一个样本在电子显微镜下进行界面破坏形貌分析。结果:剪切强度结果显示:与D组相比,A组和B组剪切强度差异均无统计学意义(均P>0.05),且二者均显著小于E组(均P<0.05);C组剪切强度值显著高于D组、A组和B组(均P<0.05),但与E组相比差异无统计学意义(P>0.05)。结论:喷砂及烧结的结合瓷层对于增强锆瓷与饰瓷的结合强度无显著作用,热酸蚀可以显著增强锆瓷与饰瓷的结合强度。 展开更多

关键词 氧化锆陶瓷 热酸蚀 剪切强度 喷砂 结合瓷

下载PDF 职称材料

氮化硅湿法蚀刻中热磷酸的蚀刻率 被引量：8

7

作者 肖方 汪辉 罗仕洲 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期847-850,共4页

在半导体湿法蚀刻中,热磷酸广泛地用于对氮化硅的去除工艺,实践中发现高温下磷酸对氮化硅蚀刻率很难控制。从热磷酸在氮化硅湿法蚀刻中的蚀刻原理出发,分析了影响蚀刻率的各个因素,并通过实验分析了各个因素对蚀刻率的具体影响。根据目... 在半导体湿法蚀刻中,热磷酸广泛地用于对氮化硅的去除工艺,实践中发现高温下磷酸对氮化硅蚀刻率很难控制。从热磷酸在氮化硅湿法蚀刻中的蚀刻原理出发,分析了影响蚀刻率的各个因素,并通过实验分析了各个因素对蚀刻率的具体影响。根据目前广泛应用于生产中的技术,介绍了如何对相关因素进行控制调节,为得到稳定的热磷酸蚀刻率提供了方向。 展开更多

关键词 热磷酸 湿法蚀刻 蚀刻率 氮化硅

下载PDF 职称材料

连铸坯低倍检验工艺发展现状及展望 被引量：6

8

作者 马飞跃 《连铸》 2022年第1期9-13,共5页

连铸坯的低倍检验是钢厂质量控制的重要环节之一。长期以来,与冶炼检验和成品检验全自动工艺的快速发展相比,全自动低倍检验工艺的价值被低估。以酸蚀检验法为对象,通过对比试样加工、酸蚀方法、扫描成像等方面的不同工艺,回顾了国内钢... 连铸坯的低倍检验是钢厂质量控制的重要环节之一。长期以来,与冶炼检验和成品检验全自动工艺的快速发展相比,全自动低倍检验工艺的价值被低估。以酸蚀检验法为对象,通过对比试样加工、酸蚀方法、扫描成像等方面的不同工艺,回顾了国内钢厂连铸坯低倍检验的发展历程,并对国内钢铁企业全自动低倍检验的未来之路进行了展望。 展开更多

关键词 低倍检验 连铸坯 试样加工 热酸腐蚀 电解腐蚀 自动化

原文传递

全自动电解腐蚀技术在连铸坯低倍检验中的应用 被引量：6

9

作者 彭勃 李春阳 《理化检验（物理分册）》 CAS 2015年第12期858-862,866,共6页

对国内外连铸钢坯低倍检验中的几种电解腐蚀方式进行了分析和对比,介绍了一种有效的全自动电解腐蚀技术及其装备——全自动电解腐蚀机。通过对该项技术在国内一些钢厂应用实践的总结和基本技术特征的客观阐述,讨论了该项技术在我国钢铁... 对国内外连铸钢坯低倍检验中的几种电解腐蚀方式进行了分析和对比,介绍了一种有效的全自动电解腐蚀技术及其装备——全自动电解腐蚀机。通过对该项技术在国内一些钢厂应用实践的总结和基本技术特征的客观阐述,讨论了该项技术在我国钢铁企业进一步广泛应用的可行性。 展开更多

关键词 钢坯低倍组织检验 热酸浸腐蚀 电解腐蚀 全自动电解腐蚀机 在线检测

下载PDF 职称材料

扫描近场光学显微镜的光纤探针 被引量：2

10

作者 刘秀梅 王佳 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第2期25-29,34,共6页

扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）打破了传统光学显微镜的衍射极限分辨率，自８０年代中期出现以来在１０多年的时间内获得了迅速的发展，并在很多的领域有很广阔的应用前景。扫描探针的形状及针尖的大小是影响ＳＮＯＭ分辨率的关键因素... 扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）打破了传统光学显微镜的衍射极限分辨率，自８０年代中期出现以来在１０多年的时间内获得了迅速的发展，并在很多的领域有很广阔的应用前景。扫描探针的形状及针尖的大小是影响ＳＮＯＭ分辨率的关键因素之一。本文利用自己设计的实验装置提出一种制备探针的新颖热拉法，并将热拉法和腐蚀法相结合，大大提高了实验的成功率。两种方法获得的针尖最优尺寸分别可达９６ｎｍ和７６ｎｍ。 展开更多

关键词 显微镜 扫描探针 热拉法 腐蚀法 SMOM

下载PDF 职称材料

热碱处理对La-Mg-Ni系A_2B_7型储氢合金电极性能的影响 被引量：4

11

作者 曾书平 罗永春 +1 位作者 李新宇 康龙 《中国稀土学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期701-709,共9页

用真空感应熔炼和热处理制备了La0.64Gd0.2Mg0.16Ni3.1Co0.3Al0.1合金,利用SEM,EDS能谱分析、振动样品磁力计、XPS、ICP和电化学方法,研究了热碱处理时间（0-60 min）对合金颗粒表面的微观形貌、表面元素组成及状态、体相化学成分以及... 用真空感应熔炼和热处理制备了La0.64Gd0.2Mg0.16Ni3.1Co0.3Al0.1合金,利用SEM,EDS能谱分析、振动样品磁力计、XPS、ICP和电化学方法,研究了热碱处理时间（0-60 min）对合金颗粒表面的微观形貌、表面元素组成及状态、体相化学成分以及电化学性能的影响。研究表明：热碱处理使合金表面的Mg,Al,La和Ni元素发生不同程度的溶解析出或氧化,随处理时间增加,合金饱和磁化强度呈先增大后减小的趋势。当处理时间为15 min时,合金表面可形成较多的富Ni层,其饱和磁化强度达到最大值0.808 emu·g-1;当大于15 min时,随时间延长,富Ni层被氧化的倾向逐渐增大,同时表面形成稀土氧化物,导致合金饱和磁化强度逐渐减小。电化学性能测试表明：随热碱处理时间的增加,合金电极最大放电容量（Cmax）、循环稳定性（S100）及大电流放电特性（HRD900）均呈先增加后减小的规律。经15 min热碱处理的合金电极性能最佳,循环寿命S100由未处理时的83.67%提高到热碱处理后的93.09%。合金电极性能随热碱处理时间的变化规律与合金表面形成富镍层及其后续氧化倾向以及析出稀土氧化物关系密切。 展开更多

关键词 热碱处理 稀土-镁-镍系A2B7型储氢合金 电化学性能

原文传递

无铅热风整平焊锡板锡咬铜改善研究

12

作者 刘飞艳 何军龙 +2 位作者 郑有能 宋建远 方旭 《印制电路信息》 2024年第11期42-44,共3页

无铅热风整平焊锡(HASL)技术作为环保要求下的重要工艺变革,广泛应用于印制电路板(PCB)表面处理中。然而,该技术在提高环保性能的同时,也面临着“锡咬铜”问题的挑战,这直接影响到PCB的电气性能和长期可靠性。探讨无铅HASL板中锡咬铜现... 无铅热风整平焊锡(HASL)技术作为环保要求下的重要工艺变革,广泛应用于印制电路板(PCB)表面处理中。然而,该技术在提高环保性能的同时,也面临着“锡咬铜”问题的挑战,这直接影响到PCB的电气性能和长期可靠性。探讨无铅HASL板中锡咬铜现象的原因、影响因素和改善策略,为提升无铅HASL板品质提供科学依据。 展开更多

关键词 无铅热风整平焊锡 锡咬铜 印制电路板 环保

下载PDF 职称材料

不同浓度的氢氟酸对氧化锆粘接强度的影响 被引量：3

13

作者 魏萌 朱红 +2 位作者 梁琢然 蒋玉琳 陈剑锋 《实用口腔医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期758-761,共4页

目的:探究不同浓度的氢氟酸热处理对氧化锆粘接强度的影响。方法:将爱尔创氧化锆(1)和威兰德氧化锆(2)分别制成2种规格(Ⅰ类:30 mm×10 mm×1 mm,各25个;Ⅱ类:3 mm×3 mm×1 mm,各35个)。每种规格试样随机分为5组,A:空... 目的:探究不同浓度的氢氟酸热处理对氧化锆粘接强度的影响。方法:将爱尔创氧化锆(1)和威兰德氧化锆(2)分别制成2种规格(Ⅰ类:30 mm×10 mm×1 mm,各25个;Ⅱ类:3 mm×3 mm×1 mm,各35个)。每种规格试样随机分为5组,A:空白组(A1和A2)、B:喷砂组(B1和B2)、C:5%氢氟酸(C1和C2)、D:9.5%氢氟酸(D1和D2)、E:40%氢氟酸(E1和E2)。Ⅰ类试件用于检测表面晶相及抗折强度。从各组Ⅱ类试件中随机抽取一块进行表面形貌的观察,其余试件与离体牙釉质表面粘接后用于剪切强度的测试。结果:处理后的各组氧化锆表面形貌都发生了明显改变,E1、E2组的剪切粘接强度最大(P<0.05),分别是(25.91±0.89)MPa和(24.93±0.45)MPa。B1、B2和E1组检测出单斜相,抗折强度降低。结论:氢氟酸处理能显著提高两种氧化锆的剪切粘接强度,浓度越高效果越好。但40%的氢氟酸会导致爱尔创氧化锆抗折强度降低。 展开更多

关键词 氧化锆 热酸蚀 剪切强度

下载PDF 职称材料

连铸坯轧制钢轨低倍组织特征研究 被引量：2

14

作者 戴萍 李景和 高明星 《包钢科技》 2000年第1期47-49,共3页

本文主要对包钢连铸坯轧制钢轨低倍组织结构作了初步的讨论分析，并与模铸锭轧制钢轨低倍组织结构进行了比较。此外还简要介绍了自生产以来，连铸坯轧制中易出现的有害缺陷。

关键词 低倍组织 热酸浸蚀 硫印 钢轨轧制 连铸坯

下载PDF 职称材料

硅压敏电阻刻蚀形貌对高温压力传感器输出特性影响 被引量：1

15

作者 冀鹏飞 赵妍琛 +3 位作者 雷程 梁庭 刘润鹏 党伟刚 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第12期10-15,共6页

为解决压力传感器在高温下的热零点漂移问题,文中提出一种压敏电阻均匀刻蚀的方案。通过控制变量法改变沉积和刻蚀聚合物时序参数,解决了制备硅电阻条出现的微负载效应,减小了压力传感器中惠斯登电桥不平衡性。对比了不同参数下的刻蚀效... 为解决压力传感器在高温下的热零点漂移问题,文中提出一种压敏电阻均匀刻蚀的方案。通过控制变量法改变沉积和刻蚀聚合物时序参数,解决了制备硅电阻条出现的微负载效应,减小了压力传感器中惠斯登电桥不平衡性。对比了不同参数下的刻蚀效果,得出最佳刻蚀参数为1个循环内钝化时间2 s、刻蚀时间4.8 s,刻蚀图案成功保持了设计图形的关键特征,电阻条连接处曲线平滑、侧壁角度锐利,垂直度达到了88.6°。最终制备的芯片在300℃环境下进行压力测试,测试结果表明传感器芯片热零点漂移率降低了46.7%,验证了该方案对改善芯片高温下热零点漂移的可行性。 展开更多

关键词 压敏电阻刻蚀 热零点漂移 Bosch工艺 微负载效应 刻蚀形貌

下载PDF 职称材料

基于TiN涂层/玻璃基体的热压印模板的制备与性能 被引量：3

16

作者 周志涛 王海容 +1 位作者 蒋庒德 刘冲 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期79-83,共5页

对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要。在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板。首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚... 对于热压印光刻而言,制备具有精确几何结构、良好耐磨损性能以及长使用寿命模板至关重要。在分析现有Si或SiO2模板使用性能基础上,提出了在TiN涂层/玻璃基体上制备热压印模板。首先采用直流磁过滤电弧在玻璃上沉积TiN薄膜,然后,通过聚焦离子束在薄膜上加工出最小线宽71nm的栅型结构,最后,使用所加工的模板,进行热压印实验,获得了良好的压印结果。实验结果表明,TiN作为模板材料可以获得高保真度的纳米图案,并且由于TiN比Si或SiO2具有更高硬度和强度,玻璃基体也具有很好的机械性能,由TiN/玻璃系统制备的压印模板的机械性能和使用寿命较之Si或SiO2基模板得到很大提高。 展开更多

关键词 纳米压印光刻 热压印 压印模板 聚焦离子束 硬质涂层

原文传递

不同热酸蚀液对氧化锆粘接强度和抗折性能的影响 被引量：2

17

作者 魏萌 朱红 +2 位作者 梁琢然 蒋玉琳 陈剑锋 《实用口腔医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期445-449,共5页

目的:探究不同热酸蚀液对氧化锆粘接强度和抗折性能的影响。方法:将氧化锆试件制成两种规格:3 mm×3 mm×1 mm共24个、10 mm×30 mm×1 mm共24个。按照处理方式的不同分为4组(A:空白组;B:喷砂组;C:浓盐酸组;D:9.5%氢氟... 目的:探究不同热酸蚀液对氧化锆粘接强度和抗折性能的影响。方法:将氧化锆试件制成两种规格:3 mm×3 mm×1 mm共24个、10 mm×30 mm×1 mm共24个。按照处理方式的不同分为4组(A:空白组;B:喷砂组;C:浓盐酸组;D:9.5%氢氟酸组)。使用扫描电子显微镜和X射线衍射仪观察并检测每组试件的表面形貌和晶相,用万能力学试验机进行抗折强度和剪切粘接强度的测试。结果:处理后的各组氧化锆表面形貌都发生了明显改变,D组的粘接强度最大(P<0.05),为(23.81±0.51)MPa;B组发生了单斜相变,抗折强度显著降低(P<0.05),为(765.07±44.25)MPa,其余各组没有明显改变。结论:9.5%的氢氟酸热处理可能是一种适合氧化锆的表面处理方式。 展开更多

关键词 氧化锆 热酸蚀 剪切强度 抗折强度

下载PDF 职称材料

添加富铁预合金粉CSB-2的热压金刚石钻头胎体性能研究 被引量：1

18

作者 李静仪 段隆臣 +1 位作者 周天盛 莫松林 《超硬材料工程》 CAS 2018年第1期13-18,共6页

Fe基胎体在金刚石钻头的领域中仍存在相当的潜力,粉末预合金化是现今金刚石工具制造的一个趋势。通过研究在980℃的烧结温度下不同含量的富铁预合金粉CSB-2的热压金刚石钻头胎体的力学性能及组织形貌表征,得到以下结论:CSB-2能提高胎体... Fe基胎体在金刚石钻头的领域中仍存在相当的潜力,粉末预合金化是现今金刚石工具制造的一个趋势。通过研究在980℃的烧结温度下不同含量的富铁预合金粉CSB-2的热压金刚石钻头胎体的力学性能及组织形貌表征,得到以下结论:CSB-2能提高胎体的力学性能,细化组织,使胎体更致密;富铁胎体在980℃的烧结温度条件下对金刚石存在着刻蚀作用,粉末预合金化能降低铁基胎体对金刚石的刻蚀,且使胎体对金刚石的润湿性增强,提高胎体对金刚石的包镶力。 展开更多

关键词 热压金刚石钻头 富铁 金刚石刻蚀 预合金化

下载PDF 职称材料

酸刻蚀处理对Si(100)和Si(111)上制备CVD金刚石膜的影响 被引量：1

19

作者 魏秋平 宋玉波 +3 位作者 余志明 胡应涛 尹登峰 马莉 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期650-657,共8页

对Si(100)和Si(111)采用相同的酸刻蚀工艺,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石膜。用扫描电子显微镜、X线衍射仪和X线应力测试仪对样品的形貌、织构及残余应力进行检测、分析。研究结果表明:沉积3 h后,Si(100)和Si(111)基体上均... 对Si(100)和Si(111)采用相同的酸刻蚀工艺,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石膜。用扫描电子显微镜、X线衍射仪和X线应力测试仪对样品的形貌、织构及残余应力进行检测、分析。研究结果表明:沉积3 h后,Si(100)和Si(111)基体上均生长出晶形比较完整,呈柱状晶方式生长的金刚石薄膜;此外,Si(100)金刚石膜表面分布着大量的微孔,通过调整沉积工艺可控制微孔的数量和尺寸,而Si(111)金刚石膜表面无微孔出现;2种基体所得薄膜都存在(111)织构,后者Si(111)还有一定的(110)织构;2种基体经酸刻蚀之后制得薄膜均无鼓泡剥离现象,二者的残余应力相差不大。 展开更多

关键词 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 酸刻蚀 硅

下载PDF 职称材料

一种多晶硅掩膜层湿法去除的改进研究 被引量：1

20

作者 张正荣 詹扬 汪辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1045-1048,共4页

在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。详细分析了热H3PO4湿法刻蚀中杂质... 在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。详细分析了热H3PO4湿法刻蚀中杂质颗粒的形成机理,并且提出三种不同的解决途径,然后通过具体实验数据比较得出解决热H3PO4湿法刻蚀后杂质颗粒问题的最佳方案,为集成电路制造企业提供了理论基础和实践依据。 展开更多

关键词 半导体制造 氮氧化硅 热磷酸 湿法刻蚀

下载PDF 职称材料