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题名高次谐波体声波谐振器的频率修正方法研究
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作者
肖佩芸
李鉴
郑天
田裕康
程建政
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机构
武汉纺织大学电子与电气工程学院
中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第6期789-792,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11804256)
中国科学院重点部署基金资助项目(QYZDY-SSW-JSC007)
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文摘
基于高次谐波体声波谐振器(HBAR)的一维纵向振动模型,研究了获得工作在某一谐振频率HBAR的几种频率修正方法,即减薄基底或顶电极,或在其表面沉积薄膜,并讨论了频率修正前后其有效机电耦合系数(Keff^2)和机械品质因数(QM)的变化情况。结果表明,对于该文结构的HBAR,减薄基底的频率修正方法最佳,其对Keff^2和QM的影响最小;若选择沉积薄膜法进行频率修正,其对Keff^2的影响不大,但对QM的影响较大,故宜选择沉积低损耗的材料。
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关键词
高次谐波体声波谐振器
谐振频谱
有效机电耦合系数
机械品质因数
频率修正
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Keywords
high-overtone bulk acoustic resonator
resonance frequency spectrum
effective electromechanical coupling coefficient
mechanical quality factor
frequency correction
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TN65
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题名高次驻波谐振定量检测弹性板厚度的方法
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作者
王禹然
张辉
张淑仪
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机构
南京大学声学研究所近代声学实验室
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出处
《无损检测》
2010年第8期593-596,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10774074)
教育部博士点基金资助项目(20090091120048)
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文摘
基于声波高次谐振的频率偏移与弹性板厚度变化间的关系,提出一种定量检测弹性板厚度的新方法。针对最大有效机电耦合系数(ke2ff(max))对应的谐振模式,研究了弹性板厚度对最大有效机电耦合系数对应模式的谐振频率的影响,给出修正的频率偏移与厚度变化间的关系公式。相关数值计算表明,该方法的检测灵敏度可达50Hz/μm,可用于板厚及其变化的检测和板表面状况的无损评价。
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关键词
弹性板
厚度检测
高次驻波谐振
有效机电耦合系数
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Keywords
Elastic plate
Thickness testing
high-overtone bulk acoustic resonance
Effective electromechanical coupling factor
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分类号
TG115.28
[金属学及工艺—物理冶金]
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