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采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅
被引量：
4
1
作者
谢永军
赵福华
+2 位作者
魏伟
赵小侠
赵卫
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期133-135,共3页
采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采...
采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅.
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关键词
信息光学
hfo
2
/
sio
2
溶胶-凝胶
光栅
光敏
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职称材料
具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究
被引量：
2
2
作者
赵福华
谢永军
+2 位作者
许素莲
刘刚
付绍军
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期1376-1379,共4页
采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,...
采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.
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关键词
hfo
2
/
sio
2
溶胶-凝胶
辐射聚合
光栅
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职称材料
题名
采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅
被引量：
4
1
作者
谢永军
赵福华
魏伟
赵小侠
赵卫
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期133-135,共3页
基金
国家自然科学基金(10402039
10272098)
中科院创新基金(0651201ZZ0)资助
文摘
采用溶胶-凝胶方法制备了具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶-凝胶薄膜,并利用其光敏性制备了衍射光栅.采用XPS分析了薄膜的成份,证实了Hf元素的存在.并用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实了HfO2的加入确实提高了体系的折射率.利用其光敏性,采用X射线作曝光光源通过掩模进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅.
关键词
信息光学
hfo
2
/
sio
2
溶胶-凝胶
光栅
光敏
Keywords
Information
optics
hfo
2/
sio
2
sol
-
gel
Grating
Photosensitive
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究
被引量：
2
2
作者
赵福华
谢永军
许素莲
刘刚
付绍军
机构
中国科技大学国家同步辐射实验室
长春理工大学材料与化工学院
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期1376-1379,共4页
基金
国家自然科学基金(批准号:10402039和10272098)资助
文摘
采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的H fO2/S iO2凝胶薄膜.并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化.结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力.采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了H f元素的存在.用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入H fO2提高了体系的折射率.利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力.
关键词
hfo
2
/
sio
2
溶胶-凝胶
辐射聚合
光栅
Keywords
hfo
2
/
sio
2
sol
-
gel
Radiation
polymerization
Grating
分类号
O631 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶薄膜制备衍射光栅
谢永军
赵福华
魏伟
赵小侠
赵卫
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
下载PDF
职称材料
2
具有辐射聚合能力的HfO_2/SiO_2溶胶-凝胶玻璃的制备及其X射线光刻性能研究
赵福华
谢永军
许素莲
刘刚
付绍军
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
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职称材料
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