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GaN材料生长研究 被引量:5
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作者 章其麟 孙文红 +3 位作者 刘燕飞 毕书亮 耿金花 秦国刚 《半导体情报》 1997年第5期6-9,共4页
用常压MOCVD方法我们在蓝宝石(0001)、Si(111)衬底上,成功地制备出GaN单晶薄膜材料,取得了GaN材料的初步测试结果。纯度GaN为n型,载流子浓度为1017~1018cm-3,迁移率为200~350cm... 用常压MOCVD方法我们在蓝宝石(0001)、Si(111)衬底上,成功地制备出GaN单晶薄膜材料,取得了GaN材料的初步测试结果。纯度GaN为n型,载流子浓度为1017~1018cm-3,迁移率为200~350cm2/V·s,双晶衍射半峰宽为7′,室温PL光谱本征发光波长为370nm,并首次观察到掺ZnGaN呈p型电导。 展开更多
关键词 氮化镓 发光二极管 外延生长
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400nm高性能紫光LED的制作与表征(英文)
2
作者 王东盛 郭文平 +8 位作者 张克雄 梁红伟 宋世巍 杨德超 申人升 柳阳 夏晓川 骆英民 杜国同 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期225-229,共5页
利用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底表面制备了带有p-AlGaN电子阻挡层的400 nm高性能紫光InGaN多量子阱发光二极管。制作了3种紫光LED,分别带有不同p-AlGaN电子阻挡层结构:Al摩尔分数为9%的p-AlGaN电子阻挡层;Al摩尔分数为11%... 利用金属有机物化学气相沉积技术在蓝宝石衬底表面制备了带有p-AlGaN电子阻挡层的400 nm高性能紫光InGaN多量子阱发光二极管。制作了3种紫光LED,分别带有不同p-AlGaN电子阻挡层结构:Al摩尔分数为9%的p-AlGaN电子阻挡层;Al摩尔分数为11%的p-AlGaN电子阻挡层;Al摩尔分数为20%的10对p-AlGaN/GaN超晶格电子阻挡层。带有高浓度Al电子阻挡层的紫光LED的光输出功率高于低浓度Al电子阻挡层的紫光LED。带有10对p-AlGaN/GaN超晶格电子阻挡层的紫光LED的光输出功率获得了极大的提高,在20 mA注入电流时测试得到的光输出功率为21 mW。此外,该LED同时显示了在高注入电流下接近线性的I-L特性曲线和在LED芯片表面均匀的发光强度分布。 展开更多
关键词 金属有机物化学气相沉积 紫光发光二极管 gan发光二极管 电子阻挡层 超晶格
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GaN基LED能效的研究进展 被引量:6
3
作者 李梦梅 胡小玲 郭伟玲 《照明工程学报》 2020年第1期8-15,共8页
目前GaN已成为制作发光二极管(light emitting diode,LED)的主流材料,GaN基LED在照明和超越照明应用中占有不可替代的重要地位。随着LED外延和芯片技术的提升,LED的能效也得到了快速的提升。本文介绍了影响LED光源能效的因素;叙述了影响... 目前GaN已成为制作发光二极管(light emitting diode,LED)的主流材料,GaN基LED在照明和超越照明应用中占有不可替代的重要地位。随着LED外延和芯片技术的提升,LED的能效也得到了快速的提升。本文介绍了影响LED光源能效的因素;叙述了影响LED能效的内量子效率(internal quantum efficiency,IQE)和外量子效率(external quantum efficiency,EQE)的提升技术,阐述了GaN基LED能效的提升进程,最后对LED能效的未来发展进行了总结与展望。 展开更多
关键词 gan基发光二极管 能效 内量子效率 外量子效率
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Theoretical and experimental analysis of the effects of the series resistance on luminous efficacy in GaN-based light emitting diodes
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作者 马莉 沈光地 +3 位作者 刘建朋 高志远 徐晨 王勋 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期630-633,共4页
In this paper, a new equivalent circuit model of GaN-based light emitting diodes (LEDs) is established. The impact of the series resistance to luminous efficacy is simulated using the MATLAB software. GaN-based LEDs... In this paper, a new equivalent circuit model of GaN-based light emitting diodes (LEDs) is established. The impact of the series resistance to luminous efficacy is simulated using the MATLAB software. GaN-based LEDs with different n- contact electrode materials (LEDs with Ni/Au and LEDs with Cr/Au) are fabricated. By comparing and analyzing the results of performances, we concluded that both the series resistance and the carrier loss could affect the luminous efficacy severely. LEDs with lower series resistance have higher luminous efficacy and its efficiency droop is alleviated simultaneously. To improve luminous efficacy, the fabrication process should be optimized for lower series resistance. 展开更多
关键词 gan-based light emitting diodes series resistance luminous efficacy
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光增强湿法刻蚀提高Si衬底垂直结构GaN基LED的出光效率 被引量:12
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作者 周印华 汤英文 +1 位作者 饶建平 江风益 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期252-255,共4页
以0.1 MK2S2O8+KOH和氙灯分别作为刻蚀剂和紫外光源,采用光增强湿法刻蚀转移衬底的垂直结构GaN基LED的n型GaN,对N面有电极和没有电极的芯片的n型GaN层进行刻蚀。结果表明,在相同的刻蚀条件下,N面有电极的n型GaN层刻蚀速率明显大于没有... 以0.1 MK2S2O8+KOH和氙灯分别作为刻蚀剂和紫外光源,采用光增强湿法刻蚀转移衬底的垂直结构GaN基LED的n型GaN,对N面有电极和没有电极的芯片的n型GaN层进行刻蚀。结果表明,在相同的刻蚀条件下,N面有电极的n型GaN层刻蚀速率明显大于没有电极的n型GaN;而它们的均方根粗糙度(RMS)则结果相反。刻蚀后的形貌呈圆锥型凸起。20 mA下刻蚀后的裸芯光输出功率较刻蚀前提高了88.5%。 展开更多
关键词 光学材料 出光效率 光增强湿法刻蚀 垂直结构gan基LED SI衬底
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GaN基多量子阱蓝光LED的γ辐照效应 被引量:3
6
作者 金豫浙 胡益培 +1 位作者 曾祥华 杨义军 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期1258-1262,共5页
本文用4×104Ci(1Ci=3.7×1010Bq)的60Co源(剂量率2×105rad(Si)/h)对GaN基InGaN/GaN多量子阱蓝光LED进行5种剂量的γ射线的辐照实验.通过辐照前后蓝光LED的波长、色纯度、最大半峰宽(FWHM)和电流-电压(I-V)、电流-光通量(I... 本文用4×104Ci(1Ci=3.7×1010Bq)的60Co源(剂量率2×105rad(Si)/h)对GaN基InGaN/GaN多量子阱蓝光LED进行5种剂量的γ射线的辐照实验.通过辐照前后蓝光LED的波长、色纯度、最大半峰宽(FWHM)和电流-电压(I-V)、电流-光通量(I-F)等电光学特性分析,得到γ射线对GaN基LED器件的辐照效应.结果发现,辐照后LED器件的发光一致性和均匀性变差,在20mA工作电流下,最大剂量下器件发光强度衰减近90%,光通量衰减约40%,并得到器件的抗辐照能力的参数τ0Kγ为4.039×10-7rad.s-1,发现较低的正向偏压下(小于2.6V)器件的饱和电流随辐照总剂量增大而增大. 展开更多
关键词 gan 发光二极管 Γ辐照 辐照效应
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GaN高压LED在极小电流与极低温度下的光电特性 被引量:2
7
作者 田媛 陈雷雷 +3 位作者 赵琳娜 陈珍海 闫大为 顾晓峰 《微电子学》 CAS 北大核心 2020年第5期709-714,共6页
在图形化蓝宝石衬底上制备了串联结构的氮化镓(GaN)高压发光二极管(LED),分别在极小电流与极低温度下研究了其光电特性。结果表明,在极小电流区(I<1×10^-8 A),主要输运机制为缺陷辅助隧穿。由于能带热收缩效应和辐射复合中心的... 在图形化蓝宝石衬底上制备了串联结构的氮化镓(GaN)高压发光二极管(LED),分别在极小电流与极低温度下研究了其光电特性。结果表明,在极小电流区(I<1×10^-8 A),主要输运机制为缺陷辅助隧穿。由于能带热收缩效应和辐射复合中心的热激活效应,随着温度升高,电致发光(EL)峰发生红移,半高宽(FWHM)增加;光输出强度与注入电流呈幂指数关系,表明极小电流下非辐射复合占主导,且载流子通过缺陷辅助隧穿至量子阱。在极低温度下(T^40 K)仍能观测到电致发光现象,表明载流子并未被完全冻析,在强场下可由施主态或受主态通过缺陷辅助隧穿至量子阱;随着注入电流增加,注入电荷的库伦电场对极化电场的屏蔽作用增强,导致发光峰发生明显的蓝移,能带填充效应则导致半高宽增加。 展开更多
关键词 gan高压发光二极管 极小电流 极低温度 光电特性
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激光诱导p-GaN掺杂对发光二极管性能改善的分析 被引量:2
8
作者 薛正群 黄生荣 +1 位作者 张保平 陈朝 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期1268-1274,共7页
采用激光诱导掺锌的方法提高了常规GaN基外延片p-GaN层的空穴浓度,并将它制备成小功率白光发光二极管(LED).对其光电性能做了详细的测量并进行了加速老化实验和分析.结果表明,与常规LED相比,经过激光诱导p-GaN层掺锌LED的光电性能获得... 采用激光诱导掺锌的方法提高了常规GaN基外延片p-GaN层的空穴浓度,并将它制备成小功率白光发光二极管(LED).对其光电性能做了详细的测量并进行了加速老化实验和分析.结果表明,与常规LED相比,经过激光诱导p-GaN层掺锌LED的光电性能获得了明显改善:正向工作电压VF从3.33V降到3.13V,串联电阻从30.27Ω降到20.27Ω,室温下衰退系数从1.68×10-4降到1.34×10-4,老化1600h后的反向漏电流从超过0.2μA降为不超过0.025μA,器件的预测寿命延长了41%.器件光电性能改善的主要原因是激光诱导掺锌使LED的p-型欧姆接触改善和热阻降低所致. 展开更多
关键词 激光诱导掺杂 gan 老化 发光二极管
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Progress and prospects of GaN-based LEDs using nanostructures
9
作者 赵丽霞 于治国 +6 位作者 孙波 朱石超 安平博 杨超 刘磊 王军喜 李晋闽 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第6期83-94,共12页
Progress with GaN-based light emitting diodes (LEDs) that incorporate nanostructures is reviewed, especially the re- cent achievements in our research group. Nano-patterned sapphire substrates have been used to grow... Progress with GaN-based light emitting diodes (LEDs) that incorporate nanostructures is reviewed, especially the re- cent achievements in our research group. Nano-patterned sapphire substrates have been used to grow an A1N template layer for deep-ultraviolet (DUV) LEDs. One efficient surface nano-texturing technology, hemisphere-cones-hybrid nanostruc- tures, was employed to enhance the extraction efficiency of InGaN flip-chip LEDs. Hexagonal nanopyramid GaN-based LEDs have been fabricated and show electrically driven color modification and phosphor-free white light emission because of the linearly increased quantum well width and indium incorporation from the shell to the core. Based on the nanostruc- tures, we have also fabricated surface plasmon-enhanced nanoporous GaN-based green LEDs using AAO membrane as a mask. Benefitting from the strong lateral SP coupling as well as good electrical protection by a passivation layer, the EL intensity of an SP-enhanced nanoporous LED was significantly enhanced by 380%. Furthermore, nanostructures have been used for the growth of GaN LEDs on amorphous substrates, the fabrication of stretchable LEDs, and for increasing the 3-dB modulation bandwidth for visible light communication. 展开更多
关键词 gan-based light emitting diodes (LEDs) NANOSTRUCTURE nano-patterned sapphire substrate sur-face plasmon
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用表面粗化ITO的欧姆接触提高GaN基LED性能(英文) 被引量:12
10
作者 姚雨 靳彩霞 +2 位作者 董志江 孙卓 黄素梅 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期273-277,共5页
应用ICP干法刻蚀工艺和自然光刻技术,制备了ITO表面粗化的GaN基LED芯片。聚苯乙烯纳米颗粒在干法刻蚀中作为刻蚀掩膜。通过扫描电镜(SEM)观察ITO薄膜的粗糙度,并且报道了优化的粗化工艺参数。结果表明,ITO表面粗化的GaN基LED芯片同传统... 应用ICP干法刻蚀工艺和自然光刻技术,制备了ITO表面粗化的GaN基LED芯片。聚苯乙烯纳米颗粒在干法刻蚀中作为刻蚀掩膜。通过扫描电镜(SEM)观察ITO薄膜的粗糙度,并且报道了优化的粗化工艺参数。结果表明,ITO表面粗化的GaN基LED芯片同传统的表面光滑的芯片相比在20 mA的驱动电流下,发光强度提高了70%。 展开更多
关键词 gan基发光二极管 铟锡氧化物 表面粗化 自然光刻
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Simulation study of blue InGaN multiple quantum well light-emitting diodes with different hole injection layers 被引量:4
11
作者 仵乐娟 李述体 +8 位作者 刘超 王海龙 卢太平 张康 肖国伟 周玉刚 郑树文 尹以安 杨孝东 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第6期583-587,共5页
InGaN-based light-emitting diodes with p-GaN and p-A1GaN hole injection layers are numerically studied using the APSYS simulation software. The simulation results indicate that light-emitting diodes with p-A1GaN hole ... InGaN-based light-emitting diodes with p-GaN and p-A1GaN hole injection layers are numerically studied using the APSYS simulation software. The simulation results indicate that light-emitting diodes with p-A1GaN hole injection layers show superior optical and electrical performance, such as an increase in light output power, a reduction in current leakage and alleviation of efficiency droop. These improvements can be attributed to the p-A1GaN serving as hole injection layers, which can alleviate the band bending induced by the polarization field, thereby improving both the hole injection efficiency and the electron blocking efficiency. 展开更多
关键词 gan-based light-emitting diodes hole injection layer injection efficiency
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溅射AlN技术对GaN基LED性能的影响 被引量:5
12
作者 张洁 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第9期706-710,共5页
研究了在图形蓝宝石衬底(PSS)上利用磁控溅射制备AlN薄膜的相关技术,随后通过采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)在相关AlN薄膜上生了长GaN基LED。通过一系列对比实验,分析了AlN薄膜的制备条件对GaN外延层晶体质量的影响,研究了AlN薄膜溅... 研究了在图形蓝宝石衬底(PSS)上利用磁控溅射制备AlN薄膜的相关技术,随后通过采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)在相关AlN薄膜上生了长GaN基LED。通过一系列对比实验,分析了AlN薄膜的制备条件对GaN外延层晶体质量的影响,研究了AlN薄膜溅射前N2预处理功率和溅射后热处理温度对GaN基LED性能的作用机制。实验结果表明:AlN薄膜厚度的增加,导致GaN缓冲层成核密度逐渐升高和GaN外延膜螺位错密度降低刃位错密度升高;N2处理功率的提升会加剧衬底表面晶格损伤,在GaN外延膜引入更多的螺位错;AlN热处理温度的升高粗化了表面并提高了GaN成核密度,使得GaN外延膜螺位错密度降低刃位错密度升高;而这些GaN外延膜位错密度的变化又进一步影响到LED的光电特性。 展开更多
关键词 gan基发光二极管(LED) 图形化蓝宝石衬底(pss) 磁控溅射 ALN薄膜 位错
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Improved light extraction of GaN-based light-emitting diodes with surface-textured indium tin oxide electrodes by nickel nanoparticle mask dry-etching 被引量:3
13
作者 何安和 章勇 +3 位作者 朱学绘 陈献文 范广涵 何苗 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第6期551-555,共5页
GaN-based light-emitting diodes (LEDs) with surface-textured indium tin oxide (ITO) as a transparent current spreading layer were fabricated. The ITO surface was textured by inductively coupled plasma (ICP) etch... GaN-based light-emitting diodes (LEDs) with surface-textured indium tin oxide (ITO) as a transparent current spreading layer were fabricated. The ITO surface was textured by inductively coupled plasma (ICP) etching technology using a monolayer of nickel (Ni) nanoparticles as the etching mask. The luminance intensity of ITO surface-textured GaN-based LEDs was enhanced by about 34% compared to that of conventional LED without textured ITO layer. In addition, the fabricated ITO surface-textured GaN-based LEDs would present a quite good performance in electrical characteristics. The results indicate that the scattering of photons emitted in the active layer was greatly enhanced via the textured ITO surface, and the ITO surface-textured technique could have a potential application in improving photoelectric characteristics for manufacturing GaN-based LEDs of higher brightness. 展开更多
关键词 gan-based light-emitting diodes nickel nanoparticle extraction efficiency surface roughening
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Blue InGaN light-emitting diodes with dip-shaped quantum wells 被引量:3
14
作者 卢太平 李述体 +8 位作者 张康 刘超 肖国伟 周玉刚 郑树文 尹以安 忤乐娟 王海龙 杨孝东 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第10期491-495,共5页
InGaN based light-emitting diodes (LEDs) with dip-shaped quantum wells and conventional rectangular quantum ~lls are numerically investigated by using the APSYS simulation software. It is found that the structure wi... InGaN based light-emitting diodes (LEDs) with dip-shaped quantum wells and conventional rectangular quantum ~lls are numerically investigated by using the APSYS simulation software. It is found that the structure with dip- aped quantum wells shows improved light output power, lower current leakage and less efficiency droop. Based on Lmerical simulation and analysis, these improvements on the electrical and the optical characteristics are attributed ainly to the alleviation of the electrostatic field in dip-shaped InGaN/GaN multiple quantum wells (MQWs). 展开更多
关键词 gan-based light-emitting diodes dip-shaped quantum wells
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The advantage of blue InGaN multiple quantum wells light-emitting diodes with p-AlInN electron blocking layer 被引量:3
15
作者 卢太平 李述体 +8 位作者 张康 刘超 肖国伟 周玉刚 郑树文 尹以安 仵乐娟 王海龙 杨孝东 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第9期456-459,共4页
InGaN based light-emitting diodes (LEDs) with different electron blocking layers have been numerically investi- gated using the APSYS simulation software. It is found that the structure with a p-AlInN electron block... InGaN based light-emitting diodes (LEDs) with different electron blocking layers have been numerically investi- gated using the APSYS simulation software. It is found that the structure with a p-AlInN electron blocking layer showes improved light output power, lower current leakage, and smaller efficiency droop. Based on numerical simulation and analysis, these improvements of the electrical and optical characteristics are mainly attributed to the efficient electron blocking in the InGaN/GaN multiple quantum wells (MQWs). 展开更多
关键词 gan-based light-emitting diodes electron blocking layer AIInN
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电流对不同厚度GaN基白光LED可靠性的影响及光电特性研究 被引量:3
16
作者 曾繁响 刘倩 熊传兵 《激光杂志》 北大核心 2019年第3期32-35,共4页
制备不同厚度GaN基白光LED芯片为了研究不同厚度的芯片可靠性以及电流对光电特性的影响,应用了加速老化以及积分球测试的方法,对LED进行了电流应力的老化试验和光电性能测试,分析了光电参数在老化过程中的变化情况。实验结果显示,所有... 制备不同厚度GaN基白光LED芯片为了研究不同厚度的芯片可靠性以及电流对光电特性的影响,应用了加速老化以及积分球测试的方法,对LED进行了电流应力的老化试验和光电性能测试,分析了光电参数在老化过程中的变化情况。实验结果显示,所有的芯片随着电流的加大LED出光的相关色温上升,红色比减少;随着GaN基白光LED芯片厚度增加,峰值波长发生蓝移现象而且光通量衰减较快,在短期老化后的结果更为明显。通过对光谱曲线的数据处理,从理论上分析了峰值波长、相关色温和光通量随芯片厚度变化的原因。 展开更多
关键词 gan基发光二极管 加速老化 积分球测试 光电性能
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具有新型电极结构的功率发光二极管 被引量:2
17
作者 方奥琪 郭伟玲 +3 位作者 许昊 邓杰 陈佳昕 孙捷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第19期176-180,共5页
为进一步提高GaN基发光二极管(LED)的光效,以改进电极结构为研究点,设计并制备了具有叉指型电极形状,并在P/N电极下刻蚀出电极孔的新型电极结构。该结构使金属电极在P/N电极孔处分别与ITO层和N-GaN层直接接触,进而提高了器件的电流扩展... 为进一步提高GaN基发光二极管(LED)的光效,以改进电极结构为研究点,设计并制备了具有叉指型电极形状,并在P/N电极下刻蚀出电极孔的新型电极结构。该结构使金属电极在P/N电极孔处分别与ITO层和N-GaN层直接接触,进而提高了器件的电流扩展能力和发光效率。为了得到更优的电流阻挡层(CBL)结构、电极孔尺寸和电极孔间距,设计了7种不同的器件,并对其进行了光电性能测试。测试结果表明:在150 mA工作电流下,不连续CBL结构不能够有效改善LED的发光性能;P电极孔尺寸对器件的性能影响不大,当P电极孔间距由20μm增大为30μm时,外量子效率(EQE)和光电转换效率(WPE)分别提升了约5.0%和3.8%;当N电极孔尺寸由17μm×5μm减小为10μm×5μm时,EQE和WPE分别提升了约6.5%和3.0%;当N电极孔间距由45μm减小为40μm时,并未有效改善器件的发光性能。 展开更多
关键词 光学器件 gan基发光二极管 光电特性 热可靠性
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Droop improvement in blue InGaN light-emitting diodes with GaN/InGaN superlattice barriers
18
作者 童金辉 赵璧君 +7 位作者 王幸福 陈鑫 任志伟 李丹伟 卓祥景 章俊 易翰翔 李述体 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第6期651-655,共5页
GaN/InGaN superlattice barriers are used in InGaN-based light-emitting diodes (LEDs). The electrostatic field in the quantum wells, electron hole wavefunction overlap, carrier concentration, spontaneous emission spe... GaN/InGaN superlattice barriers are used in InGaN-based light-emitting diodes (LEDs). The electrostatic field in the quantum wells, electron hole wavefunction overlap, carrier concentration, spontaneous emission spectrum, light-current performance curve, and internal quantum efficiency are numerically investigated using the APSYS simulation software. It is found that the structure with GaN/InGaN superlattice barriers shows improved light output power, and lower current leakage and efficiency droop. According to our numerical simulation and analysis, these improvements in the electrical and optical characteristics are mainly attributed to the alleviation of the electrostatic field in the active region. 展开更多
关键词 gan-based light-emitting diodes gan/Ingan superlattice barriers electrostatic field
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Efficiency and droop improvement in a blue InGaN-based light emitting diode with a p-InGaN layer inserted in the GaN barriers
19
作者 王幸福 童金辉 +7 位作者 赵璧君 陈鑫 任志伟 李丹伟 卓祥景 章俊 易翰翔 李述体 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期644-647,共4页
The advantages of a blue InGaN-based light-emitting diode with a p-InGaN layer inserted in the GaN barriers is studied. The carrier concentration in the quantum well, radiative recombination rate in the active region,... The advantages of a blue InGaN-based light-emitting diode with a p-InGaN layer inserted in the GaN barriers is studied. The carrier concentration in the quantum well, radiative recombination rate in the active region, output power, and internal quantum efficiency are investigated. The simulation results show that the InGaN-based light-emitting diode with a p-InGaN layer inserted in the barriers has better performance over its conventional counterpart and the light emitting diode with p-GaN inserted in the barriers. The improvement is due to enhanced Mg acceptor activation and enhanced hole injection into the quantum wells. 展开更多
关键词 gan-based light-emitting diodes p-Ingan layers Mg acceptor
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