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题名基于GaAs pin工艺的开关滤波器组芯片
被引量：6
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作者
世娟
白志中
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
空军军械通用装备军事代表局
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期570-574,605,共6页
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文摘
基于GaAs pin工艺,研制了频率覆盖9.9~14.2GHz的三通道开关滤波器组单片微波集成电路（MMIC）芯片。开关滤波器组由输入/输出pin单刀三掷开关、带通滤波器组和pin开关偏置电路组合而成,集成在面积为4mm×4mm的GaAs衬底芯片上。每个支路的pin开关都采用串-并混合结构,控制电压-5V时开关导通,＋5V时开关截止。带通滤波器均采用分布参数梳状线结构,开路端加载金属-绝缘体-金属（MIM）电容减小了滤波器的尺寸。经探针台在片测试,结果表明,开关滤波器组MMIC芯片的三个通道中心插损为3.5~4.0dB,1dB相对带宽为16%~19%,35dB与1dB矩形系数比为1.9~2.2。
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关键词
单刀三掷开关
带通滤波器
开关滤波器组
gaas
pin工艺
耦合系数
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Keywords
single pole triple throw switch
bandpass filter
switched filter bank
gaas pin tech- nology
coupling coefficient
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分类号
TN304.23
[电子电信—物理电子学]
TN43
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