-
题名PECVD装置的有限元分析及结构优化
被引量：1
- 1
-
-
作者
吴晓松
褚学宁
-
机构
上海交通大学机械与动力工程学院
-
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2013年第7期1-3,共3页
-
文摘
针对PECVD装置在真空高温工作环境下存在的热变形问题,运用有限元流—热—结构耦合分析方法,对装置结构进行流固耦合传热特性分析,得出装置的稳态温度场分布情况,将分析结果作为装置流—热—结构耦合分析的边界条件加载到装置结构上,求得装置在热载荷和结构载荷综合作用下的变形情况。基于原有装置结构的分析结果,分析装置变形的主要原因,提出可行的优化改进方法。有限元分析结果表明,装置变形是热载荷和结构载荷综合作用的结果,其中热载荷为装置变形的主要因素;减小热载荷是控制装置变形,保证装置正常工作及可靠性的一个非常重要的因素。
-
关键词
PECVD装置
热变形
流—热—结构耦合分析
有限元
结构优化
-
Keywords
PECVE Device
thermal Deformation
fluid-thermal-structural coupling analysis
FEM
structural Optimization
-
分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TB115
[理学—数学]
-
