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通过改变费米能级钉扎效应制备6H-SiC欧姆接触的特性研究 被引量:3
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作者 洪根深 廖勇明 +4 位作者 廖伟 丁元力 邬瑞彬 刘洪军 龚敏 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期492-494,共3页
作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法 ,在n型 6H SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触 .作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究 ;并对形成欧姆接触的物理机理进行了讨论 ,研究了这种欧姆接触在大密度电流下的特性 .
关键词 6H-SIC 费米能级钉扎 欧姆接触
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Approaching ohmic contact to two-dimensional semiconductors 被引量:3
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作者 Kailang Liu Peng Luo +4 位作者 Wei Han Sanjun Yang Shasha Zhou Huiqiao Li Tianyou Zhai 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第19期1426-1435,共10页
Two-dimensional semiconductors have attracted immense research interests owing to their intriguing properties and promising applications in electronic and optoelectronic devices.However,the performance of these device... Two-dimensional semiconductors have attracted immense research interests owing to their intriguing properties and promising applications in electronic and optoelectronic devices.However,the performance of these devices is drastically hindered by the large Schottky barrier at the electric contact interface,which is hardly tunable due to the Fermi level pinning effect.In this review,we will analyze the root causes of the contact problems for the two-dimensional semiconductor devices and summarize the strategies on the basis of different contact geometries,aiming to lift out the Fermi level pinning effect and achieve the ohmic contact.Moreover,the remarkable improvement of the device performance thanks to these optimized contacts will be emphasized.At the end,the merits and limitations of these strategies will be discussed as well,which potentially gives a guideline for handling the electric contact issues in two-dimensional semiconductors devices. 展开更多
关键词 TWO-DIMENSIONAL semiconductor Ohmic contact fermi level pinning SCHOTTKY barrier
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Modulation of WN_x/Ge Schottky barrier height by varying N composition of tungsten nitride 被引量:1
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作者 魏江镔 池晓伟 +7 位作者 陆超 王尘 林光杨 吴焕达 黄巍 李成 陈松岩 刘春莉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期459-462,共4页
Modulation of the Schottky barrier heights was successfully demonstrated for WNx/p-Ge and WNx/n-Ge contacts by increasing the nitrogen component in the WNx films. The WN0.38/p-Ge contact exhibits rectifying characteri... Modulation of the Schottky barrier heights was successfully demonstrated for WNx/p-Ge and WNx/n-Ge contacts by increasing the nitrogen component in the WNx films. The WN0.38/p-Ge contact exhibits rectifying characteristic and an apparent Schottky barrier of 0.49 eV while the WN0.38/n-Ge Schottky contact exhibits quasi-Ohmic current–voltage characteristics. Dipoles formed at the contact interface by the difference of the Pauling electronegativities of Ge and N are confirmed to alleviate the Fermi-level pinning effect. 展开更多
关键词 GERMANIUM fermi-level pinning Schottky barrier height modulation tungsten nitride
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Fermi level pinning effects at gate–dielectric interfaces influenced by interface state densities 被引量:1
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作者 洪文婷 韩伟华 +2 位作者 吕奇峰 王昊 杨富华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期443-447,共5页
The dependences of Fermi-level pinning on interface state densities for the metal-dielectric, ploycrystalline silicon-dielectric, and metal silicide-dielectric interfaces are investigated by calculating their effectiv... The dependences of Fermi-level pinning on interface state densities for the metal-dielectric, ploycrystalline silicon-dielectric, and metal silicide-dielectric interfaces are investigated by calculating their effective work functions and their pinning factors. The Fermi-level pinning factors and effective work functions of the metal-dielectric interface are observed to be more susceptible to the increasing interface state densities, differing significantly from that of the ploycrystalline silicon-dielectric interface and the metal silicide-dielectric interface. The calculation results indicate that metal silicide gates with high-temperature resistance and low resistivity are a more promising choice for the design of gate materials in metal-oxide semiconductor(MOS) technology. 展开更多
关键词 interface state density fermi-level pinning MIS structure effective work function
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Oxide/GaAs的费米能级钉扎效应 被引量:2
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作者 张声豪 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1992年第4期366-370,共5页
用表面光伏方法研究了N-GaAs(100)在21~320K温度范围内的表面势V_、表面费米能级R_的温度性质和费米能级钉扎效应,得到Oxide/N-GaAs(100)系统的费米能级钉扎位置为E.+0.75eV,并通过与已有工作的比较指出GaAs等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的费... 用表面光伏方法研究了N-GaAs(100)在21~320K温度范围内的表面势V_、表面费米能级R_的温度性质和费米能级钉扎效应,得到Oxide/N-GaAs(100)系统的费米能级钉扎位置为E.+0.75eV,并通过与已有工作的比较指出GaAs等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的费米能级钉扎位置应与晶面取向无直接联系。 展开更多
关键词 表面光伏 费米能级 钉扎 砷化镓
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金属-Bi_(2)OS_(2)界面肖特基势垒以及电荷转移机制研究
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作者 张晓东 冯丽萍 +7 位作者 钟诗宸 叶元茗 潘海曦 刘鹏飞 郑孝奇 李焕勇 屈铭洋 王锡桐 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第2期811-818,共8页
由于金属与二维半导体接触界面复杂的电荷转移,界面处经常会产生强烈的费米钉扎效应.本文以Bi_(2)OS_(2)(拥有目前二维半导体材料中已知的最高电子迁移率)作为二维沟道层,采用密度泛函理论系统地计算了其与金属电极接触界面的肖特基势... 由于金属与二维半导体接触界面复杂的电荷转移,界面处经常会产生强烈的费米钉扎效应.本文以Bi_(2)OS_(2)(拥有目前二维半导体材料中已知的最高电子迁移率)作为二维沟道层,采用密度泛函理论系统地计算了其与金属电极接触界面的肖特基势垒以及界面电荷转移机制.当Bi_(2)OS_(2)与三维金属电极接触时,界面强的电荷转移主要由化学键的形成以及泡利电荷排斥作用引起,导致界面具有强的费米钉扎,并且由这两个原因引起的电荷转移方向相反.此外,当金属的功函数大于半导体的电离能或小于半导体的电子亲合能时,界面会产生一个额外的电荷转移.当Bi_(2)OS_(2)与二维金属电极接触时,界面的费米钉扎完全被抑制,界面遵循肖特基-莫特定律,这是因为本文所选用的二维金属电极能够有效地屏蔽泡利电荷排斥作用.因此,通过选择不同功函数的二维金属电极,能够宽范围、线性地调节界面的肖特基势垒高度,并且能够实现界面从n型欧姆接触到p型欧姆接触的转变.这项研究不仅为Bi_(2)OS_(2)基器件的电极选择提供了理论指导,还能够增强对金属与二维半导体接触界面相互作用机制的理解. 展开更多
关键词 肖特基势垒 功函数 欧姆接触 金属电极 电荷转移 接触界面 排斥作用 电子亲合能
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Fermi level depinning by a C-containing layer in a metal/Ge structure by using a chemical bath
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作者 王巍 王敬 +2 位作者 赵梅 梁仁荣 许军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第10期16-20,共5页
Insertion of a C-containing layer in a metal/Ge structure,using a chemical bath,enabled the Schottky barrier height(SBH) to be modulated.Chemical baths with 1-octadecene,1-hexadecene,1-tetradecene,and 1- dodecene we... Insertion of a C-containing layer in a metal/Ge structure,using a chemical bath,enabled the Schottky barrier height(SBH) to be modulated.Chemical baths with 1-octadecene,1-hexadecene,1-tetradecene,and 1- dodecene were used separately with Ge substrates.An ultrathin C-containing layer stops the penetration of free electron wave functions from the metal to the Ge.Metal-induced gap states are alleviated and the pinned Fermi level is released.The SBH is lowered to 0.17 eV.This new formation method is much less complex than traditional ones,and the result is very good. 展开更多
关键词 Schottky barrier fermi level pinning chemical bath blocking layer
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半导体/液结费米能级钉着的理论分析 被引量:1
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作者 林仲华 罗瑾 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1989年第6期608-612,共5页
在半导体/金属接触的肖脱基结理论和半导体/溶液界面结构的 Gerischer-Nozik模型的基础上,推导出半导体/液结势垒高度的关系式,并定量地分析无表面态和高密度表面态两种极限情形中的势垒高度。结果表明前者决定于半导体的亲合能和氧化... 在半导体/金属接触的肖脱基结理论和半导体/溶液界面结构的 Gerischer-Nozik模型的基础上,推导出半导体/液结势垒高度的关系式,并定量地分析无表面态和高密度表面态两种极限情形中的势垒高度。结果表明前者决定于半导体的亲合能和氧化还原对的电位,后者不随氧化还原对的电位和外加电位而变化,费米能级钉着在表面态。n-GaAs 电极的光电效应和电反射效应的实验结果证明理论分析的合理性。 展开更多
关键词 半导体 液结 费米能级钉着 表面态
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MIS结构降低源漏极接触电阻的研究进展
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作者 黄本成 刘英明 +2 位作者 荆学珍 张北超 谢超英 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第1期12-17,22,共7页
介绍了降低金属氧化物半导体场效应晶体管中金属/半导体接触电阻的一种新型的方法,在金属与半导体之间插入一层薄的电介质形成金属-界面层-半导体(metal-interfacial layer-semiconductor,MIS)结构以降低金属/半导体接触电阻。回顾了降... 介绍了降低金属氧化物半导体场效应晶体管中金属/半导体接触电阻的一种新型的方法,在金属与半导体之间插入一层薄的电介质形成金属-界面层-半导体(metal-interfacial layer-semiconductor,MIS)结构以降低金属/半导体接触电阻。回顾了降低接触电阻的工艺发展历程与趋势,综述了MIS结构的基础物理模型与计算模拟的方法,总结了MIS结构实验研究的最新进展,讨论了MIS结构的局限性与不足之处,并展望了MIS结构在未来的发展方向。 展开更多
关键词 自对准硅化物 金属/半导体接触 综述 MIS结构 费米能级钉扎 肖特基势垒
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WSe_(2)场效应晶体管的源漏接触特性研究
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作者 张璐 张亚东 +3 位作者 孙小婷 贾昆鹏 吴振华 殷华湘 《半导体光电》 北大核心 2021年第3期371-374,384,共5页
二硒化钨(WSe_(2))具有双极导电特性,可以通过外界掺杂或改变源漏金属来调节载流子传输类型,是一类特殊的二维纳米材料,有望在未来集成电路中成为硅(Si)的替代材料。文章采用理论与实验相结合的方式系统分析了WSe_(2)场效应晶体管中的... 二硒化钨(WSe_(2))具有双极导电特性,可以通过外界掺杂或改变源漏金属来调节载流子传输类型,是一类特殊的二维纳米材料,有望在未来集成电路中成为硅(Si)的替代材料。文章采用理论与实验相结合的方式系统分析了WSe_(2)场效应晶体管中的源漏接触特性对器件导电类型及载流子传输特性的影响,通过制备不同金属作为源漏接触电极的WSe_(2)场效应晶体管,发现金属/WSe_(2)接触的实际肖特基接触势垒高低极大地影响了晶体管的开态电流。源漏金属/WSe_(2)接触特性不仅取决于接触前理想的费米能级差,还受到界面特性,特别是费米能级钉扎效应的影响。 展开更多
关键词 二硒化钨 双极特性 金属功函数 肖特基势垒 源漏接触 费米能级钉扎
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