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MEMS加工误差对微弹簧力学特性的影响分析 被引量:13
1
作者 李华 石庚辰 何光 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第5期735-737,741,共4页
S型微弹簧是一种在微机电系统中应用广泛的微弹性元件,利用力学分析法,首次推导出S型微弹簧在空间3个方向上的弹性系数计算公式,ANSYS仿真验证了公式推导的正确性。采用LIGA工艺,设计加工了一种金属镍S型微弹簧。用精密微小型计算机显... S型微弹簧是一种在微机电系统中应用广泛的微弹性元件,利用力学分析法,首次推导出S型微弹簧在空间3个方向上的弹性系数计算公式,ANSYS仿真验证了公式推导的正确性。采用LIGA工艺,设计加工了一种金属镍S型微弹簧。用精密微小型计算机显微测量仪测量得到微弹簧的线宽,长度和厚度与设计值的误差分别为4μm、50μm和24μm。分析了微弹簧各个结构参数的加工误差对微机电系统(MEMS)微弹簧力学特性的影响,指出微弹簧线宽的加工误差对其力学特性影响最大,Tytron250微小力拉伸实验机实验验证了结论的正确性。 展开更多
关键词 微机电系统 S型微弹簧 弹性系数 加工误差
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离轴二次非球面反射镜无像差点法检测的误差分离技术 被引量:12
2
作者 陈钦芳 李英才 +2 位作者 马臻 李旭阳 梁士通 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期213-217,共5页
非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的高精度检测,对其干涉检测结果中的误差信息进行了分析。利用偏心光学系统的波像差分析方法,分析了在非球... 非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的高精度检测,对其干涉检测结果中的误差信息进行了分析。利用偏心光学系统的波像差分析方法,分析了在非球面检测系统中,被测镜的调整误差对系统波像差的影响,建立了调整误差分离的数学模型。利用该模型对离轴非球面反射镜进行实际的调装实验,经过四次调整,被测离轴二次非球面的最终检测的方均根结果为0.037λ(λ=0.6328μm),有效地提高了检测效率。 展开更多
关键词 光学制造 非球面检测 无像差点法检测 调整误差 误差分离矩阵
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一种基于超声波测厚的薄壁件自动补偿加工方法 被引量:12
3
作者 钟柳春 毕庆贞 +2 位作者 张凯 王宇晗 杜璠 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2016年第10期148-150,153,共4页
针对薄壁工件在加工时易发生加工变形而出现加工误差,导致工件加工精度降低的问题,提出了一种基于超声波测厚装置的自动补偿加工方法。该方法首先利用超声波测量原理提出了一种厚度测量装置,利用该装置对特征刀位点进行厚度测量,并由测... 针对薄壁工件在加工时易发生加工变形而出现加工误差,导致工件加工精度降低的问题,提出了一种基于超声波测厚装置的自动补偿加工方法。该方法首先利用超声波测量原理提出了一种厚度测量装置,利用该装置对特征刀位点进行厚度测量,并由测得的厚度值插值得到所有刀位点厚度,进而补偿加工量,完成补偿加工。最后以航空薄壁件加工为例,对该方法进行了仿真分析与试验验证,结果表明,该方法能够有效保证加工精度。 展开更多
关键词 薄壁工件 加工误差 补偿加工 超声波测厚
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射流抛光误差分析与材料去除稳定性研究 被引量:11
4
作者 施春燕 袁家虎 +1 位作者 伍凡 万勇建 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期162-166,共5页
研究了射流抛光材料去除面形不呈理想的对称形和重复抛光材料去除量的波动不稳性,分析认为射流抛光过程稳定性和误差因素会影响材料去除的不稳定性。分析了射流系统的误差影响因素,其主要由压力波动、磨粒沉降作用和流体的紊动作用等部... 研究了射流抛光材料去除面形不呈理想的对称形和重复抛光材料去除量的波动不稳性,分析认为射流抛光过程稳定性和误差因素会影响材料去除的不稳定性。分析了射流系统的误差影响因素,其主要由压力波动、磨粒沉降作用和流体的紊动作用等部分组成,并研究了各误差影响因素的产生机理和对材料去除的影响。通过仿真和实验分析,得到压力波动、磨粒沉降作用和流体紊动作用的波动范围,构建了基于各误差的材料去除稳定性的完整表达式,理论计算误差范围与实验误差范围吻合。 展开更多
关键词 光学制造 射流抛光 误差分析 材料去除稳定性
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大跨度钢斜拉桥制造误差的传播及其效应特性 被引量:9
5
作者 张清华 黄灿 +1 位作者 卜一之 李乔 《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第5期830-837,共8页
为阐明制造误差效应在大跨度斜拉桥施工控制中的传播问题,对全过程控制条件下超大跨度钢斜拉桥关键构件制造误差效应的效应特性进行了研究,由几何非线性平衡方程推导并建立了全过程控制条件下的误差效应传播方程.在此基础上,以典型的超... 为阐明制造误差效应在大跨度斜拉桥施工控制中的传播问题,对全过程控制条件下超大跨度钢斜拉桥关键构件制造误差效应的效应特性进行了研究,由几何非线性平衡方程推导并建立了全过程控制条件下的误差效应传播方程.在此基础上,以典型的超大跨度斜拉桥——苏通大桥为研究对象,就构件制造误差效应的形成过程、效应特性及其传播特性进行了深入研究.研究表明:所建立的误差传播方程应用和求解方便,适用于大跨度斜拉桥全过程施工控制误差效应的理论研究和计算分析;不同类型构件制造误差的传播特性存在较大差异,随悬臂长度增大,主梁节段间制造角度的误差效应表现出典型的自收敛特性,而主梁节段制造长度的误差效应不具备自收敛特性,施工控制实施时应根据误差效应特性确定科学、合理的误差调控方案. 展开更多
关键词 斜拉桥 施工控制 全过程控制 制造误差 误差传播
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大口径非球面反射镜误差分离组合加工技术 被引量:8
6
作者 刘振宇 李龙响 +2 位作者 曾雪峰 罗霄 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期813-819,共7页
为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾,提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术。首先,分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力。然后,比较了不同磨头的收敛效率与加工时间之间的关系。最后,... 为了解决大口径非球面反射镜材料去除效率与面形收敛效率之间的矛盾,提出了基于高低阶面形误差分离的组合加工技术。首先,分析了不同尺寸磨头对不同周期面形误差的控制能力。然后,比较了不同磨头的收敛效率与加工时间之间的关系。最后,根据大口径非球面反射镜加工过程中面形误差的特点,将大口径非球面反射镜的面形误差分离为低阶面形误差与高阶面形误差,使用不同加工方式分别对高、低阶面形误差驻留时间进行求解。通过多种加工方式组合加工的方法建立了具有针对性的加工策略,有效提高加工效率。结合工程实例,对一块口径为2.04m的非球面SiC反射镜进行了加工试验,单个组合加工周期内面形收敛效率达到61.2%。结果表明,高阶与低阶面形误差均得到较好的去除。材料去除效率与面形收敛效率均得到提高,达到了良好的效果,满足加工需求。 展开更多
关键词 光学加工 误差分离 组合加工 高阶误差 低阶误差
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基于光学性能评价自由曲面离轴三反系统加工误差分析 被引量:8
7
作者 刘现磊 张效栋 +1 位作者 徐航宇 曾臻 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期184-192,共9页
超精密加工过程存在的加工误差影响着器件的面形误差,进而影响光学性能。制造者往往从面形精度方面来评价加工精度,但是光学性能才是光学系统的最终评价指标,仅仅关注加工过程中加工误差对单个面的面形误差影响是不够的,加工误差对系统... 超精密加工过程存在的加工误差影响着器件的面形误差,进而影响光学性能。制造者往往从面形精度方面来评价加工精度,但是光学性能才是光学系统的最终评价指标,仅仅关注加工过程中加工误差对单个面的面形误差影响是不够的,加工误差对系统光学性能的影响需要进一步研究。基于多体系统理论和光线追迹理论建立了加工误差影响分析模型,探索了加工误差对面形误差和光学性能的影响,得出了系统主要的面形误差形式及其对系统调制传递函数(MTF)的影响关系,并根据系统对光学性能的要求得出了加工误差、面形误差和角度公差,从而找到了影响三反系统光学性能的重点加工误差,研究结果可为离轴三反系统加工误差的控制及光学质量可控制造的实现提供理论指导。 展开更多
关键词 测量 制造公差 加工误差 光学性能 面形误差 离轴三反系统 调制传递函数
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UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响 被引量:7
8
作者 曹云 席占稳 +2 位作者 王炅 聂伟荣 孔南 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1815-1823,1833,共10页
为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机,进行主要结构尺寸测量,并确定工艺误差方向;从UV-LIGA工艺过程的曝光、显影与电铸、腐蚀3个阶段,分析... 为提高微机电系统(MEMS)万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机,进行主要结构尺寸测量,并确定工艺误差方向;从UV-LIGA工艺过程的曝光、显影与电铸、腐蚀3个阶段,分析误差的产生机理,并进一步分析单一结构误差、非对称误差和偏心误差对开关阈值和接触时间的影响.结果表明:弹簧线宽、厚度、侧壁倾角和两电极间隙等单一结构尺寸的增大会导致阈值增大;非对称误差会导致开关各向刚度不一致,使阈值散布更大;偏心误差会大幅度减小开关轴向阈值,而对径向阈值影响较小.对多个开关样机的测试结果验证了开关工艺误差及单一结构误差对阈值影响的正确性. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) UV-LIGA 工艺误差 万向惯性开关 阈值
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Solving the input data in error correc-tion of optical fabrication by finite Fourier coefficient algorithm 被引量:4
9
作者 CHENG Haobo1,2, SUN Guozheng3 & FENG Zhijing2 1. Department of Optical Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China 2. Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China 3. China North Industries Group Corporation, Beijing 100089, China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2006年第1期50-60,共11页
A free-form lens (FFL) is a special surface that is difficult to be fabricated. FFL are usually fabricated by computer-controlled optical surfacing (CCOS) technique. During CCOS, the material removal amount is determi... A free-form lens (FFL) is a special surface that is difficult to be fabricated. FFL are usually fabricated by computer-controlled optical surfacing (CCOS) technique. During CCOS, the material removal amount is determined by the unit removal function (URF) convoluting with the input data――the dwell time. When the removal amount and the URF are known, how to solve the input data involves the special algorithm――deconvolution. Usually, the input data are solved by virtue of low pass filter or iterative methods. However, an approximation solution would destroy the machining stability nec-essary to perform precisely CCOS. In this paper, to solve the input data, a new method that is based on the finite Fourier coefficient is put forward. It can give a continuous and accurate solution for fabricating choice. Several parameters are simulated, which influ-ence the process of CCOS, and evaluating on the effect of the method is also carried out. Experimental results verify that this method is suitable for guiding the manufacturing of high precision FFL. 展开更多
关键词 OPTICAL fabrication computer controlled OPTICAL surfacing free-form lens FINITE FOURIER coefficient error correction.
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基于部分补偿干涉的非球面顶点曲率半径加工误差测量 被引量:5
10
作者 胡摇 李腾飞 +1 位作者 郝群 常旭 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第8期903-908,共6页
测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,... 测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,基于部分补偿干涉原理,提出了一种非球面顶点曲率半径加工误差测量方法,测得非球面顶点曲率半径加工误差。仿真实验结果表明,所提出的误差测量方法具有可行性,其原理相对测量精度不低于0.003%。 展开更多
关键词 计量学 顶点曲率半径 非球面 干涉测量 加工误差
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基于MEMS镍平面微弹簧尺寸误差分析 被引量:4
11
作者 邵伟平 张继桃 +3 位作者 郝永平 渠元菊 王威 谷双喜 《机械设计》 CSCD 北大核心 2012年第8期80-82,共3页
对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对... 对微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b。鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对S型微弹簧的设计提出几点建议。 展开更多
关键词 微机电系统 S型微弹簧 弹性系数 加工误差
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球面镜数控加工中安装误差在线检测及补偿 被引量:4
12
作者 刘健 王绍治 张玲花 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第7期676-682,共7页
在光学元件的数控加工中,面形精度是工艺流程的关键指标,而工件的安装误差是影响面形精度的重要因素。基于数控机床的在线检测功能研究了球面光学元件的安装倾斜误差自动补偿问题。首先,基于球面工件安装倾斜的几何模型,将误差的补偿问... 在光学元件的数控加工中,面形精度是工艺流程的关键指标,而工件的安装误差是影响面形精度的重要因素。基于数控机床的在线检测功能研究了球面光学元件的安装倾斜误差自动补偿问题。首先,基于球面工件安装倾斜的几何模型,将误差的补偿问题转化为工件的球心位置检测问题。然后,根据球面工件测点的同心圆布置算法以及法向探测方式实现球面检测,进而应用最小二乘拟合算法计算球心位置。最后,在口径为280 mm,曲率半径为519.796 mm的凹球面光学元件上进行了验证实验,补偿前后表面最大偏移误差由621.6μm降低至2.8μm。实验结果表明:应用所述算法,可以高效地实现球面安装误差高精度自动补偿。 展开更多
关键词 光学制造 在线检测 安装误差 数控加工
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Research on error compensation method for dual-beam measurement of roll angle based on rhombic prism(Invited Paper) 被引量:2
13
作者 张桐 冯其波 +1 位作者 崔存星 张斌 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期24-27,共4页
The fabrication deviation of prisms and the error crosstalk are two major factors that produce serious systematic errors in dual-beam roll measurement based on a rhombic prism, and an error compensation method is put ... The fabrication deviation of prisms and the error crosstalk are two major factors that produce serious systematic errors in dual-beam roll measurement based on a rhombic prism, and an error compensation method is put forward in this letter to reduce these systematic errors. The rotation matrix, reflection matrix, and refraction matrix are used to calculate and obtain the mathematical relationship model of the roll angle as well as the fabrication deviation of prism and error crosstalk. The fabrication deviation can be obtained through comparison experiments and using the least square method. In this way, the systematic error of the roll measurement caused by fabrication deviation of prism and error crosstalk can be eliminated theoretically. The experimental results show that the maximum error of the roll angle measurement reduces evidently to 3.5″ from the previous 347.2″ after compensation. 展开更多
关键词 CROSSTALK error compensation fabrication Least squares approximations Systematic errors
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工艺误差对AWG串扰特性的影响 被引量:1
14
作者 戴道锌 徐静 +2 位作者 刘书哲 何赛灵 何建军 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第8期65-71,共7页
分析了阵列波导光栅器件的制作过程中引入的各种工艺误差。对波导尺寸误差、折射率 误差以及长度误差进行了等效,并计算了位相误差和振幅误差的方差。最后分析了位相误差和振 幅误差对阵列波导光栅的频谱特性尤其是相邻通道间的串扰特... 分析了阵列波导光栅器件的制作过程中引入的各种工艺误差。对波导尺寸误差、折射率 误差以及长度误差进行了等效,并计算了位相误差和振幅误差的方差。最后分析了位相误差和振 幅误差对阵列波导光栅的频谱特性尤其是相邻通道间的串扰特性的影响。 展开更多
关键词 工艺误差 位相误差 振幅误差 串扰 阵列波导光栅
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影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究 被引量:3
15
作者 吴庆堂 聂凤明 +4 位作者 王大森 史国权 吴焕 李珊 郭波 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期233-237,共5页
分析了方形非球面光学元件磨削加工中产生四角塌边误差的原因,计算了方形非球面光学元件磨削加工时砂轮轴系两种安装方式的磨削系统刚度,讨论了砂轮轴系安装的位置对加工精度的影响,进行了砂轮轴系两种安装方式的方形光学元件磨削试验,... 分析了方形非球面光学元件磨削加工中产生四角塌边误差的原因,计算了方形非球面光学元件磨削加工时砂轮轴系两种安装方式的磨削系统刚度,讨论了砂轮轴系安装的位置对加工精度的影响,进行了砂轮轴系两种安装方式的方形光学元件磨削试验,以及不同砂轮型号、工艺参数的磨削试验,确定了能够满足方形非球面光学元件加工精度的砂轮轴系安装位置结构及磨削工艺参数。 展开更多
关键词 光学制造 方形非球面 精密磨削 四角塌边误差
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波纹误差对同轴布拉格结构反射特性的影响 被引量:3
16
作者 赖颖昕 危喜临 +1 位作者 王善进 张世昌 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期113-118,共6页
利用模式匹配法建立了分析波纹参数具有随机误差的矩形槽同轴布拉格结构反射特性的理论模型,并以一个以基模(TEM)工作于220GHz附近的矩形槽同轴布拉格结构为例,研究了矩形凹槽的深度、宽度、周期长度以及位置的随机误差对其反射率频率... 利用模式匹配法建立了分析波纹参数具有随机误差的矩形槽同轴布拉格结构反射特性的理论模型,并以一个以基模(TEM)工作于220GHz附近的矩形槽同轴布拉格结构为例,研究了矩形凹槽的深度、宽度、周期长度以及位置的随机误差对其反射率频率响应的影响。数值模拟结果表明:在给定的误差范围条件下,凹槽宽度与位置的随机误差对该结构的反射性能影响较小,而凹槽深度与周期长度的随机误差是影响结构反射特性的主要因素,因此在结构的加工制备过程中应视器件性能要求严格控制两者的制造公差。 展开更多
关键词 同轴布拉格结构 模式匹配法 矩形槽 加工误差 反射率
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4阶二元光学元件制作误差的解析分析 被引量:2
17
作者 徐平 李景镇 +3 位作者 卜桂学 唐继跃 郭履容 郭永康 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期415-420,共6页
根据标量衍射理论,提出了4阶二元光学元件制作误差对衍射效率影响的解析表达式,对此解析公式展开了讨论,并与计算机模拟结果进行了比较,两者吻合得很好,且与实验结果基本符合。
关键词 二元光学 制作误差 衍射效率 解析分析
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夹持方式和加工误差对大口径薄型KDP晶体附加面形的影响 被引量:3
18
作者 徐攀 崔凯洪 +3 位作者 张彬 贾凯 熊召 袁晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期2079-2084,共6页
惯性约束聚变频率转换系统中,大口径薄型KDP晶体的面形质量是影响频率转换效率能否达到设计要求的关键因素之一。针对45°放置状态下口径为400mm×400mm的三倍频KDP晶体,采用AN-SYS有限元分析软件,建立了不同夹持方式和具有不... 惯性约束聚变频率转换系统中,大口径薄型KDP晶体的面形质量是影响频率转换效率能否达到设计要求的关键因素之一。针对45°放置状态下口径为400mm×400mm的三倍频KDP晶体,采用AN-SYS有限元分析软件,建立了不同夹持方式和具有不同加工误差的KDP晶体模型和夹具模型,分析了加工误差对不同夹持方式下KDP晶体附加面形的影响,给出了不同加工误差和不同夹持情况下,KDP晶体附加面形的P-V值和RMS值。研究结果表明,夹持方式和加工误差是引起KDP晶体附加面形变化的重要因素,正面压条夹持方式即使在晶体和夹具存在加工误差时也可以较好地控制晶体的附加面形。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 KDP晶体 加工误差 夹持方式 频率转换效率
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加工误差引入的薄型KDP晶体附加面形 被引量:3
19
作者 熊召 崔凯洪 +3 位作者 张彬 贾凯 徐攀 袁晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期343-348,共6页
针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置中口径为400mm×400mm薄型频率转换KDP晶体在45°放置状态下产生的附加面形问题,采用有限元分析软件ANSYS,建立了以实测数据为基础的大口径薄型KDP晶体的应变模型和有加工误差的夹具模型,仿真分析... 针对惯性约束聚变(ICF)驱动装置中口径为400mm×400mm薄型频率转换KDP晶体在45°放置状态下产生的附加面形问题,采用有限元分析软件ANSYS,建立了以实测数据为基础的大口径薄型KDP晶体的应变模型和有加工误差的夹具模型,仿真分析了KDP晶体的加工误差和夹具的加工误差对KDP晶体附加面形的影响,给出了KDP晶体附加面形变化的P-V值和RMS值。在此基础上,通过对KDP晶体的加工误差及夹具支撑表面不同类型和不同大小加工误差的分析和比较,得出:KDP晶体边缘的加工误差和夹具支撑表面的凹型加工误差是引起较大附加面形的原因之一,KDP晶体的加工误差也会导致其面形变化不均匀,而夹具支撑表面的凸型、波浪形加工误差和压条表面的随机加工误差对KDP晶体附加面形的影响相对较小,且支撑表面的随机加工误差引起的附加面形变化介于其他两者之间。 展开更多
关键词 大口径光学元件 薄型KDP晶体 加工误差 附加面形 夹具 支撑表面 压条
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反相电极聚合物定向耦合电光开关的优化设计 被引量:1
20
作者 郑传涛 马春生 +2 位作者 闫欣 王现银 张大明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3072-3078,共7页
为了消除单节电极定向耦合电光开关的工艺误差对器件性能的不良影响,应用耦合模理论、电光调制理论、保角变换及镜像法,优化设计了一种两节交替反相电极聚合物定向耦合电光开关.模拟结果表明,该器件具有良好的开关性能:在1550nm的工作... 为了消除单节电极定向耦合电光开关的工艺误差对器件性能的不良影响,应用耦合模理论、电光调制理论、保角变换及镜像法,优化设计了一种两节交替反相电极聚合物定向耦合电光开关.模拟结果表明,该器件具有良好的开关性能:在1550nm的工作波长下,器件耦合区的长度为4753.5μm,交叉态电压为1.22V,直通态电压为2.65V,插入损耗小于2.21dB,串扰小于-30dB.通过微调状态电压,可以很容易地消除工艺误差对器件性能产生的不良影响.本文方法的设计结果与光束传播法的仿真结果符合得很好. 展开更多
关键词 集成光学 电光开关 反相电极 制作公差 开关电压 插入损耗 串扰
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