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热壁外延生长GaAs/Si薄膜质量研究 被引量:2
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作者 谭红琳 张鹏翔 +1 位作者 刘翔 吴长树 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期236-238,共3页
本文研究了用热壁外延 (HWE)技术在 Si衬底上不同工艺下生长的 Ga As薄膜的拉曼 (Raman)和荧光 (PL )光谱。研究表明 :在室温下 ,Ga As晶膜的 Raman光谱的 2 6 5 cm- 1 横声子 (TO)峰和 2 89cm- 1 纵声子 (L O)峰的峰值之比随晶膜质量... 本文研究了用热壁外延 (HWE)技术在 Si衬底上不同工艺下生长的 Ga As薄膜的拉曼 (Raman)和荧光 (PL )光谱。研究表明 :在室温下 ,Ga As晶膜的 Raman光谱的 2 6 5 cm- 1 横声子 (TO)峰和 2 89cm- 1 纵声子 (L O)峰的峰值之比随晶膜质量的变好而逐渐变大、半高宽 (FWH M)变窄且峰值频移移动变小 ,而PL光谱出现在 871nm光谱的 FWH M较窄 ,表明所测得的薄膜为单晶晶膜。对同一晶膜也可判断出均匀程度。因此可以通过拉曼光谱和 PL光谱相结合评定外延膜晶体质量。 展开更多
关键词 薄膜 热壁 外延生长 砷化镓
原文传递
半导体外延材料导电类型及载流子浓度的简易判定法
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作者 励翠云 韦光宇 余庆选 《上海金属(有色分册)》 1993年第3期35-38,共4页
本文利用金属—半导体接触的基本理论,发展了一种炉前简易判别化合物半导体外延层导电类型和载流子浓度范围的方法,其准确率为:GaAs和GaInP达100%,GaInAsSb可达90%左右。
关键词 化合物半导体 延层 导电类型
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液相外延层层浸渍组装金属-有机框架薄膜及其物理性能 被引量:1
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作者 王大为 谷志刚 张健 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期104-114,共11页
金属-有机框架(MOF)作为一种通过配位键将金属节点和有机配体连接而成的新型无机-有机杂化多孔有序晶体材料,因其具有比表面积大、稳定性好、结构多样以及功能可调等优点,受到人们的广泛关注.MOF薄膜的制备和功能化拓展了其应用领域.本... 金属-有机框架(MOF)作为一种通过配位键将金属节点和有机配体连接而成的新型无机-有机杂化多孔有序晶体材料,因其具有比表面积大、稳定性好、结构多样以及功能可调等优点,受到人们的广泛关注.MOF薄膜的制备和功能化拓展了其应用领域.本文重点介绍了用液相外延层层浸渍法组装表面配位金属-有机框架薄膜(SURMOF),并总结了部分SURMOF在光学、电学等方面的物理性能,以及对SURMOF的应用前景进行了展望. 展开更多
关键词 金属-有机框架 薄膜 液相外延层层组装 物理性能
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