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微光刻技术的发展
被引量：
10
1
作者
冯伯儒
张锦
+1 位作者
侯德胜
陈芬
《微细加工技术》
2000年第1期1-9,共9页
阐述了光刻技术的发展及其分辨极限 ,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。
关键词
微光刻技术
准分子激光光刻
集成电路
下载PDF
职称材料
氟化钙晶体的生长和应用研究
被引量：
18
2
作者
苏良碧
徐军
+2 位作者
杨卫桥
董永军
周国清
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1202-1207,共6页
CaF2晶体作为一种传统晶体材料,应用十分广泛。文中综合介绍了CaF2晶体在深紫外光刻机的光学元件、激光晶体和被动Q开关三个领域的应用现状及趋势,归总了CaF2晶体具有的优异性能,阐述了CaF2晶体与深紫外准分子激光之间的作用,晶体结构...
CaF2晶体作为一种传统晶体材料,应用十分广泛。文中综合介绍了CaF2晶体在深紫外光刻机的光学元件、激光晶体和被动Q开关三个领域的应用现状及趋势,归总了CaF2晶体具有的优异性能,阐述了CaF2晶体与深紫外准分子激光之间的作用,晶体结构对激光性能的影响,晶体生长和加工等诸多方面的研究进展。
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关键词
氟化钙
晶体生长
准分子激光光刻
激光晶体
Q开关
下载PDF
职称材料
题名
微光刻技术的发展
被引量：
10
1
作者
冯伯儒
张锦
侯德胜
陈芬
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《微细加工技术》
2000年第1期1-9,共9页
基金
国家自然科学基金!(6 9776 0 2 8)
科学院重点项目经费资助
文摘
阐述了光刻技术的发展及其分辨极限 ,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。
关键词
微光刻技术
准分子激光光刻
集成电路
Keywords
Optical
microlithography
Photolithography
Limit
excimer laser
microlithography
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN305.7
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职称材料
题名
氟化钙晶体的生长和应用研究
被引量：
18
2
作者
苏良碧
徐军
杨卫桥
董永军
周国清
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1202-1207,共6页
文摘
CaF2晶体作为一种传统晶体材料,应用十分广泛。文中综合介绍了CaF2晶体在深紫外光刻机的光学元件、激光晶体和被动Q开关三个领域的应用现状及趋势,归总了CaF2晶体具有的优异性能,阐述了CaF2晶体与深紫外准分子激光之间的作用,晶体结构对激光性能的影响,晶体生长和加工等诸多方面的研究进展。
关键词
氟化钙
晶体生长
准分子激光光刻
激光晶体
Q开关
Keywords
calcium
fluoride
crystal
growth
excimer laser
microlithography
laser
crystal
Q-switch
分类号
O-78 [理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微光刻技术的发展
冯伯儒
张锦
侯德胜
陈芬
《微细加工技术》
2000
10
下载PDF
职称材料
2
氟化钙晶体的生长和应用研究
苏良碧
徐军
杨卫桥
董永军
周国清
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
18
下载PDF
职称材料
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参考文献
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