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微流控分析芯片的加工技术 被引量:27
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作者 殷学锋 方群 凌云扬 《现代科学仪器》 2001年第4期10-14,共5页
综述了微流控分析芯片的加工技术和材质性能。光刻和蚀刻技术常用于加工硅、玻璃和石英芯片。有机聚合物由于品种多、易加工 ,是代替玻璃和石英的芯片材料。本文总结和讨论了各种芯片材料和它们的加工方法 ,如光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀... 综述了微流控分析芯片的加工技术和材质性能。光刻和蚀刻技术常用于加工硅、玻璃和石英芯片。有机聚合物由于品种多、易加工 ,是代替玻璃和石英的芯片材料。本文总结和讨论了各种芯片材料和它们的加工方法 ,如光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、模塑法、软刻蚀、热压法、激光切蚀法、LIGA技术和键合技术。引用文献 展开更多
关键词 微流控分析芯片 微制备 光刻 蚀刻 软刻蚀 键合
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ICP刻蚀技术及其在光电子器件制作中的应用 被引量:32
2
作者 樊中朝 余金中 陈少武 《微细加工技术》 2003年第2期21-28,共8页
简单介绍了ICP(inductivelycoupledplasma)刻蚀设备的结构和刻蚀机理,报道了ICP刻蚀硅、二氧化硅和Ⅲ-Ⅴ族材料的一些最新进展,重点介绍ICP刻蚀技术在光电子器件制作方面的进展和应用前景。
关键词 ICP 刻蚀 光电子器件 电感耦合等离子体 应用
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一种同时测量温度和应变的光纤光栅传感器 被引量:36
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作者 黄锐 蔡海文 +1 位作者 瞿荣辉 方祖捷 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期232-235,共4页
 报道了一种新型实用的用单根光纤布拉格光栅(FBG)实现温度和应变分离传感的技术。当光纤光栅一部分包层直径变小时,整个光栅可以看成由两个周期相同但直径不同的子光栅连接而成。理论分析和实验都证实了这两个子光栅具有相同的温度敏...  报道了一种新型实用的用单根光纤布拉格光栅(FBG)实现温度和应变分离传感的技术。当光纤光栅一部分包层直径变小时,整个光栅可以看成由两个周期相同但直径不同的子光栅连接而成。理论分析和实验都证实了这两个子光栅具有相同的温度敏感性和不同的应变敏感性, 由此实现光纤光栅传感器中温度和应变两参数的分离测量,而且这两个子光栅的中心波长间距可以直接测量应变大小,温度变化不影响所测量的应变值。实验中光栅的一部分包层直径被HF酸腐蚀到 82μm,获得了两子光栅应变响应系数分别为 0. 00201 nm/με,0 .000858 nm/με,二峰间距的应变响应系数为0 .00116 nm/με,二峰的温度响应系数均为0. 01 nm/℃的测量结果,依据这些结果可以对温度和应变进行同时分离测量。 展开更多
关键词 光纤光学 光栅传感器 应变传感 腐蚀 温度传感
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单晶硅太阳电池的表面织构化 被引量:27
4
作者 席珍强 杨德仁 +6 位作者 吴丹 张辉 陈君 李先杭 黄笑容 蒋敏 阙端麟 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期285-289,共5页
一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也... 一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也很低。通过SEM观察发现 :开始时 ,随着腐蚀时间的增加 ,金字塔的密度越来越大 ,最后达到饱和 ;而且对于不同的浓度 ,温度 ,这种饱和时间不同 ;如果腐蚀时间过长 ,金字塔的顶部就会发生崩塌 ,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇 (IPA)在氢氧化钠 (NaOH)溶液中会明显地改善织构化的效果 ,但是在磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后 ,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为 :择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因 ,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低 ,不易污染工作环境且可重复性好 ,所以有可能用于大规模生产。 展开更多
关键词 单晶硅 织构 磷酸钠 腐蚀
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二维纳米材料MXene的研究进展 被引量:38
5
作者 郑伟 孙正明 +3 位作者 张培根 田无边 王英 张亚梅 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1-14,共14页
MXene是一类新型碳/氮化物二维纳米层状材料,一般是利用化学刻蚀的手段通过选择性刻蚀掉前驱体MAX相中的A原子层而得到。其通式可表示为M_(n+1)X_nT_x,其中M代表早期过渡族金属,X代表碳和/或氮,T_x代表MXene在刻蚀过程中产生的附着在其... MXene是一类新型碳/氮化物二维纳米层状材料,一般是利用化学刻蚀的手段通过选择性刻蚀掉前驱体MAX相中的A原子层而得到。其通式可表示为M_(n+1)X_nT_x,其中M代表早期过渡族金属,X代表碳和/或氮,T_x代表MXene在刻蚀过程中产生的附着在其表面的官能团(-OH、-F、=O、等)。采用一定的手段将多层MXene剥落,可获得类石墨烯形貌的单层MXene。MXene除了具备传统二维材料的性能外,还兼具良好的导电性、亲水性、透光性、柔韧性以及能量储存性能,在复合材料、润滑剂、环境污染治理、电池、电容器、催化、传感器、抗菌等领域具有潜在的应用价值。文章总结了MXene的制备、结构、性能和应用等方面的最新成果,并展望了其今后的研究方向。 展开更多
关键词 MAX相 MXene 二维材料 刻蚀 制备 应用
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等离子体刻蚀工艺的物理基础 被引量:19
6
作者 戴忠玲 毛明 王友年 《物理》 CAS 北大核心 2006年第8期693-698,共6页
介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.
关键词 等离子体 刻蚀 电容耦合放电 电感耦合放电 双频 鞘层
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Superhydrophobic surface of Mg alloys:A review 被引量:26
7
作者 M.Yeganeh N.Mohammadi 《Journal of Magnesium and Alloys》 SCIE EI CAS 2018年第1期59-70,共12页
In the present review,the formation of superhydrophobic(SHP)structures on the surface of Mg alloys was investigated.Different methods including hydrothermal technique,chemical and electrochemical deposition,conversion... In the present review,the formation of superhydrophobic(SHP)structures on the surface of Mg alloys was investigated.Different methods including hydrothermal technique,chemical and electrochemical deposition,conversion and polymer coating,and etching routes were discussed.The superhydrophobicity could form on the surface of Mg alloys by the application of different chemical,electrochemical,and physical methods followed by the immersion of these alloys in the solution containing modifying agents including fatty acids or long-chain molecules.The formed morphology,composition,and contact angle were reported and the effect of synthesis route on these characteristics was reviewed. 展开更多
关键词 Mg alloys Superhydrophobic surfaces Chemical deposition Electrochemical coating Conversion coating Polymer coating etching
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二元光学元件的制作技术与进展 被引量:10
8
作者 张羽 杨坤涛 杨长城 《光学仪器》 2005年第2期80-85,共6页
综述了二元光学元件的常用制作工艺技术,包括台阶刻蚀法、薄膜沉积法、直接写入法、准分子激光加工法和灰阶掩模法。分析了这些方法的优缺点,并对其制作技术的发展进行了评述。
关键词 二元光学 制作工艺 刻蚀 直写法
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两性表面活性剂酸液体系在基质酸化及酸压中的应用 被引量:21
9
作者 郑云川 赵立强 +2 位作者 刘平礼 青春 佘军 《天然气工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期71-73,共3页
自1997年Schlumberger Dowell公司推出基于阳离子粘弹性表面活性剂(VES)的清洁压裂液以来,粘弹性表面活性剂技术已在油气田增产措施中得到广泛的应用。根据VES使用的经验,近两年来,国外已研究出了性能优越的基于两性表面活性剂的粘弹性... 自1997年Schlumberger Dowell公司推出基于阳离子粘弹性表面活性剂(VES)的清洁压裂液以来,粘弹性表面活性剂技术已在油气田增产措施中得到广泛的应用。根据VES使用的经验,近两年来,国外已研究出了性能优越的基于两性表面活性剂的粘弹性酸。文章分析了国外将这种酸液体系应用于基质酸化和酸压时相对于其他酸液体系所具有的独特优点和作用机理,介绍了其粘弹性行为和流变性,以及各种酸液添加剂对其流变性的影响。用岩心流动实验结果分析了这种酸液体系应用于基质酸化时的自主分流特性以及应用于酸压时的滤失、返排和酸蚀裂缝导流特性。 展开更多
关键词 两性表面活性剂 粘弹性酸液 胶束溶液 胶束凝胶 酸液添加剂 流变性 基质酸化
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高纯二氧化硅的制备与应用 被引量:22
10
作者 雷清普 郑典模 《江西科学》 2008年第6期915-918,共4页
介绍以石英矿为原料制备高纯二氧化硅。介绍了国内外在这一领域的研究现状,铁和铝的含量是影响高纯二氧化硅品质的关键因素。除杂需要综合运用破碎、分级、电选、磁选、多段浮选、酸浸等手段才能满足要求。本文重点介绍了提纯中的除铝... 介绍以石英矿为原料制备高纯二氧化硅。介绍了国内外在这一领域的研究现状,铁和铝的含量是影响高纯二氧化硅品质的关键因素。除杂需要综合运用破碎、分级、电选、磁选、多段浮选、酸浸等手段才能满足要求。本文重点介绍了提纯中的除铝、除铁工艺,也述及了高纯二氧化硅的重要应用领域。 展开更多
关键词 高纯二氧化硅 除铝 除铁 酸浸
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超高分子量聚乙烯纤维表面处理的研究进展 被引量:16
11
作者 郑震 施楣梧 周国泰 《合成纤维》 CAS 北大核心 2002年第5期9-12,共4页
详细介绍了超高分子量聚乙烯纤维的各种表面处理方法 ,如等离子体处理、电晕放电和化学氧化等 ,重点讨论了这些方法对纤维增强复合材料粘结性能和力学性能的影响 ,特别关注了近年来各种表面处理超高分子量聚乙烯纤维技术的进展。
关键词 超高分子量 聚乙烯纤维 表面处理 研究进展 等离子体 电晕 蚀刻 层间剪切强度
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Advances in lithium niobate photonics:development status and perspectives 被引量:21
12
作者 Guanyu Chen Nanxi Li +7 位作者 Jun Da Ng Hong-Lin Lin Yanyan Zhou Yuan Hsing Fu Lennon Yao Ting Lee Yu Yu Ai-Qun Liu Aaron J.Danner 《Advanced Photonics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第3期40-82,共43页
Lithium niobate(LN)has experienced significant developments during past decades due to its versatile properties,especially its large electro-optic(EO)coefficient.For example,bulk LN-based modulators with high speeds a... Lithium niobate(LN)has experienced significant developments during past decades due to its versatile properties,especially its large electro-optic(EO)coefficient.For example,bulk LN-based modulators with high speeds and a superior linearity are widely used in typical fiber-optic communication systems.However,with everincreasing demands for signal transmission capacity,the high power and large size of bulk LN-based devices pose great challenges,especially when one of its counterparts,integrated silicon photonics,has experienced dramatic developments in recent decades.Not long ago,high-quality thin-film LN on insulator(LNOI)became commercially available,which has paved the way for integrated LN photonics and opened a hot research area of LN photonics devices.LNOI allows a large refractive index contrast,thus light can be confined within a more compact structure.Together with other properties of LN,such as nonlinear/acousto-optic/pyroelectric effects,various kinds of high-performance integrated LN devices can be demonstrated.A comprehensive summary of advances in LN photonics is provided.As LN photonics has experienced several decades of development,our review includes some of the typical bulk LN devices as well as recently developed thin film LN devices.In this way,readers may be inspired by a complete picture of the evolution of this technology.We first introduce the basic material properties of LN and several key processing technologies for fabricating photonics devices.After that,various kinds of functional devices based on different effects are summarized.Finally,we give a short summary and perspective of LN photonics.We hope this review can give readers more insight into recent advances in LN photonics and contribute to the further development of LN related research. 展开更多
关键词 lithium niobate etching PHOTONICS integrated optics NANOTECHNOLOGY devices.
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草酸浸蚀对氧化物阳极形貌及电催化性能的影响 被引量:18
13
作者 初立英 许立坤 +3 位作者 吴连波 王廷勇 王均涛 陈光章 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期763-768,共6页
钛基体涂覆铱钽氧化物阳极制备过程中对基体喷砂并进行不同时间的草酸浸蚀.环境扫描电镜、析氧极化曲线、电化学阻抗谱测试表明,草酸对钛基体的腐蚀速度及涂层载量(Ir含量)随腐蚀时间的延长先增大后减小.经过适当时间酸蚀处理后的基体... 钛基体涂覆铱钽氧化物阳极制备过程中对基体喷砂并进行不同时间的草酸浸蚀.环境扫描电镜、析氧极化曲线、电化学阻抗谱测试表明,草酸对钛基体的腐蚀速度及涂层载量(Ir含量)随腐蚀时间的延长先增大后减小.经过适当时间酸蚀处理后的基体上制备的氧化物阳极均匀致密,其电化学活性表面积大,析氧电催化活性提高,并具有较长的使用寿命. 展开更多
关键词 氧化物阳极 浸蚀 草酸 电催化活性
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二维光子晶体波导研究进展 被引量:21
14
作者 章亮 张巍 +2 位作者 聂秋华 戴世勋 陈昱 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第3期59-68,共10页
二维光子晶体波导具有特殊的光子能带结构、可控色散、极小的几何尺寸和极强的非线性特性,近年来在非线性光学、光学逻辑门、全光缓存、光功率分束器、光子晶体激光器以及高灵敏度传感器等领域引起了广泛的关注。介绍了二维光子晶体波... 二维光子晶体波导具有特殊的光子能带结构、可控色散、极小的几何尺寸和极强的非线性特性,近年来在非线性光学、光学逻辑门、全光缓存、光功率分束器、光子晶体激光器以及高灵敏度传感器等领域引起了广泛的关注。介绍了二维光子晶体波导的制备方法,总结了其传输损耗、多模耦合的自成像效应和慢光效应等方面的研究进展,并特别提到基于硫系玻璃这一特殊基质的二维光子晶体波导,最后展望了二维光子晶体波导的发展前景。 展开更多
关键词 集成光学 光子晶体波导 光子带隙 刻蚀 硫系玻璃
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裂变径迹法在金矿研究中的应用 被引量:21
15
作者 胡瑞英 程景平 +1 位作者 郭士伦 郝秀红 《地球化学》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期188-192,共5页
用裂变径迹法对湖南平江、浏阳一带含金石英脉人工重砂中的石英进行了年龄测定,对石英的化学蚀刻技术进行了改进,选用65%NaOH蚀刻剂效果较好。石英裂变径迹年龄为100-160Ma。同时还分析了新疆某地含金石英脉的铀含量... 用裂变径迹法对湖南平江、浏阳一带含金石英脉人工重砂中的石英进行了年龄测定,对石英的化学蚀刻技术进行了改进,选用65%NaOH蚀刻剂效果较好。石英裂变径迹年龄为100-160Ma。同时还分析了新疆某地含金石英脉的铀含量及铀的显微分布。 展开更多
关键词 石英 裂变径迹 蚀刻 金矿床
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TREATMENT OF METALS, POLYMER FILMS, AND FABRICS WITHA ONE ATMOSPHERE UNIFORM GLOW DISCHARGE PLASMA(OAUGDP) FOR INCREASED SURFACE ENERGY AND DIRECTIONAL ETCHING 被引量:18
16
作者 J. Reece Roth and Z. Y Chen (Plasma Sciences Laboratory, Department of Electrical and Computer Engineering, University of Tennessee, Knoxville, TN 37996-2100, USA) Peter P.- Y Tsai (Textiles and Nonwovens Development Center (TANDEC), University of Tenness 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2001年第6期391-407,共17页
Direct exposure of samples to the active species of air generated by a One Atmosphere Uniform Glow Discharge Plasma (OAUGDP) has been used to etch and to increase the surface energy of metallic surfaces, photoresist, ... Direct exposure of samples to the active species of air generated by a One Atmosphere Uniform Glow Discharge Plasma (OAUGDP) has been used to etch and to increase the surface energy of metallic surfaces, photoresist, polymer films, and nonwoven fab- rics. The OAUGDP is a non-thermal plasma with the classical characteristics of a DC normal glow discharge that operates in air (and other gases) at atmospheric pres- sure. Neither a vacuum system nor batch processing is necessary. A wide range of applications to metals, photoresist, films, fabrics, and polymeric webs can be accom- modated by direct exposure of the workpiece to the plasma in parallel-plate reactors. This technolopy is simple, it produces effects that can be obtained in no other way at one atmosphere; it generates minimal pollutants or unwanted by-products; and it is suitable for individual sample or online treatment of metallic surfaces, wafers, films, and fabrics. Early exposures of solid materials to the OAUGDP required minutes to produce rela- tively small increases of surface energy. These durations appeared too long for com- mercial application to fast-moving webs. Recent improvements in OAUGDP gas com- position, power density, plasma quality, recireulating gas flow, and impedance match- ing of the power supply to the parallel plate plasma reactor have made it possible to raise the surface energy of a variety of polymeric webs (PP, PET PE etc.) to levels of 60 to 70 dynes/cm with one second of exposure. In air plasmas, the high surface ener- gies are not durable, and fall to 50 dynes/cm after periods of weeks to months. Here, we report the exposure of metallic surfaces, photoresist, polymeric films, and nonwo- ven fabrics made of PP and PET to an impedance matched parallel plate OAUGDP for durations ranging from one second to several tens of seconds. Data will be re- ported on the surface energy, wettability, wickability, and aging effect of polymeric films and fabrics as functions of time of exposure, and time after exposure; the rate and uniform 展开更多
关键词 atmosphere glow discharge plasma surface energy etching of material surface
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Rattle-Type Silica Colloidal Particles Prepared by a Surface- Protected Etching Process 被引量:18
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作者 Qiao Zhang Jianping Ge +3 位作者 James Goebl Yongxing Hu Zhenda Lu Yadong Yin 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2009年第7期583-591,共9页
This paper explores the capability of the“surface-protected etching”process for the creation of rattle-type SiO_(2)@void@SiO_(2) colloidal structures featuring a mesoporous silica shell and a mesoporous movable sili... This paper explores the capability of the“surface-protected etching”process for the creation of rattle-type SiO_(2)@void@SiO_(2) colloidal structures featuring a mesoporous silica shell and a mesoporous movable silica core.The surface-protected etching process involves stabilization of the particle surface using a polymer ligand,and then selective etching of the interior to form hollow structures.In this paper,this strategy has been extended to the formation of rattle-like structures by etching SiO_(2)@SiO_(2) core shell particles which are synthesized by a two-step sol gel process.The key is to introduce a protecting polymer of polyvinylpyrrolidone(PVP)to the surface of both core and shell in order to tailor their relative stability against chemical etching.Upon reacting with NaOH,the outer layer silica becomes a hollow shell as only the surface layer is protected by PVP and the interior is removed,while the core remains its original size thanks to the protection of PVP on its surface.This process can be carried out at room temperature without the need of additional templates or complicated heterogeneous coating procedures.The etching process also results in the rattle-type colloids having mesoscale pores with two distinct average sizes.In our demonstration of a model drug delivery process,such mesoporous structures show an interesting two-step elution profile which is believed to be related to the unique porous rattle structures. 展开更多
关键词 SILICA MESOPOROUS core-shell structure surface-protected etching drug delivery
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铀及铀合金的防腐蚀电镀层研究进展 被引量:18
18
作者 王庆富 张鹏程 鲜晓斌 《腐蚀与防护》 CAS 2003年第12期513-517,共5页
综述了铀及铀合金的蚀刻;总结了铀及铀合金的防腐蚀电镀层,包括Ni镀层、Ni+Zn双重镀层、Zn Ni合金镀层;介绍这些镀层的制备工艺;评述了这些电镀层对铀及铀合金的防腐蚀性能及保护机理。
关键词 铀合金 蚀刻 电镀层
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微带蚀刻工艺影响因素探讨 被引量:17
19
作者 田波 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期50-51,共2页
 阐述了在微带精密蚀刻过程中影响蚀刻速率变化的诸多因素,探讨了酸性氯化铜蚀刻液工艺控制应该注意的问题和解决办法。
关键词 微带 蚀刻 酸性氯化铜 络合离子
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低温等离子体对聚烯烃材料表面改性的研究 被引量:15
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作者 张丽惠 陈亚芍 刘鹏 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期17-20,共4页
用Ar、O2 、N2 、及Ar/O2 低温等离子体处理聚烯烃膜 ,通过接触角测量 ,观察了不同等离子体、不同处理条件对聚烯烃膜浸润性的影响。以X光电子能谱 (XPS)和显微扫描电镜 (SEM )等为手段 ,探讨并比较了不同等离子体对聚烯烃膜的表面改性... 用Ar、O2 、N2 、及Ar/O2 低温等离子体处理聚烯烃膜 ,通过接触角测量 ,观察了不同等离子体、不同处理条件对聚烯烃膜浸润性的影响。以X光电子能谱 (XPS)和显微扫描电镜 (SEM )等为手段 ,探讨并比较了不同等离子体对聚烯烃膜的表面改性及刻蚀作用。结果表明 :采用不同的等离子体处理的聚烯烃样品的亲水性提高程度不同 ,其中以Ar/O2 混合气体等离子处理的聚乙烯样品亲水性提高最大 ,O2 对聚四氟乙烯的刻蚀作用最强。 展开更多
关键词 低温等离子体 聚烯烃膜 表面改性 研究 刻蚀 亲水性
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