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多脉冲飞秒激光烧蚀中反射率的变化对激光烧蚀阈值影响的研究
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作者 胡德志 吴金随 《华北科技学院学报》 2017年第4期57-61,共5页
为了提高飞秒激光微加工的精度,研究了多脉冲飞秒激光烧蚀积累效应形成的机理。以铜靶为例,利用时域有限差分法(FDTD)对双温方程进行求解,得到了电子、离子亚系统温度及激光烧蚀阈值随反射率变化的规律。结果表明:在多脉冲激光烧蚀中前... 为了提高飞秒激光微加工的精度,研究了多脉冲飞秒激光烧蚀积累效应形成的机理。以铜靶为例,利用时域有限差分法(FDTD)对双温方程进行求解,得到了电子、离子亚系统温度及激光烧蚀阈值随反射率变化的规律。结果表明:在多脉冲激光烧蚀中前一个脉冲激光破坏了靶材表面的结构,使激光的反射率下降,导致后一脉冲激光烧蚀阈值大幅度下降。这解释了多脉冲飞秒激光烧蚀中烧蚀阈值不断变化的现象。同时,它表明在多脉冲飞秒激光加工过程中,我们必须考虑反射率的变化对激光烧蚀的影响才能实现高精微加工。 展开更多
关键词 双温方程 反射率 烧蚀阈值 时域有限差分法 电声弛豫时间
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脉冲激光烧蚀中电声弛豫时间的确定 被引量：8
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作者 胡德志 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期1077-1082,共6页
为了提高脉冲激光制备薄膜的质量,准确掌握电声弛豫时间是关键,它对脉冲激光脉宽和能量密度的选取起着决定性的作用.文中以铝靶材为例,利用经典的双温方程通过时域有限差分法(FDTD)得到电子、离子亚系统的温度随时间和位置演化的图像,... 为了提高脉冲激光制备薄膜的质量,准确掌握电声弛豫时间是关键,它对脉冲激光脉宽和能量密度的选取起着决定性的作用.文中以铝靶材为例,利用经典的双温方程通过时域有限差分法(FDTD)得到电子、离子亚系统的温度随时间和位置演化的图像,进而得到电声弛豫时间的准确值.这样便能准确划分热烧蚀和非平衡烧蚀,从而更好地控制激光的烧蚀过程.同时找出了电声弛豫时间随激光脉宽以及能量密度变化的规律. 展开更多
关键词 飞秒激光 电声弛豫时间 双温方程 激光能量密度
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