期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响
1
作者 詹泽红 郭颖 赵建钢 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期898-905,共8页
使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免... 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差Δφ=00和Δφ=1800)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响。同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响。实验结果表明:圆孔刻槽极板和极性电极均可避免点亮问题,提高等离子的均匀性。圆孔刻槽极板将电子密度的均匀性由85.6%提高到93.7%(功率为50W),由63.6%提高到84.6%(功率为300 W);反相位极性电极的电子密度的均匀性可达到90%以上(功率为50 W)和80%以上(功率为300 W)。 展开更多
关键词 朗缪尔双探针 圆孔刻槽极板 极性电极 等离子体均匀性 点亮问题
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部