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瑞利布里渊光时域分析系统中电光调制器的理论模型与实验研究 被引量：11
1
作者 李永倩 王虎 +1 位作者 李欢 何青尔 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1286-1291,共7页
瑞利布里渊光时域分析系统能够以非破坏性方式实现单光源、单端工作,利用强度型电光调制器同时调制脉冲基底和脉冲信号是获得该系统所需连续光和脉冲光的关键技术.本文理论分析、仿真和实验研究了一种将脉冲信号输入到电光调制器偏置端... 瑞利布里渊光时域分析系统能够以非破坏性方式实现单光源、单端工作,利用强度型电光调制器同时调制脉冲基底和脉冲信号是获得该系统所需连续光和脉冲光的关键技术.本文理论分析、仿真和实验研究了一种将脉冲信号输入到电光调制器偏置端、微波信号输入到电光调制器射频端同时调制脉冲基底和脉冲信号的新调制方法,探讨了电光调制器用于瑞利布里渊光时域分析系统时的最佳工作点问题.结果表明,当调制脉冲基底和脉冲时分别将电光调制器偏置在传输曲线的谷点和峰点,并根据实际系统的组成和性能指标要求选择合适的微波调制信号幅度,可获得满足瑞利布里渊光时域分析系统要求的连续光和脉冲光.本文的研究结果为瑞利布里渊光时域分析系统的最佳化设计提供了理论依据. 展开更多
关键词 光纤传感 光波移频 电光调制器 布里渊散射 脉冲基底调制
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高速LiNbO_3电光调制器的最新研究进展 被引量：8
2
作者 张金令 代志勇 刘永智 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期508-512,共5页
综述了高速LiNbO3电光调制器的最新研究进展。重点介绍了近年来国外对调制器结构和工艺的改进,并报道了两种新结构形式的LiNbO3调制器。对高速LiNbO3调制器的商用化状况进行了概述,并对其在国内的研究方向提出了建议。
关键词 LINBO3 电光调制器 高速
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钽铌酸钾晶体二次电光效应的应用研究进展 被引量：11
3
作者 刘冰 王旭平 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期261-266,共6页
钽铌酸钾晶体(KTN)是目前已知的具有最大二次电光系数的晶体,利用其电光效应可改变光的相位、强度和传播方向,可广泛应用于光通讯、屏幕显示和生物医疗等领域。讨论了晶体组分、温度、缺陷和生长条纹对KTN晶体二次电光系数的影响;介绍... 钽铌酸钾晶体(KTN)是目前已知的具有最大二次电光系数的晶体,利用其电光效应可改变光的相位、强度和传播方向,可广泛应用于光通讯、屏幕显示和生物医疗等领域。讨论了晶体组分、温度、缺陷和生长条纹对KTN晶体二次电光系数的影响;介绍了近几年国际上报道的几种基于KTN晶体二次电光效应的器件电光调制器、光开关、光束扫描器、变焦透镜和光谱仪,阐述了它们的的基本原理、研究现状和应用前景;对国内外KTN晶体电光器件研究的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 钽铌酸钾 电光调制器 光束扫描器 变焦透镜 光谱仪
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光子晶体电光调制和粗波分复用集成器件研究 被引量：10
4
作者 刘雪 陈鹤鸣 胡宇宸 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期55-64,共10页
提出了一种用于电光调制和粗波分复用的片上集成器件。该集成器件的电光调制器模块和粗波分复用器模块都是由硅基光子晶体波导和L3型谐振腔组成,两个模块间采用硅基光子晶体波导连接。该器件根据等离子体色散效应,采用L3型谐振腔和PN结... 提出了一种用于电光调制和粗波分复用的片上集成器件。该集成器件的电光调制器模块和粗波分复用器模块都是由硅基光子晶体波导和L3型谐振腔组成,两个模块间采用硅基光子晶体波导连接。该器件根据等离子体色散效应,采用L3型谐振腔和PN结实现了对波长的调制;根据微腔与波导的直接耦合理论,采用L3型谐振腔结构实现了滤波。利用基于三维时域有限差分法(3D-FDTD)的Lumerical软件对其进行仿真分析,结果表明该集成器件在工作波长1530 nm和1550 nm下均可以先完成各自的电光调制再进行双通道波长的复用。该器件在工作波长1530 nm和1550 nm下的插入损耗分别为0.70 dB和0.95 dB,消光比分别为20.97 dB和22.05 dB,调制深度均为0.99,信道串扰分别为-29.05 dB和-27.59 dB,器件尺寸仅为17.83μm×17.3μm×0.22μm。该集成器件结构紧凑,易于集成,可应用于高速大容量波分复用光通信系统。 展开更多
关键词 光通信 粗波分复用 电光调制器 L3型谐振腔 光子晶体
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单轴晶体电光调制器的温度特性 被引量：8
5
作者 林凯燕 许婕 +1 位作者 王红成 佘卫龙 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1051-1055,共5页
利用线性电光效应的耦合波理论，对单轴晶体铌酸锂电光调制器的温度特性进行了研究。通过计算机进行数值计算，详细分析出射光光强随入射光方向、温度的变化关系。发现在某些入射光方向上，出射光光强不随温度的变化而变化，并且在该方... 利用线性电光效应的耦合波理论，对单轴晶体铌酸锂电光调制器的温度特性进行了研究。通过计算机进行数值计算，详细分析出射光光强随入射光方向、温度的变化关系。发现在某些入射光方向上，出射光光强不随温度的变化而变化，并且在该方向附近，角度在一定范围内是可调的，温度的稳定性可以保持。进一步还发现，当极角θ固定在0°，方位角Ф在0～π／2，温度在243～343K范围内变化时，调制器的温度稳定性相当好；另外，当Ф固定在π／8，θ在0～0．0032π范围内变化时，调制器的温度稳定性也很好，出射光强对入射光强之比几乎不随温度而变化。这一结果表明，可以通过调节入射光的方向来保证调制器的温度稳定性，而这些方向是可利用线性电光效应的耦合波理论计算得出的。 展开更多
关键词 非线性光学 线性电光效应 电光调制器 耦合波理论 温度特性
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热极化保偏光纤构成的全光纤电光强度调制器 被引量：5
6
作者 陈哲 廖延彪 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期663-665,共3页
利用热极化熊猫保偏光纤器件和保偏光纤耦合器 ,构成Mach Zehnder干涉仪结构 ,实验验证了一种新型的全光纤电光强度调制器 由于该光纤电光强度调制器是用全保偏光纤构成 ,解决了偏振衰减问题 。
关键词 电光调制器 热极化光纤 光纤器件 保偏光纤 强度调制
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有机/聚合物光电子学器件的应用与研究进展 被引量：3
7
作者 沈玉全 潘裕斌 锺宝璇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期1-4,8,共4页
调研了有机 /聚合物光电子学器件在制备技术和应用方面的近期进展。其中包括 :电光调制器在CATV、高比特网络、相阵列系统、计算机系统的平行互连等工业领域的应用前景等。聚合物调制器正迅速接近商品化 ;聚合物热光开关已在AKZONOBEL... 调研了有机 /聚合物光电子学器件在制备技术和应用方面的近期进展。其中包括 :电光调制器在CATV、高比特网络、相阵列系统、计算机系统的平行互连等工业领域的应用前景等。聚合物调制器正迅速接近商品化 ;聚合物热光开关已在AKZONOBEL公司批量生产 ;其它有机 /聚合物器件和相关技术 ,如互连、聚合物激光器、波导中的 45°镜片、垂直集成波导以及在波导中与有机发光二极管的集成等。至少部分聚合物器件包括电光调制器 ,现在已经是或即将成为信息高速公路工业中实际可用的硬件。 展开更多
关键词 光电器件 光电子材料 电光调制器
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铌酸锂薄膜调制器的研究进展 被引量：7
8
作者 刘海锋 郭宏杰 +1 位作者 谭满清 李智勇 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期1-13,共13页
铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点,在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值,是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展,总结了LN薄膜波导的制备工艺,并深入分... 铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点,在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值,是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展,总结了LN薄膜波导的制备工艺,并深入分析了不同结构调制器的性能。基于SOI和LNOI结构,薄膜调制器实现了V_(π)L<2 V∙cm,双锥形耦合方案实现了耦合损耗<0.5 dB/facet,行波电极结构实现了调制带宽>100 GHz。铌酸锂薄膜调制器的性能在大多数方面优于目前商用铌酸锂调制器,随着波导工艺进一步提升,将成为铌酸锂调制器的热门方案。最后对铌酸锂薄膜调制器的发展趋势和应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 铌酸锂薄膜 LNOI 电光调制器
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一种新的偏振无关电光调制器 被引量：4
9
作者 郑国梁 佘卫龙 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期513-516,共4页
提出一种全新的偏振无关强度调制器设计原理·这种调制器只需要一个电光晶体,不需要辅助偏振片,电极设计和制作相当简单·采用线性电光效应耦合波理论对光在调制器中的传播行为进行详细的研究,经过理论计算,发现光通过调制器后... 提出一种全新的偏振无关强度调制器设计原理·这种调制器只需要一个电光晶体,不需要辅助偏振片,电极设计和制作相当简单·采用线性电光效应耦合波理论对光在调制器中的传播行为进行详细的研究,经过理论计算,发现光通过调制器后,出射的调制光强不依赖于入射光的偏振状态·最后,以4mm晶系中的SBN和KNSBN为例,给出调制器在横向应用时电光晶体优化切割方案· 展开更多
关键词 光电子学 电光调制器 偏振无关 线性电光效应耦合波理论
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温度不敏感电光调制器和保偏光衰减器设计 被引量：5
10
作者 郑国梁 佘卫龙 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1077-1080,共4页
提出一种新颖的温度不敏感电光振幅调制器和保偏可变光衰减器的设计方案。整个装置由一对电光晶体、一个起偏器和一对准直系统组成。采用线性电光效应的耦合波理论对调制器进行详细研究,发现一束线偏振光经过调制器后,其光场振幅直接受... 提出一种新颖的温度不敏感电光振幅调制器和保偏可变光衰减器的设计方案。整个装置由一对电光晶体、一个起偏器和一对准直系统组成。采用线性电光效应的耦合波理论对调制器进行详细研究,发现一束线偏振光经过调制器后,其光场振幅直接受到调制,而相位变化如同经历一个各向同性介质,相位和偏振态都没有改变。这种调制器的优点是不存在自然双折射引起的相位延迟,没有“零场泄漏”,温度稳定性好,插入损耗小等。同时可以用作保偏可调光衰减器和电光探测器。 展开更多
关键词 非线性光学 线性电光效应 电光调制器 光衰减器 温度稳定性
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绝缘体上硅微环谐振腔电光调制器的分析与最优设计 被引量：7
11
作者 韦丽萍 王永华 +4 位作者 臧俊斌 崔丹凤 李艳娜 刘耀英 薛晨阳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1473-1477,共5页
针对高频电光调制器的应用需求,提出了一种基于绝缘体上硅微环谐振腔的P-I-N型电光调制器.利用散射矩阵法描述了微环谐振腔谐振特性机理,结合等离子体色散效应中载流子浓度对硅有效折射率变化的影响,系统分析了微环谐振腔电光调制器的... 针对高频电光调制器的应用需求,提出了一种基于绝缘体上硅微环谐振腔的P-I-N型电光调制器.利用散射矩阵法描述了微环谐振腔谐振特性机理,结合等离子体色散效应中载流子浓度对硅有效折射率变化的影响,系统分析了微环谐振腔电光调制器的理论模型.在此基础上,利用Rsoft仿真软件对脊型波导截面光场分布进行了仿真分析,得到了光场局域性能较优的脊型纳米波导微环谐振腔设计;结合Sentaurus TCAD仿真软件对不同掺杂浓度下的P-I-N型二极管性能进行了仿真计算,理论得出了Q值仅为5×103时频移量达58.74GHz的微环谐振腔最优电光调制器结构,为电光调制器的深入研究提供了理论参考. 展开更多
关键词 等离子体色散效应 微环谐振腔 电光调制器 脊型波导 P—I—N型二极管
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应用电光调制干涉系统对甲烷气体浓度监测的研究 被引量：7
12
作者 闫洁 孟鹏花 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期2153-2156,共4页
对甲烷气体浓度的监测应用领域很多,而目前绝大多数采用的是化学反应方法,存在安全性低、稳定性差等缺点,而采用光学干涉法定性定量分析稳定性高、抗干扰能力强。设计了电光调制的干涉系统进一步提高其探测精度。在干涉系统中,利用可变... 对甲烷气体浓度的监测应用领域很多,而目前绝大多数采用的是化学反应方法,存在安全性低、稳定性差等缺点,而采用光学干涉法定性定量分析稳定性高、抗干扰能力强。设计了电光调制的干涉系统进一步提高其探测精度。在干涉系统中,利用可变折射率晶体LiNbO3的电光调制特性,对晶体折射率进行调制,增大静态光程扫描范围,提高光谱分辨率。系统对晶体两侧分别加载相位相反的调制信号,使其在不改变干涉具尺寸的条件下提高光谱分辨率。通过推导折射率调制度与光程差的函数关系,仿真计算可知比同尺寸干涉系统光谱分辨率提高了近一个数量级。实验采用SGT-3型声光调制器,1 650nm红外激光器对不同浓度的甲烷气体进行检测,实验结果显示,此方法比传统的热释电法精度好、稳定性高,更适合在矿井等复杂环境下应用。 展开更多
关键词 光谱检测 电光调制 光谱分辨率 甲烷气体浓度
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基于孔径耦合带状线的激光脉冲整形系统 被引量：7
13
作者 高云凯 蒋运涛 李学春 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1619-1622,共4页
实现了一种新型的激光脉冲整形系统,该系统使用了一个由孔径耦合带状线(ACSL)电脉冲整形器驱动的电光调制器.一个电脉冲整形器由两条通过其公共接地板上的耦合孔径发生耦合作用的带状传输线所组成的四端口装置.更换具有不同耦合孔径的... 实现了一种新型的激光脉冲整形系统,该系统使用了一个由孔径耦合带状线(ACSL)电脉冲整形器驱动的电光调制器.一个电脉冲整形器由两条通过其公共接地板上的耦合孔径发生耦合作用的带状传输线所组成的四端口装置.更换具有不同耦合孔径的公共接地板,该电脉冲整形发生器可以具有150 ps时间结构的任意整形电脉冲.将任意整形的电脉冲输入到电光调制器上,就可以得到任意整形的激光脉冲.利用该系统,激光脉冲整形系统能够产生具有150 ps前后沿,1～3 ns脉冲宽度可调、高对比度、光滑过渡以及任意整形的激光脉冲. 展开更多
关键词 激光技术 高功率激光 脉冲整形 电光调制器 孔径耦合带状线
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通信用高功率高速率LiNbO_3电光调制器 被引量：6
14
作者 谭雪春 武志超 +1 位作者 凌铭 梁柱 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期704-707,共4页
由于光波通信比无线电通信具有诸多优点,日益成为当前研究热点。以用于自由空间光通信的高功率、高速率电光调制器为主要研究对象,从LiNbO3横向电光调制理论基础入手,对电光调制晶体调制器件的设计进行了讨论,并设计出了高功率高速率LiN... 由于光波通信比无线电通信具有诸多优点,日益成为当前研究热点。以用于自由空间光通信的高功率、高速率电光调制器为主要研究对象,从LiNbO3横向电光调制理论基础入手,对电光调制晶体调制器件的设计进行了讨论,并设计出了高功率高速率LiNbO3电光调制器,满足了最大输出光功率为150 mW,总的激光利用效率为10%的技术指标,最后对电光调制器分别在室内18 m、室外6.4 km进行了信号传输能力测试。 展开更多
关键词 电光调制器 高功率 高速率 激光通信
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基于薄膜铌酸锂的偏振无关电光调制器(特邀)
15
作者 王宗 陈冠宇 +1 位作者 余宇 张新亮 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第11期57-62,共6页
基于偏振无关光分束器和模式转换器,提出一种基于薄膜铌酸锂(TFLN)的偏振无关电光调制器。其中,偏振无关光分束器可以实现TE0和TM0模式的精准分束,模式转换器能够将输入的TM0模式高效转换为TE1模式。在此基础上,使用周期性电容加载的行... 基于偏振无关光分束器和模式转换器,提出一种基于薄膜铌酸锂(TFLN)的偏振无关电光调制器。其中,偏振无关光分束器可以实现TE0和TM0模式的精准分束,模式转换器能够将输入的TM0模式高效转换为TE1模式。在此基础上,使用周期性电容加载的行波电极结构可实现对两种模式光的高效电光调制。仿真结果表明,该调制器的电光带宽大于100 GHz,有助于解决现有电光调制器因偏振敏感而导致的不稳定问题,为基于TFLN的调制器开辟了新的研究思路。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂 电光调制器 偏振分束器 模式转换
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可编程多脉冲绿光激光器
16
作者 吴丽霞 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期204-209,共6页
为了满足平面激光诱导荧光技术和反射物速度干涉仪系统的应用要求,研制出一套可编程多脉冲绿光激光器。采用光强可编程技术,在任意波形发生器中输入一长脉冲电压波形,并将其加载到电光调制器上;通过对此电压脉冲波形的编辑,在实现时域... 为了满足平面激光诱导荧光技术和反射物速度干涉仪系统的应用要求,研制出一套可编程多脉冲绿光激光器。采用光强可编程技术,在任意波形发生器中输入一长脉冲电压波形,并将其加载到电光调制器上;通过对此电压脉冲波形的编辑,在实现时域上控制光强的同时输出多脉冲,且多脉冲的脉冲间隔、脉冲宽度及脉冲波形均任意可调。结果表明,放大过程的波形畸变得到矫正,获得脉宽为110 ns的绿光单脉冲方波;脉宽为50 ns、时间间隔5μs的绿光双脉冲方波;脉宽为40 ns、50 ns和60 ns、时间间隔为2μs、1μs的绿光三脉冲方波。该研究为平面激光诱导荧光技术和反射物速度干涉仪系统提供了参考。 展开更多
关键词 激光器 多脉冲 脉冲整形 任意波形 电光调制器
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基于光纤电光调制器的PDH频率锁定稳定性研究 被引量：6
17
作者 马维光 赵刚 +6 位作者 付小芳 李志新 谭巍 董磊 张雷 尹王保 贾锁堂 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期221-226,共6页
光纤器件尤其是光纤电光调制器(EOM)在简化PDH频率锁定装置的同时会诱发残余幅度调制(RAM),该效应会使PDH误差信号出现一个受环境温度影响的直流偏置,同时线型也出现一定程度的扭曲,这不仅会使频率锁定点发生漂移,同时也会影响频率锁定... 光纤器件尤其是光纤电光调制器(EOM)在简化PDH频率锁定装置的同时会诱发残余幅度调制(RAM),该效应会使PDH误差信号出现一个受环境温度影响的直流偏置,同时线型也出现一定程度的扭曲,这不仅会使频率锁定点发生漂移,同时也会影响频率锁定的时间。对PDH误差信号中存在RAM的线型进行理论和实验分析,并利用Hnsch-Couillaud(HC)技术抑制RAM,在实验上获得了无偏置且信号对称的PDH误差信号。分别利用RAM抑制闭环和开环的误差信号,进行了激光到腔模的频率锁定,验证了RAM抑制方案可以极大地增加基于光纤EOM的PDH频率锁定技术的稳定性。 展开更多
关键词 激光技术 PDH频率锁定 残余幅度调制 Hansch—Couillaud技术 电光调制器
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薄膜铌酸锂光波导器件的研究进展(特邀)
18
作者 姚昊 王梦柯 +3 位作者 邓佳瑶 孙宇哲 吴杰云 陈开鑫 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第11期174-185,共12页
铌酸锂材料因其宽的透明窗口、成熟的波导制作工艺,以及优异的电光效应,在过去几十年中被广泛应用于制作高性能光波导电光调制器与电光开关。近年来,随着高质量薄膜铌酸锂的商品化,研究人员又开发了多种高性能的薄膜铌酸锂光波导器件,... 铌酸锂材料因其宽的透明窗口、成熟的波导制作工艺,以及优异的电光效应,在过去几十年中被广泛应用于制作高性能光波导电光调制器与电光开关。近年来,随着高质量薄膜铌酸锂的商品化,研究人员又开发了多种高性能的薄膜铌酸锂光波导器件,这些器件的性能已经远远超过了传统块状铌酸锂波导器件。本文主要梳理了近年来薄膜铌酸锂平台上的光波导、光栅耦合器、边缘耦合器、电光调制器及可调谐滤波器的研究进展,简要讨论了现阶段薄膜铌酸锂光波导器件面临的挑战。 展开更多
关键词 集成光学 薄膜铌酸锂 电光效应 光学滤波器
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基于改进粒子群算法的电光调制器偏压控制研究
19
作者 龚张顺 杨晚晴 毕胜尧 《光学与光电技术》 2024年第4期61-69,共9页
为解决电光强度调制器传输特性曲线易受环境影响发生漂移的问题,提出了一种基于改进粒子群算法的偏压控制方法。根据马赫-曾德尔电光强度调制器的结构特征,推导了调制器的传输特性曲线,仿真分析了不同偏置电压和射频幅值对调制性能的影... 为解决电光强度调制器传输特性曲线易受环境影响发生漂移的问题,提出了一种基于改进粒子群算法的偏压控制方法。根据马赫-曾德尔电光强度调制器的结构特征,推导了调制器的传输特性曲线,仿真分析了不同偏置电压和射频幅值对调制性能的影响,确定了马赫-曾德尔电光强度调制器的最佳线性工作点为±Quad点。然后介绍了传统粒子群算法的原理,为使粒子群算法在偏压自动控制问题中性能最佳,对粒子群算法进行改进,动态调整惯性权重和粒子群个体分布,构建特定的适应度函数,对多目标参数进行优化。最后仿真分析了改进粒子群算法在偏压自动控制问题中的性能,算法能准确找到最佳线性工作点,并且收敛速度快,同时,将算法移植到自主研制的偏压控制板上,设计对比实验证明了改进粒子群算法能有效跟踪偏压曲线的漂移,调制输出信号波形幅值变化不超过2%,满足长时间使用要求。 展开更多
关键词 粒子群算法 电光调制器 偏压控制 线性工作点 多目标优化
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BaTiO_(3)薄膜的制备及其在电光调制器的应用
20
作者 任怡静 马新国 +3 位作者 张锋 陆晶晶 张力 王晗 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第4期688-700,共13页
BaTiO_(3)凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光... BaTiO_(3)凭借其较高的电光系数、优良的压电性质和非线性光学性质,成为制备高性能电光调制器的关键材料。其制备方法、实验条件和衬底的选择等决定了薄膜的质量、生长取向和电光系数等,进而影响电光调制器的传播损耗、半波电压、消光比等性能。本文从电光调制器的工作原理出发,围绕BaTiO_(3)薄膜的制备方法、实验条件和薄膜衬底等,探讨了成膜的取向和质量的影响因素,分析了各个BaTiO_(3)薄膜制备方法的优缺点,论述了波导的结构及参数,并展望了未来优化BaTiO_(3)薄膜制备和波导制作工艺的方向。 展开更多
关键词 BaTiO_(3)薄膜 电光调制器 波导 电光系数 化学气相沉积法 分子束外延法
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