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固结磨料加工硅片的技术进展 被引量:4
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作者 刘娟 黄辉 +1 位作者 于怡青 徐西鹏 《珠宝科技》 2004年第1期5-7,15,共4页
随着集成电路 (IC)制造技术的飞速发展 ,为了进一步增加 IC芯片的产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化。高质量、大尺寸硅片的制造对超精密加工技术提出了更加严峻的挑战。简要地介绍了传统的及目前流行的硅片加工工艺 ,讨论了在... 随着集成电路 (IC)制造技术的飞速发展 ,为了进一步增加 IC芯片的产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化。高质量、大尺寸硅片的制造对超精密加工技术提出了更加严峻的挑战。简要地介绍了传统的及目前流行的硅片加工工艺 ,讨论了在线电解修整 (EL ID)辅助磨抛硅片技术 ;最后 ,针对固结磨具中存在的超细磨料团聚问题 。 展开更多
关键词 硅片 超精密加工工具 综述 elid技术 团聚
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ELID镜面磨削硬质合金的工艺参数实验研究 被引量:3
2
作者 肖强 千学明 沈云波 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2007年第4期75-79,共5页
随着国防尖端技术的迅速发展,许多具有独特性能的新材料得到了日益广泛的应用,如光学玻璃、硬质合金。但采用传统磨削工艺加工这些材料很难得到良好的表面质量。在线电解砂轮修整(ELID)磨削技术是一项新的、高效的磨削方法,它有效地实... 随着国防尖端技术的迅速发展,许多具有独特性能的新材料得到了日益广泛的应用,如光学玻璃、硬质合金。但采用传统磨削工艺加工这些材料很难得到良好的表面质量。在线电解砂轮修整(ELID)磨削技术是一项新的、高效的磨削方法,它有效地实现了许多难加工材料的超精密加工和高效加工。针对硬质合金的特性,用ELID磨削方法应用于硬质合金的精密加工,通过实验研究ELID磨削中工艺参数对加工表面的影响规律,找到了在一定条件下优化的工艺参数。 展开更多
关键词 elid磨削 工艺参数 表面质量 镜面磨削
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柱形动压气浮轴承马达轴精密磨削加工工艺研究
3
作者 解璟昊 李府锟 +1 位作者 岳健鹏 修璇 《机床与液压》 北大核心 2018年第4期27-32,共6页
针对GT35动压马达轴精密加工精度难以保证、效率低、成本高的难题,开展马达轴精密磨削加工工艺研究。通过开展不同结合剂,不同粒度、浓度的金刚石砂轮磨削对比试验,研究不同砂轮参数对工件形状精度、表面质量、比磨削能等的影响规律,设... 针对GT35动压马达轴精密加工精度难以保证、效率低、成本高的难题,开展马达轴精密磨削加工工艺研究。通过开展不同结合剂,不同粒度、浓度的金刚石砂轮磨削对比试验,研究不同砂轮参数对工件形状精度、表面质量、比磨削能等的影响规律,设计超硬磨料砂轮;通过正交试验,确定影响轴精密磨削表面粗糙度、圆度、圆柱度的最优工艺参数;采用最优磨削参数对20件马达轴开展了磨削加工验证试验。研究得到:当工件转速304 r/min、进给速度0.003m/min、进给量1μm时,获得最优的马达轴圆度0.11μm、圆柱度0.34μm、粗糙度Ra0.041μm的合格工件。 展开更多
关键词 动压马达轴 elid技术 磨削工艺
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在线电解修整磨削液研究现状及其展望 被引量:11
4
作者 伍俏平 王煜 +1 位作者 瞿为 邓朝晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1118-1125,共8页
在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了... 在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了ELID磨削液的成分配比、磨削液对氧化膜的影响以及ELID磨削液改进这几个方面的研究进展,并对ELID磨削液下一步的研究重点进行了展望。 展开更多
关键词 elid镜面磨削技术 elid磨削液 氧化膜 成膜特性
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在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术 被引量:8
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作者 徐志强 尹韶辉 +1 位作者 姜胜强 朱科军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1310-1315,共6页
通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂... 通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂轮对蓝宝石基片进行超精密ELID磨削实验,快速地获得高质量的加工表面,同时采用磁流变斑点法对加工面的亚表面损伤进行测量;利用CMP抛光技术对磨削加工后的表面进行光整,以减少磨削时产生的加工缺陷,使工件的表面质量得到进一步改善与提高,最终获得亚纳米级的表面粗糙度。 展开更多
关键词 蓝宝石基片 在线电解修整磨削 化学机械抛光 组合加工技术
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ELID磨削砂轮表面氧化膜力学性能 被引量:6
6
作者 郐吉才 张飞虎 张勇 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第5期447-451,共5页
砂轮表面的氧化膜对保证在线电解修整(ELID)磨削的非线性电解以及对改善磨削表面质量都具有极其重要的作用.利用纳米压痕技术研究了氧化膜的硬度、弹性模量及刚度.研究结果表明,氧化膜的硬度约为210MPa,是基体硬度的1/4-1/3,使氧化膜... 砂轮表面的氧化膜对保证在线电解修整(ELID)磨削的非线性电解以及对改善磨削表面质量都具有极其重要的作用.利用纳米压痕技术研究了氧化膜的硬度、弹性模量及刚度.研究结果表明,氧化膜的硬度约为210MPa,是基体硬度的1/4-1/3,使氧化膜有效地隔离了基体与工件,避免基体划伤磨削表面;氧化膜弹性模量约为30-50 GPa,是基体弹性模量的1/6-1/3,因此弹性变形更易发生,有利于磨粒的协同性与等高性;氧化膜刚度约为15μN/nm,由于氧化膜的动态更新,其值与磨削参数有关.在精密磨削时,由于氧化膜发生弹性变形,减小了磨粒的出刃高度和磨削深度,使磨削表面质量得到改善. 展开更多
关键词 氧化膜 纳米压痕技术 力学性能 elid磨削技术
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基于ELID磨削技术的陶瓷材料精密磨削加工技术优化
7
作者 黄镇 胡景蓉 +1 位作者 何煌 严文超 《机械与电子》 2024年第8期3-6,共4页
为解决陶瓷材料的精密磨削加工容易产生裂纹、材料不耐高温的问题,提出基于ELID磨削技术的陶瓷材料精密磨削加工技术优化方法,基于强塑性变形受力的原理,通过公式计算优化陶瓷材料破坏性控制,通过改变磨削深度优化陶瓷材料破坏性控制。... 为解决陶瓷材料的精密磨削加工容易产生裂纹、材料不耐高温的问题,提出基于ELID磨削技术的陶瓷材料精密磨削加工技术优化方法,基于强塑性变形受力的原理,通过公式计算优化陶瓷材料破坏性控制,通过改变磨削深度优化陶瓷材料破坏性控制。使用3种方法进行对比实验,结果表明基于ELID磨削技术样品的磨削表面粗糙度小于3.2 nm,属于加工痕迹不可见范围,优于传统的高速磨削和预应力磨削。 展开更多
关键词 elid磨削技术 陶瓷材料 精密磨削 参数优化 热损伤 应力场强度
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碳化钛材料ELID磨削加工机理及工艺实验研究 被引量:1
8
作者 关佳亮 李鑫 +2 位作者 穆德明 陈金 张航 《工具技术》 北大核心 2023年第1期49-53,共5页
碳化钛新型材料因高硬度、高耐磨性及高化学稳定性等特点被应用到金属复合材料制造以及表面喷涂等方面,其常规磨削方式存在加工效率低、表面质量差、成本高及磨具损耗大的问题。采用ELID磨削技术对碳化钛进行精密磨削加工实验,以二次通... 碳化钛新型材料因高硬度、高耐磨性及高化学稳定性等特点被应用到金属复合材料制造以及表面喷涂等方面,其常规磨削方式存在加工效率低、表面质量差、成本高及磨具损耗大的问题。采用ELID磨削技术对碳化钛进行精密磨削加工实验,以二次通用旋转法设计实验,探究加工工艺参数对碳化钛样件表面粗糙度的影响规律。采用DPS软件对实验数据进行分析并建立数学模型,借助MATLAB软件计算出最佳理论工艺参数组合,通过实验对其进行修正和完善,得出实际最佳工艺参数组合为:砂轮进给量1μm,砂轮线速度30m/s,电解电流12.3A,电解间隙1.1mm。在此参数下对碳化钛进行ELID磨削加工,获得样件的表面粗糙度值为246nm,相比于常规磨削方式,样件的表面质量提高14.6%,加工时间缩短36.7%,砂轮损耗率降低53.2%,整体加工效率提高100%以上。 展开更多
关键词 碳化钛材料 elid磨削技术 二次通用旋转法 工艺参数优化
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ELID超精密镜面磨削过程中磨削力变化规律的试验分析 被引量:4
9
作者 张春河 林彬 +2 位作者 韩建华 于爱兵 韩荣久 《航空精密制造技术》 1998年第1期8-11,共4页
通过对ELID磨削过程中磨削力变化规律的试验分析,并对试验结果进行了讨论,得出ELID磨削力与磨削深度、磨粒粒度、磨削时间等之间的变化规律。
关键词 超精密镜面磨削 砂轮技术 elid 磨削力
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纳米硬质合金和岩石的摩擦磨损与切削性能 被引量:3
10
作者 郐吉才 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第S1期230-235,共6页
摩擦磨损性能对刀具耐磨性有极其重要影响。利用在线电解修整(Electrolytic In process Dressing,ELID)磨削技术对纳米硬质合金刀具进行了磨削,应用摩擦磨损试验机研究了纳米硬质合金WC-10Co和岩石的摩擦磨损性能。应用纳米硬质合金刀... 摩擦磨损性能对刀具耐磨性有极其重要影响。利用在线电解修整(Electrolytic In process Dressing,ELID)磨削技术对纳米硬质合金刀具进行了磨削,应用摩擦磨损试验机研究了纳米硬质合金WC-10Co和岩石的摩擦磨损性能。应用纳米硬质合金刀具对大理石进行了切削加工,研究了纳米刀具的切削性能。结果表明,纳米硬质合金整体摩擦系数低,耐磨性好,WC-10Co的磨损机理表现为鱼鳞状塑性流动,普通硬质合金磨损机理则是晶粒大片脱落。在低速切削时,纳米硬质合金刀具耐用度较普通硬质合金提高0.5-1倍,更适于低速加工硬脆材料。显微分析表明,纳米硬质合金刀具磨损机理是磨粒磨损和岩石中脱落的硬质点楔入WC晶粒之间的Co相里引起硬质相WC脱落。由于纳米硬质合金的优异性能,有望成为地质资源钻探领域的新型刀具。 展开更多
关键词 摩擦 磨损 纳米硬质合金 岩石 elid磨削技术 刀具耐用度
原文传递
Inconel625镍合金高效精密磨削工艺试验研究 被引量:3
11
作者 关佳亮 刘书君 +1 位作者 杨洋 张龙月 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2019年第11期1732-1737,共6页
采用ELID磨削技术对Inconel625镍合金进行高效、精密加工实验。用正交试验设计和灰色系统理论相结合的实验方法,以表面粗糙度为评价指标,对工艺参数的影响作用进行分析研究,获得了优化参数组合,加工出表面粗糙度为48 nm的样件。实验结... 采用ELID磨削技术对Inconel625镍合金进行高效、精密加工实验。用正交试验设计和灰色系统理论相结合的实验方法,以表面粗糙度为评价指标,对工艺参数的影响作用进行分析研究,获得了优化参数组合,加工出表面粗糙度为48 nm的样件。实验结果表明,在加工Inconel625镍合金实验中,ELID磨削技术可以有效解决Inconel625镍合金传统加工中刀刃磨钝、崩角开裂等加工难题,实现了对Inconel625镍合金的高效、精密加工。 展开更多
关键词 Inconel625镍合金 elid磨削技术 工艺试验 灰色系统理论
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ELID磨削钝化膜弹簧刚度计算模型研究 被引量:2
12
作者 郐吉才 张飞虎 《工具技术》 北大核心 2008年第9期29-32,共4页
钝化膜在ELID磨削中具有至关重要的作用。结合磨削原理建立了ELID磨削钝化膜弹簧刚度计算模型,对计算模型进行了理论分析及仿真研究,并进行了实验验证。研究表明,ELID磨削钝化膜弹簧刚度计算模型可以很好表征ELID磨削过程中弹簧刚度的... 钝化膜在ELID磨削中具有至关重要的作用。结合磨削原理建立了ELID磨削钝化膜弹簧刚度计算模型,对计算模型进行了理论分析及仿真研究,并进行了实验验证。研究表明,ELID磨削钝化膜弹簧刚度计算模型可以很好表征ELID磨削过程中弹簧刚度的动态变化,这一特性对ELID磨削表面质量的提高起到显著作用。 展开更多
关键词 elid磨削 钝化膜 动态弹簧刚度 计算模型
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航天用SiCp/Al复合材料卫星输出轴精密磨削工艺研究 被引量:3
13
作者 关佳亮 赵显辉 +2 位作者 任勇 孙晓楠 陈玲 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2017年第2期146-149,共4页
针对48%体积比SiCp/Al复合材料卫星专用输出轴的超精密加工难题,采用ELID精密磨削技术对其进行了工艺实验研究。首先,通过建立切入磨粒磨削模型,得到了48%体积比SiCp/Al复合材料的磨削机理及影响因素。然后探究了不同电火花参数对砂轮... 针对48%体积比SiCp/Al复合材料卫星专用输出轴的超精密加工难题,采用ELID精密磨削技术对其进行了工艺实验研究。首先,通过建立切入磨粒磨削模型,得到了48%体积比SiCp/Al复合材料的磨削机理及影响因素。然后探究了不同电火花参数对砂轮修整形貌的影响,并采用极差分析探究了各因素对工件磨削质量影响程度的大小。研究表明,当砂轮转速为1500r/min,进给量0.25μm,进给速度0.9m/min,电解电流10A,占空比60%时,磨削质量最好,得到了表面粗糙度Ra0.096μm,圆柱度0.85μm的48%体积比SiCp/Al复合材料输出轴精密磨削表面。 展开更多
关键词 SICP/AL复合材料 elid精密磨削技术 工艺参数 正交试验
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SiCp/Al复合材料ELID高效磨削表面成型机理研究 被引量:2
14
作者 关佳亮 朱磊 +2 位作者 陈玲 马新强 张孝辉 《制造技术与机床》 北大核心 2015年第6期129-132,共4页
采用在线电解修整(ELID)磨削技术,对体积分数为40%的SiCp/Al复合材料进行精密磨削实验,获得表面粗糙Ra0.030μm的加工表面。对已加工表面成型机理进行研究,分析了几种典型磨削表面缺陷,总结出SiC p/Al复合材料的磨削特征和去除机理。
关键词 SICP/AL复合材料 elid精密磨削技术 磨削特征 去除机理
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金刚石复合片ELID精密磨削工艺及机理研究 被引量:1
15
作者 关佳亮 赵显辉 +2 位作者 任勇 孙晓楠 陈玲 《工具技术》 北大核心 2016年第11期34-37,共4页
针对金刚石复合片的超精密加工难题,基于正交试验法优化金刚石复合片ELID精密磨削参数组合,采用极差分析得到了各因素对加工质量的影响程度大小,并以此为基础进行了工艺实验。根据金刚石复合片磨削加工后的SEM电镜扫描图,对其表面磨削... 针对金刚石复合片的超精密加工难题,基于正交试验法优化金刚石复合片ELID精密磨削参数组合,采用极差分析得到了各因素对加工质量的影响程度大小,并以此为基础进行了工艺实验。根据金刚石复合片磨削加工后的SEM电镜扫描图,对其表面磨削机理及加工表面典型缺陷进行了分析。研究表明,金刚石复合片的ELID精密磨削最优参数为磨削深度为0.3μm、主轴转速1500r/min、占空比40%、工件移动速度为0.25mm/s、电解电压25V、电极间隙1mm。采用优化后的参数组合进行磨削加工,获得了粗糙度为0.019μm的加工表面。 展开更多
关键词 金刚石复合片 elid精密磨削技术 工艺参数 正交试验
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高锰钢精密超精密镜面加工技术及试验研究 被引量:1
16
作者 关佳亮 徐真真 +3 位作者 张孝辉 尚海洋 郭奎崇 王建杰 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期353-361,共9页
目的利用ELID磨削技术对ZGMn13Cr2高锰钢进行精密超精密镜面磨削加工试验研究,解决其加工性能差的问题,以提升表面质量,采用二次回归通用旋转设计试验,探究不同试验因素对ZGMn13Cr2高锰钢加工表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进... 目的利用ELID磨削技术对ZGMn13Cr2高锰钢进行精密超精密镜面磨削加工试验研究,解决其加工性能差的问题,以提升表面质量,采用二次回归通用旋转设计试验,探究不同试验因素对ZGMn13Cr2高锰钢加工表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进行优化。方法对MSG-612 CNC超精密成型平面磨床进行ELID磨削工艺模块化改造后,采用240#、W10粒度的金属结合剂金刚石砂轮对直径Φ50 mm、厚度10 mm的样件进行ELID磨削加工,对比两种粒度砂轮的加工效果。应用二次回归通用旋转设计进行工艺试验,搭建表面粗糙度二次回归数学模型,探究不同试验因素对工件表面质量的影响程度,使用判定系数R2检验二次回归模型对实际情况的拟合程度。最后,由lingo软件对二次回归数学模型进行优化,得出ZGMn13Cr2高锰钢ELID磨削各试验因素工艺参数的最佳组合。结果经W10金属结合剂金刚石砂轮加工后,样件获得较高精度的镜面效果,两种粒度所加工的样件表面均无烧伤。判定系数R2检验二次回归模型对实际情况的拟合度为99.24%,模型的预测结果对实际加工有指导意义。优化得出的最佳工艺参数组合为:砂轮线速度35 m/s,电解电压90 V,砂轮进给量2μm,电解间隙0.734 mm。结论ELID精密超精密镜面磨削加工技术可大幅提高ZGMn13Cr2高锰钢的加工效率和加工精度,减少工件表面烧伤,在高锰钢磨削加工方面具有良好的应用价值。 展开更多
关键词 ZGMn13Cr2高锰钢 elid磨削技术 在线电解 二次回归通用旋转设计 优化组合
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铝基金刚石精密磨削工艺实验研究
17
作者 关佳亮 潘艳杰 +2 位作者 代子鹏 张振高 王建杰 《制造技术与机床》 北大核心 2021年第9期75-79,共5页
铝基金刚石新型复合材料是我国航天、电子封装等领域不可或缺的材料,但对其精密加工十分困难。采用ELID磨削技术对铝基金刚石进行精密磨削加工试验研究,探究不同磨削工艺参数对铝基金刚石加工表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进... 铝基金刚石新型复合材料是我国航天、电子封装等领域不可或缺的材料,但对其精密加工十分困难。采用ELID磨削技术对铝基金刚石进行精密磨削加工试验研究,探究不同磨削工艺参数对铝基金刚石加工表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进行优化。得出磨削深度9.3μm,砂轮线速度36 m/s,占空比63.7%电解电流11.5 A的最佳工艺参数组合,加工出表面粗糙度R a=149 nm的表面。 展开更多
关键词 铝基金刚石 elid磨削技术 二次正交旋转设计 优化组合
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精准递进磨削去除方法及其加工工艺实验研究
18
作者 关佳亮 代子鹏 +1 位作者 张振高 潘艳杰 《制造技术与机床》 北大核心 2021年第12期73-77,共5页
针对CrMn轴承钢材料应用于轴承套圈滚道加工中所存在的加工精度低、表面质量差的加工难题,基于磨削原理和ELID磨削机理,提出了精准递进磨削去除加工方法。采用二次通用旋转组合方法以CrMn轴承钢为研究对象,开展了精准递进磨削去除加工... 针对CrMn轴承钢材料应用于轴承套圈滚道加工中所存在的加工精度低、表面质量差的加工难题,基于磨削原理和ELID磨削机理,提出了精准递进磨削去除加工方法。采用二次通用旋转组合方法以CrMn轴承钢为研究对象,开展了精准递进磨削去除加工工艺实验研究:建立了单次走刀砂轮粒度、磨料浓度、砂轮线速度与加工精度之间相互关系的数学模型;通过所建立的数学模型,依据lingo软件和已有的ELID磨削经验,获得了轴承钢ELID磨削加工工艺参数优化组合;采用W40和W10的铁基砂轮对加工余量为15μm的轴承钢表面分别进行了精密和超精密加工,获得了R a61 nm和R a16 nm精密和超精密两种加工表面,验证了当工序加工余量一定时,ELID磨削能够实现对加工余量稳定的精准递进磨削去除。 展开更多
关键词 elid磨削 精准递进磨削去除 CrMn轴承钢
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Elid第二代单臂栅栏上市
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《中国安防产品信息》 2005年第03X期43-43,共1页
Elid Technology International专门制造门禁安全设备,它最近上市的新产品是单臂人行栅栏(Single—Armed Pedestrian Drop Arm Barrier),这是它的前身双臂栅栏的改良版。
关键词 elid INTERNATIONAL 栅栏 上市 单臂 technology 第二代 安全设备 ARM 门禁 双臂
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