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电化学原子层外延及 Te、Cd 元素欠电势沉积研究 被引量:5
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作者 樊玉薇 李永祥 吴冲若 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1998年第1期37-42,共6页
阐述了一种外延沉积化合物半导体的新方法———电化学原子层外延(ECALE),并对其基础欠电势沉积(UPD)进行了讨论.着重研究了Ⅱ、Ⅳ族元素Cd、Te的电化学欠电势沉积,根据电化学循环伏安曲线,研究了Te与Cd在Si... 阐述了一种外延沉积化合物半导体的新方法———电化学原子层外延(ECALE),并对其基础欠电势沉积(UPD)进行了讨论.着重研究了Ⅱ、Ⅳ族元素Cd、Te的电化学欠电势沉积,根据电化学循环伏安曲线,研究了Te与Cd在SiAu(111)基片上以及交替生长过程中UPD沉积电位及相应覆盖度值.由此确定了在SiAu(111)衬底上交替沉积Te、Cd原子层的方法.在此基础上,初步进行了多次交替沉积,并用AFM与AES研究了所得样品表面形貌与成分. 展开更多
关键词 ecale CDTE 欠电势沉积 薄膜
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电化学原子层外延及其新材料制备应用研究进展 被引量:4
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作者 侯杰 杨君友 +1 位作者 朱文 郜鲜辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期87-90,共4页
电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长。详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响 ECALE 过程的关键要素... 电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长。详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响 ECALE 过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展。 展开更多
关键词 纳米超晶格 ecale 欠电位沉积 原子层外延
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Bi_2Te_3热电薄膜的电化学原子层外延制备 被引量:7
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作者 侯杰 杨君友 +1 位作者 朱文 郜鲜辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1054-1056,共3页
采用电化学原子层外延法(ECALE)在Au电极上成功地制备了Bi2Te3化合物热电薄膜。通过循环伏安扫描研究Te和Bi在Au衬底上的电化学特性,使用自动沉积系统交替欠电位沉积Te、Bi原子层200个循环获得沉积物。XRD、EDX和FESEM测试结果表明循环... 采用电化学原子层外延法(ECALE)在Au电极上成功地制备了Bi2Te3化合物热电薄膜。通过循环伏安扫描研究Te和Bi在Au衬底上的电化学特性,使用自动沉积系统交替欠电位沉积Te、Bi原子层200个循环获得沉积物。XRD、EDX和FESEM测试结果表明循环沉积200层后得到的沉积物Bi和Te的化学计量比为2∶3,且是Bi2Te3薄膜化合物,而非单质Bi和Te的简单混合;薄膜均匀、致密、平整且可重复性好,以(015)为最优取向外延生长的。 展开更多
关键词 电化学原子层外延 欠电位 BI2TE3 热电材料 薄膜
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Growth of bismuth telluride thin film on Pt by electrochemical atomic layer epitaxy 被引量:3
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作者 朱文 杨君友 +3 位作者 郜鲜辉 侯杰 张同俊 崔昆 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2005年第2期404-409,共6页
An automated thin-layer flow cell electrodeposition system was developed for growing Bi2Te3 thin film by ECALE. The dependence of the Bi and Te deposition potentials on Pt electrode was studied. In the first attempt, ... An automated thin-layer flow cell electrodeposition system was developed for growing Bi2Te3 thin film by ECALE. The dependence of the Bi and Te deposition potentials on Pt electrode was studied. In the first attempt, this reductive Te underpotential deposition (UPD)/reductive Bi UPD cycle was performed to 100 layers. A better linearity of the stripping charge with the number of cycles has been shown and confirmed a layer-by-layer growth mode, which is consistent with an epitaxial growth. The 4∶3 stoichiometric ratio of Bi to Te suggests that the incomplete charge transfer in HTeO+2 reduction excludes the possibility of Bi2Te3 formation. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis also reveals that the incomplete charge transfer in HTeO+2 occurs in Te direct deposition. The effective way of depositing Bi2Te3 on Pt consists in oxidative Te UPD and reductive Bi UPD. The thin film deposited by this procedure was characterized by X-ray diffraction(XRD), scanning electron microscopy(SEM) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). A polycrystalline characteristic was confirmed by XRD. The 2∶3 stoichiometric ratio was confirmed by XPS. The SEM image indicates that the deposit looks like a series of buttons about (0.30.4 μm) in diameter, which is corresponding with calculated thickness of the epitaxial film. This suggests that the particle growth appears to be linear with the number of cycles, as it is consistent with a layer by layer growth mode. 展开更多
关键词 热电材料 碲化铋 薄膜生长 电化学原子外延附生
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Deposition of antimony telluride thin film by ECALE
5
作者 GAO Xianhui YANG Junyou ZHU Wen HOU Jie BAO Siqian FAN Xi'an DUAN Xingkai 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2006年第6期685-692,共8页
The process of Sb2Te3 thin film growth on the Pt substrate by electrochemical atomic layer epitaxy (ECALE) was studied. Cyclic voltammetric scanning was performed to analyze the electrochemical behavior of Te and Sb o... The process of Sb2Te3 thin film growth on the Pt substrate by electrochemical atomic layer epitaxy (ECALE) was studied. Cyclic voltammetric scanning was performed to analyze the electrochemical behavior of Te and Sb on the Pt substrate. Sb2Te3 film was formed using an automated flow deposition system by alternately depositing Te and Sb atomic layers for 400 circles. The deposited Sb2Te3 films were characterized by XRD, EDX, FTIR and FESEM observation. Sb2Te3 compound structure was confirmed by XRD pattern and agreed well with the results of EDX quantitative analysis and coulometric analysis. FESEM micrographs showed that the deposit was composed of fine nano particles with size of about 20 nm. FESEM image of the cross section showed that the deposited films were very smooth and dense with thickness of about 190 nm. The optical band gap of the deposited Sb2Te3 film was determined as 0.42 eV by FTIR spectroscopy, and it was blue shifted in comparison with that of the bulk Sb2Te3 single crystal due to its nanocrystalline microstructure. 展开更多
关键词 Sb2Te3 ecale THERMOELECTRIC materials nanomaterials.
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纳米热电材料及其ECALE制备方法进展 被引量:1
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作者 郜鲜辉 杨君友 +1 位作者 朱文 侯杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1493-1496,1500,共5页
论述了纳米热电材料的发展现状及其提高热电优值(ZT)的机理,介绍了一种制备纳米热电薄膜的新方法———电化学原子层外延(ECALE),它采用欠电位沉积实现二维层状生长。文中还总结了该方法制备纳米薄膜过程中的几个重要影响因素,并预测了... 论述了纳米热电材料的发展现状及其提高热电优值(ZT)的机理,介绍了一种制备纳米热电薄膜的新方法———电化学原子层外延(ECALE),它采用欠电位沉积实现二维层状生长。文中还总结了该方法制备纳米薄膜过程中的几个重要影响因素,并预测了纳米热电材料和器件今后的研究方向。 展开更多
关键词 纳米热电材料 电化学原子层外延 欠电位沉积
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电化学原子层外延沉积碲化铋纳米薄膜研究
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作者 杨君友 朱文 郜鲜辉 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期1281-1283,共3页
本文首次研究了电化学原子层外延(ECALE)法室温沉积碲化铋纳米薄膜的过程.ECALE是原子层外延的电化学模拟.它通过欠电位技术实现电化学沉积过程中的原子级的精确控制,每次只沉积一个原子层厚度,通过沉积循环的控制可以实现对沉积薄膜材... 本文首次研究了电化学原子层外延(ECALE)法室温沉积碲化铋纳米薄膜的过程.ECALE是原子层外延的电化学模拟.它通过欠电位技术实现电化学沉积过程中的原子级的精确控制,每次只沉积一个原子层厚度,通过沉积循环的控制可以实现对沉积薄膜材料种类和厚度的控制.采用三电极和循环伏安法,分别研究确定了Pt电极上欠电位沉积金属Bi薄膜、Te在Pt电极上欠电位沉积条件以及Bi在Te表面和Te在Bi表面的交替沉积行为及其沉积参数,通过不同电位交替沉积得到Bi2Te3纳米薄膜.对薄膜的氧化剥落及其电量分析结果进一步证明了该薄膜的沉积过程是一种二维层状生长过程. 展开更多
关键词 ecale 欠电位沉积 热电材料 Bi2Te3纳米薄膜
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Sb_2Te_3纳米薄膜的ECALE法制备 被引量:2
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作者 郜鲜辉 杨君友 +4 位作者 朱文 侯杰 鲍思前 樊希安 段兴凯 《中国科学(E辑)》 CSCD 北大核心 2006年第11期1273-1282,共10页
研究了利用电化学原子层外延法(electrochemical atomic layer epitaxy,ECALE)在Pt电极上生长Sb2Te3化合物半导体薄膜热电材料的过程.采用循环伏安扫描分别研究了Te和Sb在Pt衬底上以及在覆盖了一层元素之上的电沉积特性,在此基础上使用... 研究了利用电化学原子层外延法(electrochemical atomic layer epitaxy,ECALE)在Pt电极上生长Sb2Te3化合物半导体薄膜热电材料的过程.采用循环伏安扫描分别研究了Te和Sb在Pt衬底上以及在覆盖了一层元素之上的电沉积特性,在此基础上使用自动沉积系统交替电化学沉积了400个Te和Sb原子层.采用XRD,FESEM和FTIR等多种分析测试手段对沉积薄膜的结构、形貌、禁带宽等进行了表征.XRD结果表明,沉积物是Sb2Te3化合物,与EDX定量分析和电量计算结果吻合;FESEM对薄膜表面及断面形貌检测表明沉积颗粒排列紧密、大小均匀,平均粒径约为20nm,薄膜均匀平坦,膜厚约190nm;由于沉积薄膜的纳米结构,FTIR吸收谱出现蓝移,测得Sb2Te3薄膜禁带宽为0.42eV. 展开更多
关键词 Sb2Te3 电化学原子层外延(ecale) 热电材料 纳米薄膜
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