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基于人工表面等离激元的双通带频率选择结构设计 被引量:5
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作者 王超 李勇峰 +5 位作者 沈杨 丰茂昌 王甲富 马华 张介秋 屈绍波 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第20期334-341,共8页
本文提出了一种基于人工表面等离激元的频率选择结构的设计方法:将设计的频率选择表面和金属鱼骨结构阵列相结合得到一种新的频率选择结构.文中采用这种方法设计了一种具有陡截止和高透、高抑制性能的双通带频率选择结构.该结构由金属... 本文提出了一种基于人工表面等离激元的频率选择结构的设计方法:将设计的频率选择表面和金属鱼骨结构阵列相结合得到一种新的频率选择结构.文中采用这种方法设计了一种具有陡截止和高透、高抑制性能的双通带频率选择结构.该结构由金属鱼骨结构阵列和上下两层相同的频率选择表面复合而成.通过仿真可得,该结构的两个通带频率范围分别是3.0-4.1和10.5-10.9 GHz,透射率均在-0.5 dB以上.透射率低于-10 dB的频率范围是4.7-9.2和12.1-18 GHz.在12.4-15.5 GHz频率范围内,该结构的透射率甚至低于-20 dB.在通带内,电磁波可以高效地透过该结构;在阻带内,该结构对电磁波的透射具有较好的抑制作用.测试结果表明用这种方法设计出的频率选择结构的实际性能和仿真基本一致.在金属鱼骨结构空隙中填入轻质泡沫后该结构具有一定的力学承载性能,可以实现结构功能一体化的设计. 展开更多
关键词 人工表面等离激元 频率选择结构 双通带 集总电阻
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粮食筛选系统中双通道带通滤光膜的研制 被引量:4
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作者 付秀华 何松霖 +3 位作者 贾星明 刘冬梅 张静 刘爽 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期21-26,共6页
利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道... 利用杂质和劣质粮食与优质粮食的近红外吸收光谱不同的特性,根据光谱中反映测试成分的特征波段的差异对粮食进行光学分选.在光谱进入传感器之前经过滤光片对多个测试波段进行过滤,降低噪音的影响.本文针对光学筛选系统中核心部件双通道带通滤光片进行研制,从膜系设计理论出发,采用了Smith法结合膜系设计软件设计了以周期膜系和非周期膜系相结合的双通道带通滤光膜系,利用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法进行制备并通过数学建模分析,减小了实验误差对光谱的影响.在1 200nm和1 450nm波段得到平均透射率大于97%,1 000~1 130nm和1 570~2 000nm波段平均透射率小于1%的滤光膜,通过系统测试,满足使用要求. 展开更多
关键词 光学薄膜 双通道带通滤光膜 Smith法 粮食筛选 膜系设计 真空镀膜 膜厚监控
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双频带介质集成波导滤波器的设计 被引量:3
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作者 邓攀 唐宗熙 +2 位作者 张彪 吴韵秋 赵世巍 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期51-54,共4页
介绍了一种双频带带通滤波器,该滤波器源与负载之间的两条通路用来实现两个频带,且滤波器每条通路的阶数和带宽都可以灵活设计。为了实现小体积且方便与平面电路集成,滤波器用介质集成波导设计,采用折叠排列,用微带馈电。另外在公共端... 介绍了一种双频带带通滤波器,该滤波器源与负载之间的两条通路用来实现两个频带,且滤波器每条通路的阶数和带宽都可以灵活设计。为了实现小体积且方便与平面电路集成,滤波器用介质集成波导设计,采用折叠排列,用微带馈电。另外在公共端设计金属通孔使两条通路同时达到阻抗匹配,使两条通路互不影响。在X至Ku频段内设计了两个双频带带通滤波器,这两个滤波器的中心频率均为11和13 GHz。设计的带宽为200,380,400和200 MHz。实测结果与仿真曲线较为吻合。 展开更多
关键词 介质集成波导 双频带 带通滤波器 并联 阻抗匹配
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对称L型缺陷微带结构可调带通滤波器研究 被引量:2
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作者 朱玉峰 孙洪文 肖建康 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期56-59,共4页
设计了一种由对称L型缺陷微带结构实现的新型频率可调带通滤波器,并给出了相应的等效电路;对具有该结构的单频带带通滤波器的S参数频响特性进行了仿真与分析,并计算了耦合系数;依据上述结构设计制作了一种可调谐的双频带带通滤波器,并... 设计了一种由对称L型缺陷微带结构实现的新型频率可调带通滤波器,并给出了相应的等效电路;对具有该结构的单频带带通滤波器的S参数频响特性进行了仿真与分析,并计算了耦合系数;依据上述结构设计制作了一种可调谐的双频带带通滤波器,并对其谐振频率的可调性进行了分析。结果表明:所制滤波器的谐振频率分别为2.4 GHz和3.5 GHz,相对带宽分别为4.63%和4.95%,有效电路尺寸仅为26.0 mm×1.2 mm。该L型缺陷微带结构带通滤波器具有结构简单紧凑、尺寸小、频率选择性好和谐振频率独立可调等优点。 展开更多
关键词 缺陷微带结构 双频带 带通滤波器 频率可调
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应用于WLAN&WiMAX的小型化SIR可调双通带滤波器 被引量:2
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作者 奂锐 罗杰 《现代电子技术》 北大核心 2015年第17期80-83,共4页
对传统双频段耦合方案进行改进,提出一种新型双通带滤波器结构。该滤波器由两个对称阶跃阻抗谐振器(SIRs)组成,通过调节SIR的电长度,可以得到中心频率可调的通带。为了验证设计与分析的正确性,提出和设计了3个双通带滤波器。Ⅰ型滤波器... 对传统双频段耦合方案进行改进,提出一种新型双通带滤波器结构。该滤波器由两个对称阶跃阻抗谐振器(SIRs)组成,通过调节SIR的电长度,可以得到中心频率可调的通带。为了验证设计与分析的正确性,提出和设计了3个双通带滤波器。Ⅰ型滤波器两个通带的中心频率分别为2.4 GHz和3.5 GHz,相对带宽分别为5.8%和13.7%;Ⅱ型滤波器两个通带的中心频率分别为3.5 GHz和5.2 GHz,相对带宽分别为5.7%和9.2%;Ⅲ型滤波器两个通带的中心频率分别为2.4 GHz和5.2 GHz,相对带宽分别为6.3%和5.4%。Ⅰ型和Ⅱ型滤波器均适用于宽带互通微波互联接入(Wi MAX)和无线局域网(WLAN)应用。Ⅲ型滤波器适用于双频WLAN应用。对所有滤波器进行加工与实测,测试结果与仿真结果吻合较好。 展开更多
关键词 双频带 带通滤波器 阶跃阻抗谐振器 中心频率可调通带 WI MAX&WLAN
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带SIR结构新型多枝节加载双频滤波器 被引量:1
6
作者 丁智勇 雷涛 张正平 《通信技术》 2015年第1期108-111,共4页
本文在传统λ/4阶梯阻抗谐振器的基础上,提出了一种新型的宽带双频滤波器改进设计方案。改进的滤波器增加了传输零点,此传输零点能有效的改进通带的选择性和阻带特性,且上阻带带宽很宽。结构简单,在传统类似滤波器同谐振频率基础上有效... 本文在传统λ/4阶梯阻抗谐振器的基础上,提出了一种新型的宽带双频滤波器改进设计方案。改进的滤波器增加了传输零点,此传输零点能有效的改进通带的选择性和阻带特性,且上阻带带宽很宽。结构简单,在传统类似滤波器同谐振频率基础上有效缩小了尺寸,并且设计的滤波器通带的中心频率和带宽是完全独立可控,方便我们应用到实际。工作在4.1 GHz和6 GHz两个频段,3 dB相对带宽分别为7.2%和2.2%,实测和仿真吻合良好。 展开更多
关键词 双频 带通滤波器 阶跃阻抗谐振器 带宽
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基于共面波导的双通带滤波器 被引量:1
7
作者 陈凯丽 孟令琴 《工业控制计算机》 2018年第7期154-156,共3页
提出了一种基于共面波导CPW的利用双模谐振器的双通带滤波器的设计方案,该滤波器的两个通带频率分别为2.4 GHz和5.8 GHz。通过四分之一波长阶跃阻抗和均匀阻抗谐振器的交叉耦合来实现,并且两个通带频段可以独立地进行调谐。
关键词 双通带 共面波导 阶跃阻抗谐振器 带通滤波器
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基于缺陷地波导结构的双模带通滤波器设计 被引量:1
8
作者 张跃进 黄德昌 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第6期171-174,共4页
提出了一种新型的基于缺陷地波导(DGW)结构的双模带通滤波器设计。该滤波器由一对双T型微带输入/输出馈线和一个方形DGW双模谐振器构成。通过在DGW谐振器对称面上引入容性微扰,使谐振器的两个简并模分离,从而产生良好的双模带通椭圆形... 提出了一种新型的基于缺陷地波导(DGW)结构的双模带通滤波器设计。该滤波器由一对双T型微带输入/输出馈线和一个方形DGW双模谐振器构成。通过在DGW谐振器对称面上引入容性微扰,使谐振器的两个简并模分离,从而产生良好的双模带通椭圆形响应特性。对新型DGW结构单元进行研究,分析了微扰结构的尺寸对滤波器传输特性的影响,设计并加工了一个DGW双模带通滤波器,仿真及测试结果吻合较好。 展开更多
关键词 缺陷地波导(DGW) 双模 带通滤波器
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基于双模开环谐振器的双频带滤波器设计
9
作者 易康 邢孟江 +2 位作者 侯明 李小珍 代传相 《通信技术》 2020年第5期1290-1293,共4页
基于开环双模谐振器设计了一种双频带通滤波器,由两个中心重合的正方形开口环谐振器组成。分析该谐振器的奇偶模谐振频率与传输零点,每个通带内有两个谐振模式。该滤波器中心频率分别为4.5 GHz和6.5 GHz,3 dB相对带宽FBW分别为11%、5%,... 基于开环双模谐振器设计了一种双频带通滤波器,由两个中心重合的正方形开口环谐振器组成。分析该谐振器的奇偶模谐振频率与传输零点,每个通带内有两个谐振模式。该滤波器中心频率分别为4.5 GHz和6.5 GHz,3 dB相对带宽FBW分别为11%、5%,两通带带内插入损耗分别小于0.6 dB、1.4 dB,带内回波损耗分别优于19.5 dB、16.5 dB,高频处阻带抑制达到50 dB,两通带之间隔离度达到53 dB,尺寸仅为6 mm×11 mm×1.09 mm。 展开更多
关键词 双模谐振器 双频带 带通滤波器 传输零点 插入损耗
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双极化膜片阵列加载方波导带通滤波器的设计
10
作者 汤一铭 薄亚明 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2013年第1期34-38,共5页
采用方波导对称加载周期性金属膜片阵列的结构,设计并研制了一个双极化宽带方波导带通滤波器,分析了膜片高度和加载周期这两个关键参数对滤波器滤波特性的影响,获得7.5~14 GHz上插入损耗小于1 dB的实测通带带宽,阻带范围14.5~16.8 GHz... 采用方波导对称加载周期性金属膜片阵列的结构,设计并研制了一个双极化宽带方波导带通滤波器,分析了膜片高度和加载周期这两个关键参数对滤波器滤波特性的影响,获得7.5~14 GHz上插入损耗小于1 dB的实测通带带宽,阻带范围14.5~16.8 GHz,且阻带衰减最大值达到45 dB,正交双极化之间的极化隔离度大于25 dB。该滤波器可很方便的用于宽频带双极化波导天馈系统。 展开更多
关键词 双极化 膜片加载 方波导 带通滤波器
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基于组合Fabry-Perot膜系的中波红外双色滤光片设计 被引量:9
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作者 蔡渊 周晟 刘定权 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期195-202,共8页
双色滤光片的膜系设计方法有多种,如自动优化设计、缓冲层和组合膜系设计、加厚间隔层的Fabry-Perot(F-P)膜系、双峰结构F-P膜系的多次重复,以及具有分形结构的F-P膜系设计等方法。但它们在特定通道带宽和通道间距要求的膜系设计中... 双色滤光片的膜系设计方法有多种,如自动优化设计、缓冲层和组合膜系设计、加厚间隔层的Fabry-Perot(F-P)膜系、双峰结构F-P膜系的多次重复,以及具有分形结构的F-P膜系设计等方法。但它们在特定通道带宽和通道间距要求的膜系设计中,或者在膜系的工艺可实施性方面存在一定的局限性。运用目标光谱拟合优化后的两个具有增透带的F-P膜系相组合的设计方法,有效解决了较宽通道带宽和较大通道间距的双色滤光片的设计问题。采用Ge和SiO两种材料,利用有限的38层薄膜,在中波红外波段设计出了波形良好的双色滤光片,其两个通道的相对带宽均为9%,两个通道中心波长位置比可以在1.4~5.0的范围内进行调整,通带边缘陡度不大于2.0%。这种膜系结构的双色滤光片具有通带宽度和位置方便调控的特点,并有较强的可实施性。 展开更多
关键词 光学设计 光学薄膜 双色滤光片 膜系设计 法布里-珀罗滤光片 红外滤光片
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LTCC双频带通滤波器小型化设计与研究 被引量:6
12
作者 刘毅 戴永胜 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2016年第6期85-87,共3页
选择用半集总结构搭建两个带通滤波器,通过引入电感电容的方式构建简单的匹配网络,将两个带通滤波器组合成-个双频滤波器.在ADS 软件上对等效电路模型进行仿真,再用仿真软件HFSS 搭建三维电感、电容模型,提取有效元件值进行拟合优化,最... 选择用半集总结构搭建两个带通滤波器,通过引入电感电容的方式构建简单的匹配网络,将两个带通滤波器组合成-个双频滤波器.在ADS 软件上对等效电路模型进行仿真,再用仿真软件HFSS 搭建三维电感、电容模型,提取有效元件值进行拟合优化,最终达成预定技术指标.本款LTCC 双频滤波器第-通带为380~560 MHz,第二通带为1 400~1 800 MHz,产品尺寸为3.2 mm×6.5 mm×2.3 mm. 展开更多
关键词 双频带通滤波器 低温共烧陶瓷 半集总结构 LC匹配网络 小型化 HFSS
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双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌 被引量:5
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作者 陈刚 刘定权 +3 位作者 马冲 王凯旋 张莉 高凌山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第21期206-212,共7页
为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375nm和1610nm,带宽分别为15nm和60nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化... 为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375nm和1610nm,带宽分别为15nm和60nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化。与电子束蒸镀薄膜相比,采用双离子束溅射沉积方法制备的Nb2O5/SiO2滤光片薄膜,其表面质量明显改善,缺陷减少,表面粗糙度均方根降低到1nm以下,显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性。 展开更多
关键词 薄膜 离子束溅射沉积 窄带通滤光片 表面形貌
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中波红外双通道带通滤光片的研制 被引量:4
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作者 王松林 米高园 +4 位作者 张建付 杨崇民 刘青龙 王颖辉 韩俊 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2017年第6期740-744,共5页
采用在单晶锗基底的两面分别设计中波红外带通滤光膜和中波红外负滤光膜的方法,设计了一种光谱性能优良的中波红外双通道带通滤光片。以适当的工艺技术完成了膜层的制备,并测试了实验样片的红外透射率光谱。结果显示,制备的中波红外双... 采用在单晶锗基底的两面分别设计中波红外带通滤光膜和中波红外负滤光膜的方法,设计了一种光谱性能优良的中波红外双通道带通滤光片。以适当的工艺技术完成了膜层的制备,并测试了实验样片的红外透射率光谱。结果显示,制备的中波红外双通道带通滤光片的通带透过率以及截止带截止深度均良好。由实验结果分析可知,镀膜材料蒸发角的变化和各层膜厚误差的累积,是导致实验片的测试光谱在截止带内出现两个较强的次峰,以及中间截止带略微偏移的主要原因。 展开更多
关键词 双通道带通滤光片 中波红外 截止带 透过率
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基于S-DMS的谐波抑制双通带滤波器 被引量:3
15
作者 徐艺 杨曙辉 陈迎潮 《微波学报》 CSCD 北大核心 2016年第1期79-81,85,共4页
在传统微带线结构基础上利用阶跃阻抗并联短截线SISS(Step-Impedance Shunt Stubs)的带阻及慢波抑制特性,提出了一种新的基于SISS缺陷微带线结构S-DMS(SISS Defected Microstrip Structure),利用该结构设计制作了具有谐波抑制功能的双... 在传统微带线结构基础上利用阶跃阻抗并联短截线SISS(Step-Impedance Shunt Stubs)的带阻及慢波抑制特性,提出了一种新的基于SISS缺陷微带线结构S-DMS(SISS Defected Microstrip Structure),利用该结构设计制作了具有谐波抑制功能的双通带滤波器。采用HFSS进行仿真优化,在此基础上进行了实物加工,获得了通带中心频率为3.5 GHz,8.5 GHz,插入损耗分别为0.45 d B,2.7 d B,3 d B带宽分别是550 MHz,260 MHz,带外最大抑制小于-40 d B的实测结果,与仿真结果相当吻合。结果表明该双通带滤波器具有良好的谐波抑制能力、小带内衰减和宽且深的阻带特性。 展开更多
关键词 阶跃阻抗并联短截线 缺陷微带线结构 双通带滤波器
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全天候车载驾驶员监控系统相机设计 被引量:3
16
作者 张宝龙 杜康熙 +2 位作者 刘小凡 梅志远 李丹 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2021年第6期109-116,共8页
为了监控驾驶员的异常驾驶行为,提升驾驶的安全性,设计了一款全天候车载驾驶员监控系统相机。对该相机涉及的RGB-IR CMOS图像传感器、双通道带通滤光片镜头、硬件电路及主动式红外照明等方面进行了研究。首先分析了RGB-IR CMOS图像传感... 为了监控驾驶员的异常驾驶行为,提升驾驶的安全性,设计了一款全天候车载驾驶员监控系统相机。对该相机涉及的RGB-IR CMOS图像传感器、双通道带通滤光片镜头、硬件电路及主动式红外照明等方面进行了研究。首先分析了RGB-IR CMOS图像传感器红外增强特性;其次根据应用场景及适配的图像传感器确定了镜头的设计参数,完成了镜头光学结构设计与优化,并选取了合适的双通道带通滤光片;接着完成了相机硬件电路的整体设计;最后评测了该相机的彩色、红外成像性能及图像在算法中的有效性。实验结果表明,该相机可以实现日间高清彩色成像和夜间高清红外成像,符合车规级性能标准,图像能实现10~15 m长距离传输,另外相机还具有成本低、稳定性高等优势。 展开更多
关键词 驾驶员监控系统 RGB-IR CMOS图像传感器 双通道带通滤光片 主动式红外
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Electromagnetic Band Gap Loaded Square Waveguide Band-Pass Filter for Dual-Polarized Application
17
作者 Yi-Ming Tang 《Wireless Engineering and Technology》 2012年第4期210-213,共4页
An Electromagnetic Band Gap (EBG) loaded square waveguide Band-Pass Filter (BPF) is proposed in this paper. It’s simply composed by symmetrically loading periodical metal diaphragms on each wall of a square waveguide... An Electromagnetic Band Gap (EBG) loaded square waveguide Band-Pass Filter (BPF) is proposed in this paper. It’s simply composed by symmetrically loading periodical metal diaphragms on each wall of a square waveguide. The influences of insert sizes and loading periods on the overall BPF performances are analyzed. Experimental results agree well with those predicted. 6 GHz pass-band with insert loss less than 1 dB, 2.5 GHz stop-band and larger than 25 dB polarization isolation can be obtained. The BPF can be applied in dual-polarized waveguide-based antenna-feed systems. 展开更多
关键词 Electromagnetic band Gap (EBG) band-pass Filter (BPF) dual-Polarized SQUARE Waveguide
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不等长十字形谐振器双频带带通滤波器设计 被引量:2
18
作者 喇东升 关鑫 +2 位作者 李钰莹 李弘诚 郭经纬 《北京邮电大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期27-31,共5页
提出一种简单结构的双频带带通滤波器,由不等长十字形谐振器和平行耦合线馈电结构组成.由于滤波器分布电路具有对称性,首先利用奇偶模分析法对带通滤波器奇偶模输入阻抗、传输零点和传输极点进行分析.所设计的滤波器具有3个传输零点和4... 提出一种简单结构的双频带带通滤波器,由不等长十字形谐振器和平行耦合线馈电结构组成.由于滤波器分布电路具有对称性,首先利用奇偶模分析法对带通滤波器奇偶模输入阻抗、传输零点和传输极点进行分析.所设计的滤波器具有3个传输零点和4个传输极点.传输零点的位置不随阻抗参数的变化而变化.在4个传输极点中,第1个偶模传输极点和第1个奇模传输极点构成了第1个通带,剩下2个传输极点构成了第2个通带.与等长十字形谐振器滤波器相比,该结构多了一个极点.滤波器的通带带宽可以通过调节传输极点位置进行调整.给出了滤波器实物的结构参数,并且利用仿真软件进行仿真优化,得到了滤波器插入损耗和回波损耗的仿真结果.制作和测试了滤波器,给出了测试结果.仿真结果和测试结果基本上一致,验证了设计理论的正确性. 展开更多
关键词 不等长十字形谐振器 双频带带通滤波器 传输极点 传输零点
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基于阶梯阻抗谐振器的双频微带带通滤波器设计 被引量:2
19
作者 李紫怡 杨维明 +2 位作者 朱星宇 彭菊红 张伟 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期360-365,共6页
设计了一种基于1/4波长阶梯阻抗谐振器(SIR)的交叉耦合微带双频带通滤波器,利用SIR终端加载的金属化短路通孔实现K倒置器,利用谐振器之间的级间耦合实现J倒置器,通过相邻谐振器之间的级联耦合和不相邻谐振器之间的交叉耦合,完成了四阶... 设计了一种基于1/4波长阶梯阻抗谐振器(SIR)的交叉耦合微带双频带通滤波器,利用SIR终端加载的金属化短路通孔实现K倒置器,利用谐振器之间的级间耦合实现J倒置器,通过相邻谐振器之间的级联耦合和不相邻谐振器之间的交叉耦合,完成了四阶双频带通滤波器的设计。滤波器两个通带的中心频率分别为3.78GHz和8.69GHz,中心频率比大于2,对应的插入损耗分别为-1.28dB和-2.29dB,带内回波损耗分别为-12.38dB和-25.0dB。测量结果和仿真结果基本吻合,实现了双频带通滤波器的小型化和低损耗。 展开更多
关键词 双频带通滤波器 阶梯阻抗谐振器 K倒置器 J倒置器 交叉耦合
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高透射深宽截止双通带荧光滤光片设计与PARMS镀制 被引量:2
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作者 赵帅锋 吕少波 +4 位作者 王瑞生 姜超 胡雯雯 李明华 穆佳丽 《真空》 CAS 2018年第2期10-13,共4页
以Nb_2O_5和SiO_2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm&BP687nm超多层膜系干涉滤光片。采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设计并模拟镀膜过程,模拟膜厚误差优于±0.1%,并在PARMS镀膜... 以Nb_2O_5和SiO_2为光学镀膜材料设计了可见光区双通带BP561nm&BP687nm超多层膜系干涉滤光片。采用直接光控和速率控制混合的膜厚监控方案,制造工艺采用OMS Simulator设计并模拟镀膜过程,模拟膜厚误差优于±0.1%,并在PARMS镀膜机上进行镀制。制造光谱结果:双通带滤光片波长定位精度均小于±2nm,峰值透过率高于95%,截止区300-950nm背景优于OD6,完全满足荧光检测的成像需求。 展开更多
关键词 PARMS 直接光控 双通带滤光片
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