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提高激光干涉测量系统精度的方法与途径 被引量：15
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作者 齐永岳 赵美蓉 林玉池 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期989-993,共5页
激光干涉系统的测量精度会受到系统本身机械结构及光学元件布局的影响,因此采用了耦合差动干涉的方法,使影响测量精度的各种因素尽量由干涉系统自身予以消除,提高了干涉仪的分辨率和稳定性．利用以Heyde- mann修正模型为基础的误差补偿... 激光干涉系统的测量精度会受到系统本身机械结构及光学元件布局的影响,因此采用了耦合差动干涉的方法,使影响测量精度的各种因素尽量由干涉系统自身予以消除,提高了干涉仪的分辨率和稳定性．利用以Heyde- mann修正模型为基础的误差补偿方法,对干涉信号中存在的非正交误差、不等幅误差及直流电平漂移误差进行了修正．根据多点拟合的原理,提出了减小运算量的新算法．设计了以C8051F005单片机为核心的电路补偿模块,实现了以上3种误差的实时补偿．实验结果表明：通过采取以上措施,该干涉测量系统在10mm的测量范围内取得了10～12nm的测量精度． 展开更多
关键词 激光干涉 测量精度 细分误差 误差补偿
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软质齿轮齿距累积偏差影像法测量 被引量：3
2
作者 许耀东 郑卫 《计量学报》 CSCD 北大核心 2014年第6期550-554,共5页
采用影像法对微小齿轮或软质齿轮齿距累积偏差，进行非接触测量，利用影像测量仪和回转工作台，采用单齿法和跨齿补点法，通过对回转工作台角度转位的分度误差补偿完成测量，提高了绝对法测量数据的合理性。对齿轮安装偏心误差、测量仪... 采用影像法对微小齿轮或软质齿轮齿距累积偏差，进行非接触测量，利用影像测量仪和回转工作台，采用单齿法和跨齿补点法，通过对回转工作台角度转位的分度误差补偿完成测量，提高了绝对法测量数据的合理性。对齿轮安装偏心误差、测量仪器误差和瞄准对齐误差分析，得到单齿法和跨齿补点法齿距累积偏差测量的不确定度分别为＆#177;65μm和＆#177;64μm，均满足测量精度要求。两种方法对被测塑料软质齿轮精度等级判定都为10级。相比来说，跨齿补点法测量次数更少，过程更简化。 展开更多
关键词 计量学 软质齿轮 齿距累积偏差 分度误差补偿 影像法测量 不确定度
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