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可调光衰减器的光衰减量线性补偿 被引量:5
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作者 曹钟慧 晏辉鸣 吴兴坤 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期826-829,共4页
设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器 与传统可调光衰减器相比 ,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节 ,并且可通过器件结构的优化设计 ,对光衰减量的非线性进行补偿 ,最终得到线性衰减 器件性能测试表明 ,插入损耗... 设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器 与传统可调光衰减器相比 ,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节 ,并且可通过器件结构的优化设计 ,对光衰减量的非线性进行补偿 ,最终得到线性衰减 器件性能测试表明 ,插入损耗IL <0 .3dB ,偏振相关损耗PDL <0 .1dB ,波长相关损耗WDL <0 .2dB ,衰减范围 0~ 4 0dB ,回波损耗RL >5 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 可变光衰减器 电磁驱动 微位移驱动器
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