期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到257篇文章
< 1 2 … 13 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
直流射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石碳薄膜的结构及摩擦学性能研究 被引量：22
1
作者 李红轩 徐洮 +2 位作者 陈建敏 周惠娣 刘惠文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期1-5,共5页
利用直流射频等离子增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT型摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度... 利用直流射频等离子增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在UMT-2MT型摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度下的摩擦学性能.结果表明:所制备的类金刚石碳薄膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好的抗磨减摩性能;随着试验载荷与滑动速度的提高,薄膜的摩擦系数降低,耐磨寿命降低;薄膜的减摩抗磨性能同其在Si3N4陶瓷球偶件磨损表面形成的转移膜相关. 展开更多
关键词 直流射频等离子增强化学气相沉积 类金刚石碳薄膜 结构 摩擦学性能
下载PDF
利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究 被引量：17
2
作者 梅显秀 徐军 马腾才 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期1875-1880,共6页
利用强流脉冲离子束技术在Si基体上快速大面积沉积类金刚石 (DLC)薄膜 .电压为 2 5 0kV ,束流密度为2 5 0A·cm- 2 ,脉宽为 80— 10 0ns,能流密度为 5J·cm- 2 的离子束 (主要由碳离子和氢离子组成 )聚焦到石墨靶材上 ,使石墨... 利用强流脉冲离子束技术在Si基体上快速大面积沉积类金刚石 (DLC)薄膜 .电压为 2 5 0kV ,束流密度为2 5 0A·cm- 2 ,脉宽为 80— 10 0ns,能流密度为 5J·cm- 2 的离子束 (主要由碳离子和氢离子组成 )聚焦到石墨靶材上 ,使石墨靶材充分蒸发和电离 ,在石墨靶的法线方向的Si基体上沉积非晶的碳薄膜 .Raman谱分析显示 ,所沉积薄膜为类金刚石薄膜 .随着靶材与基体之间距离的减小 ,薄膜中sp3碳成分含量增加 ,同时硬度值也有所增大 ,并且薄膜的摩擦系数和表面粗糙度增加 .x射线光电子能谱 (XPS)分析显示薄膜中的sp3碳含量为 4 0 %左右 .由扫描电子显微镜和原子力显微镜观察得知 ,薄膜表面比较光滑 ,表面的粗糙度不大 .薄膜显微硬度在 2 0— 30GPa之间 ,薄膜的摩擦系数为 0 16— 0 展开更多
关键词 室温 沉积 强流脉冲离子束 类金刚石薄膜 XPS Raman谱分析
原文传递
相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响 被引量：18
3
作者 王成兵 李红轩 徐洮 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期426-430,共5页
利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜,在球-盘摩擦磨损试验机上考察了相对湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响,利用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪观察和分析其磨损表面形貌和化学状态的变化情况.结果表... 利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜,在球-盘摩擦磨损试验机上考察了相对湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响,利用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪观察和分析其磨损表面形貌和化学状态的变化情况.结果表明,随着相对湿度增加,DLC薄膜的摩擦系数和磨损率增加.这主要是由于薄膜表面氧化作用所致. 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 摩擦磨损性能 相对湿度
下载PDF
类金刚石膜的制备技术及应用领域概况 被引量：18
4
作者 张碧云 曲燕青 +1 位作者 谢红梅 聂朝胤 《表面技术》 EI CAS CSCD 2007年第3期70-73,共4页
简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、... 简要介绍了类金刚石膜的结构,综述了类金刚石膜的传统制备方法以及其制备方法的基本原理和优缺点,同时介绍了几种近年发展起来的新兴制备方法,与传统制备方法相比,它更能提高膜的沉积速率和质量。总结了类金刚石膜在机械、电子、光学、医学、航空等领域的应用状况。同时指出,随着DLC技术上的成熟,其必将在更多领域发挥越来越大的作用。 展开更多
关键词 类金刚石 薄膜 制备 应用 沉积技术
下载PDF
固体-油脂复合润滑Ⅱ:类金刚石(DLC)薄膜在几种空间用油脂润滑下的摩擦学性能 被引量：16
5
作者 郝俊英 王鹏 +1 位作者 刘小强 刘维民 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期217-222,共6页
本文主要探讨了类金刚石（Diamond-like carbon,简称DLC）薄膜在几种空间常用的液体润滑剂如甲基氯苯基硅油（114#润滑油）、氟丙基氯苯基硅油（115#润滑油）、聚α-烯烃[PAO（201）润滑油]、全氟聚醚（Z-25润滑油）以及对应润滑脂KK-4... 本文主要探讨了类金刚石（Diamond-like carbon,简称DLC）薄膜在几种空间常用的液体润滑剂如甲基氯苯基硅油（114#润滑油）、氟丙基氯苯基硅油（115#润滑油）、聚α-烯烃[PAO（201）润滑油]、全氟聚醚（Z-25润滑油）以及对应润滑脂KK-4、KK-5、KK-P（201）和601EF润滑下的摩擦学性能.结果表明：DLC薄膜与试验选用的油脂复合后表现出良好的协同效应.与DLC薄膜相比,其减摩性能得到不同程度的改善,摩擦系数降低2~6倍;其耐磨寿命提高了10多倍,起到了明显的延寿作用. 展开更多
关键词 dlc薄膜 固体-油脂复合润滑 边界润滑 摩擦磨损
下载PDF
基于原子运动模型的类金刚石薄膜生长机理研究 被引量：15
6
作者 马天宝 胡元中 王慧 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期480-486,共7页
利用分子动力学模拟方法,从原子尺度上研究了类金刚石(DLC)薄膜生长过程.按照运动特点把入射原子在表面的行为分为表面冷冻、迁移、注入和反弹等四种,并由此提出原子运动模型.入射原子的表面行为对DLC薄膜的微观结构以及生长方式有重要... 利用分子动力学模拟方法,从原子尺度上研究了类金刚石(DLC)薄膜生长过程.按照运动特点把入射原子在表面的行为分为表面冷冻、迁移、注入和反弹等四种,并由此提出原子运动模型.入射原子的表面行为对DLC薄膜的微观结构以及生长方式有重要影响.其中原子水平迁移是薄膜热弛豫的主要途径,入射原子的注入和迁移行为相互竞争,决定了薄膜生长的模式和最终结构.利用统计分析手段给出了入射能量对原子表面行为进而对薄膜结构的影响,加深了对DLC薄膜生长机理的认识. 展开更多
关键词 dlc膜 分子动力学模拟
原文传递
氮和碳等离子体基离子注入铝合金表面氮化铝/类金刚石碳膜改性层的摩擦学特性 被引量：7
7
作者 廖家轩 夏立芳 孙跃 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期324-329,共6页
对铝合金 L Y12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入 ,从而在铝合金表面形成氮化铝 (Al N) /类金刚石碳膜 (DL C)改性层 .考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性 ;用 X射线光电子能谱仪和小掠射角 X射线衍射仪... 对铝合金 L Y12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入 ,从而在铝合金表面形成氮化铝 (Al N) /类金刚石碳膜 (DL C)改性层 .考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损特性 ;用 X射线光电子能谱仪和小掠射角 X射线衍射仪分析了 Al N/ DL C改性层的成分及相结构 ;用激光 Ram an光谱仪分析了表面单一碳层及磨痕的结构 .结果表明 :Al N/ DL C改性层总厚度达 80 0 nm,最表层为厚 40 0 nm的 DL C薄膜 ,过渡层主要由 Al4C3、β- C3N4、Al2 O3及 Al N等组成 ,注氮层由 Al2 O3和 Al N等组成 ;表面纳米硬度可达 17.4GPa,比 L Y12的硬度高近 10倍 ;在低载荷下 ,改性层的耐磨寿命与 L Y12合金相比提高了约 2 0倍 ,摩擦系数降低了 3～ 5倍 ,耐磨性提高了近 170倍 ;随着滑动载荷的增加 ,其耐磨寿命和摩擦系数逐渐减小 ,而高的承载能力得以保持 .DL C薄膜的耐磨减摩作用、过渡层及注氮层的支撑作用以及 DL 展开更多
关键词 铝合金 等离子体基离子注入 dlc薄膜 摩擦学性能 表面改性
下载PDF
氮化硅陶瓷表面DLC膜的高温摩擦学性能 被引量：11
8
作者 卓会丹 宋宝玉 古乐 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期47-50,F0003,共5页
利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500 nm的类金刚石碳膜(DLC膜)。采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力,分析了不同工作温度下薄膜热应力的大小和分布;利用高温球盘摩擦试验机考察了陶瓷盘表面DLC膜的摩擦磨损特性... 利用离子注入与沉积工艺在氮化硅陶瓷盘表面制备了厚约500 nm的类金刚石碳膜(DLC膜)。采用有限元模型模拟计算了DLC膜的热应力,分析了不同工作温度下薄膜热应力的大小和分布;利用高温球盘摩擦试验机考察了陶瓷盘表面DLC膜的摩擦磨损特性;将表面沉积DLC膜的氮化硅陶瓷球经历不同温度循环后分别装入满装角接触轴承,测试了轴承的滚动摩擦力矩。试验结果表明:在常温到350℃范围内,氮化硅陶瓷表面的DLC膜可降低滑动摩擦因数和轴承的滚动摩擦力矩值,但随着温度的升高,DLC膜的磨损寿命变短。在经历400℃热循环后,陶瓷表面DLC膜在热应力和机械力的共同作用下起皱、脱落,配副摩擦恢复到未镀膜水平。 展开更多
关键词 滚动摩擦 高温 dlc膜 陶瓷
下载PDF
超薄类金刚石膜生长和结构特性的分子动力学模拟 被引量：10
9
作者 马天宝 胡元中 王慧 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期2922-2927,共6页
利用分子动力学模拟方法研究了2—3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程.分析了用来表征沉积后无定型碳膜质量的重要结构特性,如sp3杂化比例、薄膜密度、径向分布函数等,计算结果和现有的实验结果基本一致.不同... 利用分子动力学模拟方法研究了2—3nm厚的类金刚石(DLC)薄膜在金刚石基体(100)表面上的生长过程.分析了用来表征沉积后无定型碳膜质量的重要结构特性,如sp3杂化比例、薄膜密度、径向分布函数等,计算结果和现有的实验结果基本一致.不同入射原子能量对结构特性进而对薄膜性能有重要影响,入射原子能量在20—60eV时,薄膜可以获得最优性能.载能原子入射是生长均匀、连续、致密固体薄膜的前提,稳定的中间区域对于保证薄膜优良的力学性质是必需的. 展开更多
关键词 dlc膜 分子动力学模拟 sp^3杂化比例
原文传递
类金刚石薄膜光学常数的测量方法 被引量：8
10
作者 杭凌侠 徐均琪 李建超 《武汉大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期574-578,共5页
采用椭偏法测量类金刚石(DLC)薄膜的光学常数,分析了DLC薄膜折射率分布情况,提出了DLC薄膜折射率呈渐变分布的概念,建立了采用椭偏法进行DLC薄膜光学常数测量的多层物理模型,分析讨论了实验方法的可行性和测量结果的可靠性.实验结果表明... 采用椭偏法测量类金刚石(DLC)薄膜的光学常数,分析了DLC薄膜折射率分布情况,提出了DLC薄膜折射率呈渐变分布的概念,建立了采用椭偏法进行DLC薄膜光学常数测量的多层物理模型,分析讨论了实验方法的可行性和测量结果的可靠性.实验结果表明:采用该模型进行DLC薄膜光学常数的测量,使拟合误差(MSE)从31.71下降到1.125,提高了测量精度. 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 折射率 测量 模型
下载PDF
Ti合金化DLC膜的结构和力学性能 被引量：5
11
作者 江晓红 陆小华 +1 位作者 Rogachev A.V 金元生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期771-776,共6页
在一台-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比... 在一台-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度显著升高的原因是生成了碳化钛硬化相. 展开更多
关键词 TI 合金化 dlc膜 结构 力学性能 薄膜沉积 钛 类金刚石膜 脉冲等离子体 离子弧
下载PDF
钛合金表面DLC薄膜的制备及其与不同材料配副的摩擦学性能研究 被引量：9
12
作者 孙建芳 唐邕涛 +1 位作者 苏峰华 李助军 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期953-963,共11页
利用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在钛合金TC4表面制备了梯度结构DLC薄膜,并研究了DLC薄膜微观形貌结构、力学性能以及不同对偶球材料(包括4种陶瓷与4种金属材料)对其摩擦学性能的影响.结果表明:所制备的梯度结构DLC薄膜表面相对... 利用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在钛合金TC4表面制备了梯度结构DLC薄膜,并研究了DLC薄膜微观形貌结构、力学性能以及不同对偶球材料(包括4种陶瓷与4种金属材料)对其摩擦学性能的影响.结果表明:所制备的梯度结构DLC薄膜表面相对光滑平坦且与基底结合紧密,具有良好的力学性能;对于陶瓷球/DLC配副,在摩擦过程中由于对偶球硬度较大且耐磨,从而在陶瓷球表面易于形成稳定的碳质转移膜,SiC/DLC、Si_(3)N_(4)/DLC和ZrO_(2)/DLC表现为轻微的磨粒磨损和黏着磨损,而Al_(2)O_(3)球表面的碳元素含量较高使得DLC薄膜虽然发生破损和剥落但其摩擦系数仍保持在较低水平;金属球/DLC与陶瓷/DLC相比较,由于金属对偶球硬度较低,在摩擦过程中碳质转移膜无法稳定地覆盖在金属球,引起较高的摩擦系数,Al/DLC主要表现为严重的磨粒磨损,而Brass/DLC、304SS/DLC和GCr15/DLC主要为轻微的磨粒磨损或黏着磨损;SiC/DLC、ZrO_(2)/DLC、304SS/DLC和GCr15/DLC的DLC薄膜均具有较低的摩擦系数和磨损率且对偶球的磨斑较小,故其为较合理的摩擦副.赫兹接触分析表明,陶瓷/DLC中除了ZrO_(2)/DLC,平均摩擦系数和计算接触半径的变化趋势是一致的,而在金属/DLC中并未发现这一规律. 展开更多
关键词 钛合金 dlc薄膜 对偶球 摩擦磨损 赫兹接触分析
下载PDF
调制比对HiPIMS制备多层DLC薄膜耐腐蚀性能的影响 被引量：9
13
作者 贾昆鹏 王雪 +3 位作者 徐锋 施莉莉 赵延超 左敦稳 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期35-40,共6页
为获得具备优异耐腐蚀性能的类金刚石(DLC)涂层,采用高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)在硅片表面制备软(低sp3含量)硬(高sp3含量)交替多层类金刚石薄膜,探究调制比对薄膜耐腐蚀性能的影响。采用XPS、四探针电阻仪、轮廓仪对薄膜成分、电... 为获得具备优异耐腐蚀性能的类金刚石(DLC)涂层,采用高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)在硅片表面制备软(低sp3含量)硬(高sp3含量)交替多层类金刚石薄膜,探究调制比对薄膜耐腐蚀性能的影响。采用XPS、四探针电阻仪、轮廓仪对薄膜成分、电阻率、残余应力进行检测分析,通过电化学测试获得多层DLC薄膜的极化曲线。结果表明:相较于低衬底偏压(-25 V)下沉积的纯软DLC薄膜,高衬底偏压(-75 V)下沉积的纯硬DLC薄膜sp3含量明显升高;纯软薄膜电阻率为100.53 kΩ·cm,纯硬DLC薄膜电阻率高达1585.21 kΩ·cm,电阻率随着硬膜厚度的增加而增加;薄膜中残余应力随着调制比(软∶硬)的减小而上升,纯硬DLC薄膜残余应力为0.943 GPa,而纯软薄膜残余应力仅为0.095 GPa。电化学试验结果显示,调制比为1∶2的多层DLC薄膜自腐蚀电位为-0.014 V,自腐蚀电流密度为36.6 n A/cm2,具有相对最佳的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 dlc薄膜 软硬交替 调制比 电阻率 残余应力 耐腐蚀性
下载PDF
类金刚石碳膜(DLC)的制备和性能及其在工具和模具中的应用 被引量：6
14
作者 朱怀义 《新技术新工艺》 2005年第8期25-28,共4页
类金刚石碳膜(DLC)有极优良的性能,与金刚石膜(DF)类似。已有很多的应用。简 介了DLC膜的结构,性能,实用的制备方法及其在工具和模具等领域中的应用。
关键词 dlc薄膜 特性 应用 工具 模具
下载PDF
类金刚石薄膜在腐蚀介质中的摩擦磨损行为研究 被引量：8
15
作者 苟成学 王顺花 +2 位作者 尚伦霖 张广安 吴志国 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期172-179,共8页
目的在304不锈钢表面制备DLC薄膜,并探究其在1 mol/L NaOH、3.5%NaCl、1 mol/L H2SO4溶液中的摩擦磨损行为。方法通过非平衡磁控溅射设备(UPD650)制备DLC薄膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪,对DLC薄膜的微观结构及磨斑、磨痕进行表... 目的在304不锈钢表面制备DLC薄膜,并探究其在1 mol/L NaOH、3.5%NaCl、1 mol/L H2SO4溶液中的摩擦磨损行为。方法通过非平衡磁控溅射设备(UPD650)制备DLC薄膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪,对DLC薄膜的微观结构及磨斑、磨痕进行表征。使用划痕仪和纳米压痕仪,分别测试DLC薄膜的结合力、硬度和弹性模量。使用接触角测量仪测试1 mol/L NaOH、3.5%NaCl、1 mol/L H2SO4溶液和去离子水在304不锈钢和DLC薄膜表面的润湿角。采用CSM摩擦试验机研究304不锈钢和DLC薄膜的摩擦磨损行为。利用动电位极化评价304不锈钢和DLC薄膜的耐腐蚀性能。结果304不锈钢表面制备的薄膜厚度约1.95μm,结合力为37 N左右,硬度和弹性模量分别约为14.7 GPa和191.1 GPa。DLC薄膜在1 mol/L NaOH溶液中的摩擦系数高达0.18,而在3.5%NaCl、1 mol/L H2SO4溶液和去离子水中的摩擦系数低至0.05左右。在1 mol/L NaOH、3.5%NaCl、1 mol/L H2SO4溶液中,DLC薄膜的磨损率比304不锈钢的小2、3个数量级。极化测试结果显示,DLC薄膜在不同介质中的腐蚀电流密度顺序为1 mol/L H2SO4<3.5%NaCl<1 mol/L NaOH。结论沉积的DLC薄膜具有良好的机械性能和耐腐蚀性能,能够很好地改善304不锈钢在1 mol/L NaOH、3.5%NaCl、1 mol/L H2SO4溶液中的摩擦磨损性能。 展开更多
关键词 304不锈钢 dlc薄膜 腐蚀介质 摩擦磨损 耐腐蚀性
下载PDF
偏压对DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响 被引量：8
16
作者 刘长鑫 李璐璐 +2 位作者 王少峰 杨庆祥 周野飞 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期141-147,161,共8页
目的通过调节偏压,改善无氢DLC薄膜的微观结构,提高其力学性能和减摩抗磨性能。方法采用离子束辅助增强磁控溅射系统,沉积不同偏压工艺的DLC薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌,采用拉曼光谱仪对薄膜的微观结构进行分析,采用... 目的通过调节偏压,改善无氢DLC薄膜的微观结构,提高其力学性能和减摩抗磨性能。方法采用离子束辅助增强磁控溅射系统,沉积不同偏压工艺的DLC薄膜。采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌,采用拉曼光谱仪对薄膜的微观结构进行分析,采用纳米压痕仪测试薄膜硬度及弹性模量,采用表面轮廓仪测定薄膜沉积前/后基体曲率变化,并计算薄膜的残余应力,采用大载荷划痕仪分析薄膜与不锈钢基体的结合力,采用TRB球-盘摩擦磨损试验机评价薄膜的摩擦学性能,采用白光共聚焦显微镜测量薄膜磨痕轮廓,并计算薄膜的磨损率。结果偏压对DLC薄膜表面形貌、微观结构、力学性能、摩擦学性能都有不同程度的影响。偏压升高导致碳离子能量升高,表面粗糙度呈现先减小后增加的趋势,-400V的薄膜表面具有最小的表面粗糙度且C─C sp^3键含量最多,这也导致了此偏压下薄膜的硬度最大。薄膜的结合性能与碳离子能量大小呈正相关,-800 V时具有3.98 N的最优结合性能。不同偏压工艺制备的薄膜摩擦系数随湿度的增加,均呈现减小的趋势,偏压为-400V时,薄膜在不同湿度环境中均显示出最优的摩擦学性能。结论偏压为-400 V时,DLC薄膜综合性能最优,其表面粗糙度、硬度、结合力和摩擦系数分别为2.5 nm、17.1 GPa、2.81 N和0.11。 展开更多
关键词 dlc薄膜 磁控溅射沉积 偏压 微观结构 耐磨性
下载PDF
脉冲真空电弧离子镀在不锈钢上沉积类金刚石薄膜的研究 被引量：8
17
作者 周顺 严一心 《真空》 CAS 北大核心 2005年第4期15-18,共4页
利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的结合强度.结果表明:所镀制的薄膜具有典型类金刚石... 利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的结合强度.结果表明:所镀制的薄膜具有典型类金刚石结构特征,膜中ID/IG为1.33;摩擦系数随着载荷的增大而减小,载荷为5 N,转速120 r/min时的摩擦系数为0.12;Ti过渡层的引入显著地提高了膜基结合力。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 脉冲电弧 摩擦系数 不锈钢
下载PDF
金属-类金刚石薄膜研究进展 被引量：5
18
作者 谷坤明 汤皎宁 +1 位作者 李均钦 杨钦鹏 《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS 北大核心 2007年第2期159-165,共7页
类金刚石膜中的金属粒子可缓解类金刚石薄膜中由于制备态产生大内应力而导致的膜厚受限这一矛盾,能显著改变薄膜各种性能.述评了金属-类金刚石薄膜的制备工艺、不同金属粒子对DLC薄膜形态、键结构、力学及摩擦磨损性能、物理化学性能等... 类金刚石膜中的金属粒子可缓解类金刚石薄膜中由于制备态产生大内应力而导致的膜厚受限这一矛盾,能显著改变薄膜各种性能.述评了金属-类金刚石薄膜的制备工艺、不同金属粒子对DLC薄膜形态、键结构、力学及摩擦磨损性能、物理化学性能等的影响,指出在金属粒子对DLC膜的力学及摩擦学性能的影响方面还有很多待确定的因素. 展开更多
关键词 dlc膜 含金属碳膜 Me—dlc 薄膜改性 薄膜应力缓解
下载PDF
MoS_2基复合润滑薄膜的制备及其摩擦性能 被引量：8
19
作者 陈玮 张晔 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期47-49,共3页
采用磁控溅射法在不锈钢基体上制备了MoS2/Ni复合润滑薄膜,研究了添加DLC(类金刚石薄膜)中间层对于MoS2/Ni复合薄膜的影响,探讨了复合润滑薄膜的减摩机理;使用EDS与XRD测定了复合薄膜的主要成分和物相结构,使用多功能摩擦试验机测定了... 采用磁控溅射法在不锈钢基体上制备了MoS2/Ni复合润滑薄膜,研究了添加DLC(类金刚石薄膜)中间层对于MoS2/Ni复合薄膜的影响,探讨了复合润滑薄膜的减摩机理;使用EDS与XRD测定了复合薄膜的主要成分和物相结构,使用多功能摩擦试验机测定了薄膜的摩擦因数。结果表明:复合薄膜的主要成分为MoS2和Ni;薄膜中主要晶面为平行于基面的(002)晶面;复合薄膜的摩擦因数在0.06~0.18之间变化,且在高速重载的环境下具有更低的摩擦因数和更高的摩擦稳定性;中间层的加入进一步降低了复合薄膜的摩擦因数,达到0.04左右。 展开更多
关键词 复合润滑薄膜 磁控溅射 类金刚石薄膜 摩擦因数
下载PDF
薄膜光学常数的模拟退火算法研究 被引量：5
20
作者 李建超 苏俊宏 《光学与光电技术》 2005年第1期58-60,共3页
在薄膜的光学参数拟合时,操作者给定的模型初值对拟合结果有很大的关系。采用广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法来求解薄膜光学常数,降低了操作者给定拟合模型初值的要求。通过对常规的模拟退火算法以及非常快速的模拟退火方... 在薄膜的光学参数拟合时,操作者给定的模型初值对拟合结果有很大的关系。采用广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法来求解薄膜光学常数,降低了操作者给定拟合模型初值的要求。通过对常规的模拟退火算法以及非常快速的模拟退火方法(Very Fast Stimulated Annealing,VFSA)分析,针对性地在模型扰动及退火计划上存在的缺陷作了改进,提高了 VFSA 算法的计算稳健性。通过大量的拟合实践,验证了提出的改进模拟退火方法的有效性。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 光学常数 模拟退火算法
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 13 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部