期刊文献+
共找到11篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
铜铟硫薄膜的固态硫化法制备及其性能研究 被引量:6
1
作者 查杉 元金石 +1 位作者 张弓 庄大明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期63-66,共4页
采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In预制膜,并采用固态源蒸发硫化方法制备CuInS2薄膜。考察了硫源温度对CuInS2薄膜性能的影响。采用扫描电镜(SEM)和X射线能量色散谱仪(EDS)分别观察了薄膜的表面形貌和分析了薄膜的成分,采用X射线衍射(X... 采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In预制膜,并采用固态源蒸发硫化方法制备CuInS2薄膜。考察了硫源温度对CuInS2薄膜性能的影响。采用扫描电镜(SEM)和X射线能量色散谱仪(EDS)分别观察了薄膜的表面形貌和分析了薄膜的成分,采用X射线衍射(XRD)表征了薄膜的组织结构。结果表明,在硫源温度处于280℃到360℃范围之内时,制备的CuInS2薄膜都具有单一的黄铜矿型结构,颗粒均匀,晶粒大小约为1μm。 展开更多
关键词 太阳能电池 cuins2薄膜 固态源蒸发硫化 硫源温度
下载PDF
CuInS_2薄膜的单源热蒸发制备及其性能研究 被引量:1
2
作者 王震东 莫晓亮 陈国荣 《真空》 CAS 北大核心 2011年第1期29-32,共4页
本文以烧结合成的CuInS2粉末为原料,采用单源热蒸发技术在玻璃基底上沉积CuInS2薄膜。随着退火温度的升高,薄膜的结晶性能增强,表现出高度的(112)晶面择优取向,SEM观察显示:350℃退火后,薄膜致密,晶粒细小,大小为数十纳米。同时,热探针... 本文以烧结合成的CuInS2粉末为原料,采用单源热蒸发技术在玻璃基底上沉积CuInS2薄膜。随着退火温度的升高,薄膜的结晶性能增强,表现出高度的(112)晶面择优取向,SEM观察显示:350℃退火后,薄膜致密,晶粒细小,大小为数十纳米。同时,热探针测试发现:薄膜的导电类型为弱N型。光学性能方面,当退火温度高于250℃时,CuInS2薄膜的禁带宽度为1.50 eV,接近吸收太阳光谱所需的理想禁带宽度值。 展开更多
关键词 cuins2粉末 真空烧结 cuins2薄膜 单源热蒸发
下载PDF
硫分压对光吸收层CuInS_2薄膜性能的影响 被引量:2
3
作者 阎有花 刘迎春 +3 位作者 方玲 卢志超 周少雄 李正邦 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期838-841,共4页
在不同硫分压r(r=Sn/[N2+Sn])下,采用Cu-In预制膜硫化法制备了CuInS2薄膜。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、霍尔测试仪、紫外-可见光分光光度计对薄膜的表面形貌、结构、电学、光学性能进行了表征分析。结果表明:随着r增加,薄膜的结晶... 在不同硫分压r(r=Sn/[N2+Sn])下,采用Cu-In预制膜硫化法制备了CuInS2薄膜。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、霍尔测试仪、紫外-可见光分光光度计对薄膜的表面形貌、结构、电学、光学性能进行了表征分析。结果表明:随着r增加,薄膜的结晶质量提高,当r=1/2时,晶粒大小如一,粒度保持在1μm左右,沿[112]晶向择优生长,载流子浓度为5.6×1016cm-3,光学带隙在1.53eV左右。 展开更多
关键词 cuins2薄膜 硫化法 硫分压 微结构
下载PDF
Influence of post-grown treatments on CuInS_2 thin films prepared by sulphurization of Cu-In films 被引量:2
4
作者 YAN Youhua LIU Yingchun FANG Ling ZHAO Haihua LI Deren LU Zhichao ZHOU Shaoxiong 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第5期490-495,共6页
Polycrystalline CuInS2 (CIS) films were prepared by sulphurization of Cu-In films. The surface morphology and phase composition of the as-grown film, the KCN-etched film, and the annealed KCN-etched film were invest... Polycrystalline CuInS2 (CIS) films were prepared by sulphurization of Cu-In films. The surface morphology and phase composition of the as-grown film, the KCN-etched film, and the annealed KCN-etched film were investigated. During the sulphurization, the secondary CuxS phase segregated on the surface of the as-grown films. To improve the crystalline quality of CuInS2 films, a series of post-grown treatments, such as KCN-etching and vacuum annealing KCN-etched films, were performed on the as-grown films. Both as-grown and post-treated films were characterized by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), and energy dispersive spectroscopy (EDS). The results indicated that a CuxS secondary phase segregated on the surface of the as-grown film, which could be removed effectively by KCN etching. After the vacuum annealing treatment, the KCN-etched film had a sphalerite structure with (112) preferred orientation. Meanwhile, the crystalline quality of the CIS film was significantly improved, which provided a novel method to improve the performance of thin film solar cells. 展开更多
关键词 solar energy cuins2 thin film KCN etching annealing treatment sulphurization
下载PDF
硫化时间对CuInS_2薄膜微结构的影响 被引量:1
5
作者 夏冬林 徐俊 +1 位作者 刘俊 雷盼 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期20-23,共4页
采用磁控溅射技术在镀Mo玻璃基片上沉积Cu-In金属预制膜后在N2气氛下硫化制备CuInS2薄膜。研究热处理硫化时间对CuInS2薄膜的表面形貌和晶相结构性能的影响。利用场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱等测试手段对薄膜的... 采用磁控溅射技术在镀Mo玻璃基片上沉积Cu-In金属预制膜后在N2气氛下硫化制备CuInS2薄膜。研究热处理硫化时间对CuInS2薄膜的表面形貌和晶相结构性能的影响。利用场发射扫描电镜(FE-SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱等测试手段对薄膜的表面形貌和晶相结构进行表征。实验结果表明,采用磁控溅射金属预制膜经适当的时间硫化所制备的CuInS2薄膜为黄铜矿结构,随着硫化时间的增加,CuInS2薄膜的晶粒的形貌由球形结构向片状结构转化,并且硫化时间越长,所得薄膜的结晶性能越好,但过长的硫化时间会生成Cu-Au相而导致薄膜质量的劣化。 展开更多
关键词 磁控溅射 cuins2薄膜 固态源硫化法 微观结构
下载PDF
热处理对CuInS_2薄膜导电类型及光学特性的影响 被引量:1
6
作者 和江变 李健 董斌华 《真空》 CAS 2013年第5期9-13,共5页
真空蒸发在载玻片上沉积CuInS2薄膜(Cu、In、S原子配比为1:0.1:1.2)。摸索CuInS2薄膜发生导电类型转换最有效的热处理条件,研究不同热处理工艺对CuInS2薄膜的结构、表面形貌、化学成分比和光学性能的影响。实验给出:沉积的薄膜进行360... 真空蒸发在载玻片上沉积CuInS2薄膜(Cu、In、S原子配比为1:0.1:1.2)。摸索CuInS2薄膜发生导电类型转换最有效的热处理条件,研究不同热处理工艺对CuInS2薄膜的结构、表面形貌、化学成分比和光学性能的影响。实验给出:沉积的薄膜进行360℃热处理30 min后,得到黄铜矿结构的CuInS2薄膜;SEM分析显示薄膜表面呈颗粒状较平整致密性略差,导电类型为N型,薄膜的本征吸收限为1.46eV,直接光学带隙Eg=1.38 eV。对薄膜进行370℃热处理20 min同样可得到N型CuInS2但含有少量的CuS2成分,薄膜表面致密性变好但粗糙度增大,本征吸收限发生红移为1.42 eV,Eg=1.40 eV。370℃,30 min热处理后可得到P型CuInS2薄膜,Eg=1.37 eV。制备的三种CuInS2薄膜的光吸收系数都在104cm-1数量级以上。CuInS2薄膜中In或Cu元素含量大小,对薄膜的导电类型的变化起着决定性的作用,而薄膜中S和In元素的变化直接取决于热处理的条件。 展开更多
关键词 真空蒸发 热处理 cuins2薄膜 导电类型 光学特性
下载PDF
n型CuInS_2薄膜的制备及特性 被引量:1
7
作者 蒋西 李健 董斌华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期377-382,共6页
将高纯Cu,In和S粉末按1:0.1:1.2(原子个数比)配比混合均匀,热蒸发沉积CuInS2薄膜,再将薄膜进行热处理。研究热处理工艺对薄膜性能和导电类型转换的影响。本研究制备的薄膜经360℃,30 min的热处理,得到n型、黄铜矿结构的CuInS2薄膜,平均... 将高纯Cu,In和S粉末按1:0.1:1.2(原子个数比)配比混合均匀,热蒸发沉积CuInS2薄膜,再将薄膜进行热处理。研究热处理工艺对薄膜性能和导电类型转换的影响。本研究制备的薄膜经360℃,30 min的热处理,得到n型、黄铜矿结构的CuInS2薄膜,平均晶粒尺寸29.43 nm。经370℃,20 min热处理的CuInS2薄膜也呈n型,平均晶粒尺寸38.23 nm。霍尔效应测试显示上述两种n型CuInS2薄膜的导电性良好,迁移率分别为1.071 cm2/V·s和53.82 cm2/V·s。能谱分析给出,CuInS2薄膜(360℃)体内原子个数比Cu:In:S=1:1.2:1.6,S元素损失较多。CuInS2薄膜(370℃,20 min)的原子个数比为1:0.8:1.4,S和In元素的含量较少;扫描电子显微镜给出薄膜表面呈颗粒状,随热处理温度增加,薄膜表面的致密性变好但粗糙度增大,370℃,30 min热处理后CuInS2的晶相结构不变,导电类型转为p型,迁移率为1.071 cm2/V·s。 展开更多
关键词 单源共蒸发 热处理工艺 cuins2薄膜 电学特性 导电类型
下载PDF
CuInS_2薄膜的溶胶-凝胶法制备与性能研究 被引量:1
8
作者 夏冬林 张兴良 +3 位作者 宋明霞 石正忠 王慧芳 刘俊 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第21期1-4,共4页
采用溶胶-凝胶法,以CuCl2.2H2O和InCl3.4H2O为阳离子反应物,硫脲为硫源,去离子水为溶剂在玻璃衬底上制备CuInS2薄膜,在Ar气氛条件下400℃退火1 h。利用XRD衍射仪、扫描电子显微镜、NKD-7000 W光学薄膜分析系统等现代测试手段,研究了不... 采用溶胶-凝胶法,以CuCl2.2H2O和InCl3.4H2O为阳离子反应物,硫脲为硫源,去离子水为溶剂在玻璃衬底上制备CuInS2薄膜,在Ar气氛条件下400℃退火1 h。利用XRD衍射仪、扫描电子显微镜、NKD-7000 W光学薄膜分析系统等现代测试手段,研究了不同反应物Cu/In/S摩尔比对薄膜的晶相结构、表面形貌和光学性能的影响。结果表明:所制备的CuInS2薄膜为黄铜矿结构,沿(112)面择优取向生长。反应物Cu/In/S摩尔配比为1.5∶1∶6所生长的CuInS2薄膜晶粒尺寸分布均匀,表面平整致密。CuInS2薄膜的光学带隙宽度在1.97~2.05 eV范围内变化。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 cuins2薄膜 晶体结构 表面形貌 光学性能
原文传递
Characterization of CuInS_2 thin films prepared by sulfurization of Cu-In precursor 被引量:1
9
作者 阎有花 刘迎春 +5 位作者 方玲 朱景森 赵海花 李德仁 卢志超 周少雄 《中国有色金属学会会刊:英文版》 EI CSCD 2008年第5期1083-1088,共6页
CuInS2 thin films were prepared by sulfurization of Cu-In precursors.The influences of the deposition sequence of Cu and In layers,such as Cu/In,Cu/In/In,and In/Cu/In,on structure,topography,and optical properties of ... CuInS2 thin films were prepared by sulfurization of Cu-In precursors.The influences of the deposition sequence of Cu and In layers,such as Cu/In,Cu/In/In,and In/Cu/In,on structure,topography,and optical properties of CuInS2 thin films were investigated.X-ray diffraction results show that the deposition sequence of Cu and In layers affects the crystalline quality of CuInS2 films.Atomic force microstructure images reveal that the grain size and surface roughness are related to the deposition sequence used.When the deposition sequence of precursor is In/Cu/In,the CuInS2 thin films show a single-phase chalcopyrite structure with (112) preferred orientation.The surface morphology of CIS films is uniform and compacted.The absorption coefficient is larger than 104 cm-1 with optical band gap Eg close to 1.4 eV. 展开更多
关键词 铜铟薄膜 前体 沉积层序 金属学
下载PDF
单源共蒸法制备CuInS_2薄膜及特性分析
10
作者 李云 李健 谢俊叶 《真空》 CAS 2012年第6期39-43,共5页
将单质Cu、In和S粉末按一定比例均匀混合,单源共蒸发沉积CuInS2薄膜。氮气保护对薄膜进行热处理。研究不同热处理条件对薄膜表面形貌、化学组分及电学特性的影响。XRD分析给出直接沉积的CuInS2薄膜为黄铜矿结构,整体性能较差。经400℃、... 将单质Cu、In和S粉末按一定比例均匀混合,单源共蒸发沉积CuInS2薄膜。氮气保护对薄膜进行热处理。研究不同热处理条件对薄膜表面形貌、化学组分及电学特性的影响。XRD分析给出直接沉积的CuInS2薄膜为黄铜矿结构,整体性能较差。经400℃、20 min热处理后,CuInS2薄膜特性得到明显的改善,导电类型呈P型,体内元素化学计量比Cu:In:S=1:0.9:1.5接近标准值,Cu含量略多,电阻率为4.8×10-2Ω.cm,薄膜的直接光学带隙1.42 eV,光吸收系数105cm-1。440℃、10 min热处理的薄膜,晶相结构没变但导电类型转为N型,元素化学计量比Cu:In:S=1:2.3:0.8,In元素过量,电阻率为1.3×10-2Ω.cm,光吸收系数104cm-1,直接光学带隙1.39 eV。 展开更多
关键词 cuins2薄膜 单源共蒸发 热处理 特性分析
下载PDF
Cu_7In_3前驱膜制备(112)择优取向CuInS_2薄膜 被引量:1
11
作者 阎有花 刘迎春 +4 位作者 方玲 赵海花 李德仁 卢志超 周少雄 《物理测试》 CAS 2008年第2期1-4,共4页
为考察具有Cu_7In_3相结构的Cu-In前驱膜对CuInS_2薄膜微结构的影响,采用电沉积法制备了Cu-In薄膜,并对制备态Cu-In薄膜在380℃进行真空退火处理制备Cu_7In_3前驱膜。采用硫化法对制备态Cu-In薄膜和Cu_7In_3薄膜进行硫化处理制备了CIS... 为考察具有Cu_7In_3相结构的Cu-In前驱膜对CuInS_2薄膜微结构的影响,采用电沉积法制备了Cu-In薄膜,并对制备态Cu-In薄膜在380℃进行真空退火处理制备Cu_7In_3前驱膜。采用硫化法对制备态Cu-In薄膜和Cu_7In_3薄膜进行硫化处理制备了CIS薄膜。结果表明,两种前驱膜经硫化处理均在表面生成Cu_xS偏析相,经KCN刻蚀处理发现以Cu_7In_3为前驱膜制备的CuInS_2薄膜高质量结晶,具有(112)择优取向,适合于制备CIS薄膜太阳能电池吸收层。 展开更多
关键词 太阳电池 Cu-In前驱膜 cuins2薄膜 Cu7In3相 KCN刻蚀
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部