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TDR系列晶体生长设备速度跑合系统
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作者 田召 《电子工业专用设备》 2008年第2期15-17,共3页
主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点。本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求,提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市... 主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点。本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求,提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市场的需要。 展开更多
关键词 坩埚速度系统跑合 籽晶速度系统跑合 操作装置 检测报警装置 晶体生长设备
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