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激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展 被引量:21
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作者 宗楠 胡蔚敏 +5 位作者 王志敏 王小军 张申金 薄勇 彭钦军 许祖彦 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期28-42,共15页
半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜... 半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。 展开更多
关键词 13.5 nm极紫外光刻技术 激光等离子体 极紫外光源 转换效率 光源碎屑 预脉冲激光
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激光等离子体极紫外光刻光源 被引量:16
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作者 窦银萍 孙长凯 林景全 《中国光学》 EI CAS 2013年第1期20-33,共14页
研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目... 研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑。文中同时概述了6.x nm(6.5~6.7 nm)极紫外光刻光源的最新研究工作。最后,介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩模缺陷检测方面开展的研究工作。 展开更多
关键词 极紫外光刻 激光等离子体 极紫外光源 转换效率
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Conversion efficiency of strained type-Ⅱ core/shell quantum dot solar cell
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作者 MENG Mei-wen SHI Lei 《Optoelectronics Letters》 EI 2019年第5期343-346,共4页
In this study, the conversion efficiency(CE) of a core/shell quantum dot(QD) with type-II structure is studied by the detailed balance model. In particular, a size dependent strain effect caused by the lattice mismatc... In this study, the conversion efficiency(CE) of a core/shell quantum dot(QD) with type-II structure is studied by the detailed balance model. In particular, a size dependent strain effect caused by the lattice mismatch is considered since the CE under the detailed balance model is strongly dependent on the band gap of materials. The results show that the strain effect has a very important influence on the CE, and the multiple exction generation(MEG) can significantly increase the CE, so it must be considered in such a low-dimensional system. 展开更多
关键词 conversion efficiency(ce) QUANTUM dot(QD) multiple exction generation(MEG)
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