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题名基于双稳态机制的低g值微加速度开关
被引量：1
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作者
慕昆
于海鹏
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机构
河南工程学院计算机学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014年第6期16-18,26,共4页
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文摘
设计了一种包含双稳态机制的低g值加速度开关,并采用了MEMS中的多层微电铸技术进行加工。该微加速度开关具有体积小,响应阈值精确,响应速度快,具有闭合保持功能等优点。微加速度开关的结构包括双稳态柔性悬臂梁,可移动质量块和固定触点,其中双稳态柔性悬臂梁的宽度、厚度和长度分别是28.0μm、25.0μm和5 150.0μm.由于使用了非线性双稳态机制,因此可以通过更加精确的模型来设计加速度开关的触发阈值。经过多次试验表明:器件的触发的加速度阈值是(32.6±0.2)g,可移动质量块的行程距离是530μm,并且开关在闭合后具有保持功能。
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关键词
微加速度开关
低g值
MEMS
双稳态柔性梁
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Keywords
micro acceleration switch
low value g
MEMS
bistable flexible beam
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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