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大尺寸熔石英采样光栅的研究进展
被引量：
2
1
作者
刘颖
刘正坤
+6 位作者
邱克强
饶欢乐
蒋晓龙
陈火耀
徐向东
洪义麟
付绍军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期2896-2901,共6页
综述了近五年来为神光装置研制大口径熔石英采样光栅所取得的主要进展。提出了大尺寸采样光栅的化学机械抛光技术,将全息光刻-离子束刻蚀的430mm口径采样光栅的采样效率均匀性控制在均方根值低于5%,满足了采样光栅的设计要求。针对采样...
综述了近五年来为神光装置研制大口径熔石英采样光栅所取得的主要进展。提出了大尺寸采样光栅的化学机械抛光技术,将全息光刻-离子束刻蚀的430mm口径采样光栅的采样效率均匀性控制在均方根值低于5%,满足了采样光栅的设计要求。针对采样光栅的阈值特性,利用二次离子质谱技术,定量表征了采样光栅制备过程中引入的污染及其清洗效果,优化、发展了采样光栅的清洗方法。探索了基于氢氟酸和感应耦合等离子体刻蚀的熔石英基底处理技术,结合干湿法处理技术来去除熔石英光栅基底的亚表面损伤。为进一步提升采样光栅抗激光辐射损伤特性,提出将发展大尺寸熔石英采样光栅的氢氟酸处理方法及具有亚波长减反光栅结构的采样光栅的制备方法。
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关键词
熔石英
采样光栅
采样效率
激光损伤阈值
亚表面损伤
抛光
刻蚀
综述
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职称材料
误差扩散法设计用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件
2
作者
张怡霄
姚欣
+1 位作者
高福华
郭永康
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期1788-1792,共5页
针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法。给出了...
针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法。给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅-光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较。结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%。
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关键词
集成光学
误差扩散
灰阶编码
色分离光栅(CSG)
光束采样光栅(
bsg
)
惯性约束聚变驱动器
原文传递
题名
大尺寸熔石英采样光栅的研究进展
被引量：
2
1
作者
刘颖
刘正坤
邱克强
饶欢乐
蒋晓龙
陈火耀
徐向东
洪义麟
付绍军
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
杭州电子科技大学生命信息与仪器工程学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心工程光学部
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期2896-2901,共6页
基金
国家重大专项资助项目
中国科学院知识创新工程重要方向项目(No.GY2011053005)
+1 种基金
国家自然科学基金资助项目(No.10975139)
安徽省科技攻关项目(No.131015195)
文摘
综述了近五年来为神光装置研制大口径熔石英采样光栅所取得的主要进展。提出了大尺寸采样光栅的化学机械抛光技术,将全息光刻-离子束刻蚀的430mm口径采样光栅的采样效率均匀性控制在均方根值低于5%,满足了采样光栅的设计要求。针对采样光栅的阈值特性,利用二次离子质谱技术,定量表征了采样光栅制备过程中引入的污染及其清洗效果,优化、发展了采样光栅的清洗方法。探索了基于氢氟酸和感应耦合等离子体刻蚀的熔石英基底处理技术,结合干湿法处理技术来去除熔石英光栅基底的亚表面损伤。为进一步提升采样光栅抗激光辐射损伤特性,提出将发展大尺寸熔石英采样光栅的氢氟酸处理方法及具有亚波长减反光栅结构的采样光栅的制备方法。
关键词
熔石英
采样光栅
采样效率
激光损伤阈值
亚表面损伤
抛光
刻蚀
综述
Keywords
fused
silica
beam
sampling
grating
（
bsg
）
sampling
efficiency
laser-induced
damage
threshold
subsurface
damage
polishing
etching
review
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
TN305.2 [理学—光学]
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职称材料
题名
误差扩散法设计用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件
2
作者
张怡霄
姚欣
高福华
郭永康
机构
四川大学物理系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期1788-1792,共5页
基金
国家自然科学基金-中国工程物理研究院联合基金(10376019)资助课题
文摘
针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法。给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅-光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较。结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%。
关键词
集成光学
误差扩散
灰阶编码
色分离光栅(CSG)
光束采样光栅(
bsg
)
惯性约束聚变驱动器
Keywords
integrated
optics
error
diffusion
gray-tone
coding
color-separation
grating
beam
-
sampling
grating
（
bsg
）
inertial
confinement
fusion
driver
分类号
TL632.1 [核科学技术—核技术及应用]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大尺寸熔石英采样光栅的研究进展
刘颖
刘正坤
邱克强
饶欢乐
蒋晓龙
陈火耀
徐向东
洪义麟
付绍军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
下载PDF
职称材料
2
误差扩散法设计用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件
张怡霄
姚欣
高福华
郭永康
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
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