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被釉BeO基片薄膜电阻器的设计和制备
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作者 张鹏 杨传仁 +3 位作者 曾理 陈宏伟 杨俊峰 张继华 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第3期540-542,共3页
基于被釉BeO陶瓷基片设计并制备了DC-20GHz薄膜电阻器。HFSS软件仿真结果表明,在该频率范围内,所设计薄膜电阻器的电压驻波比(VSWR)均小于1.2。利用射频磁控溅射法和光刻工艺在被玻璃釉平整化改性过的BeO基片上制备了所设计的薄膜电阻... 基于被釉BeO陶瓷基片设计并制备了DC-20GHz薄膜电阻器。HFSS软件仿真结果表明,在该频率范围内,所设计薄膜电阻器的电压驻波比(VSWR)均小于1.2。利用射频磁控溅射法和光刻工艺在被玻璃釉平整化改性过的BeO基片上制备了所设计的薄膜电阻器。测试结果和仿真结果的对比表明,BeO基片表面的玻璃釉层并不会对电阻器的微波性能造成明显的不良影响。 展开更多
关键词 薄膜电阻器 TaN薄膜 玻璃釉 beo陶瓷基片 射频磁控溅射
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