减反膜制备工艺及其应用 被引量：9

1

作者 罗海燕 黄光周 +2 位作者 马国欣 朱建明 戴晋福 《真空电子技术》 2009年第3期23-29,共7页

减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶-凝胶法等。并... 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶-凝胶法等。并提出了相应的改进方法,分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景,为减反膜的制备提供了参考。 展开更多

关键词 减反膜 制备工艺 反射率 透射率

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红外接收用PIN硅光电探测器研究 被引量：6

2

作者 张明 费诵秋 《电子与封装》 2013年第2期37-40,共4页

PN二极管是一种常用的光电探测器,其中PIN光电二极管因其体积小、噪声低、响应速度快、光谱响应性能好等特点已作为一个标准件广泛应用于红外遥控接收领域。文章基于半导体材料的光吸收特性和光电效率转换原理,同时结合减反射膜理论,对... PN二极管是一种常用的光电探测器,其中PIN光电二极管因其体积小、噪声低、响应速度快、光谱响应性能好等特点已作为一个标准件广泛应用于红外遥控接收领域。文章基于半导体材料的光吸收特性和光电效率转换原理,同时结合减反射膜理论,对PIN光电二极管进行研究,通过衬底材料的合理选择,对减反射膜折射率及厚度进行对比实验,验证了SiN膜层较SiO2膜有着更为良好的减反射效果,可以有效提升光敏器件的光电转换效率,同条件下器件的光生电流得到提升,为今后光电器件的生产、开发应用提供了参考。 展开更多

关键词 PIN光电二极管 响应度 光吸收 抗反射膜

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多孔SiO_2膜的制备和增透性能研究 被引量：7

3

作者 王贺 魏长平 +2 位作者 彭春佳 李丛昱 程果 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期411-415,共5页

采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO2薄膜,研究了陈化时间和旋涂速度对SiO2膜增透性能的影响,利用热分析仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分解过程、晶体结构、微观形貌... 采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO2薄膜,研究了陈化时间和旋涂速度对SiO2膜增透性能的影响,利用热分析仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分解过程、晶体结构、微观形貌、透过率和折射率进行表征。结果表明:膜层透过率与制备条件有一定的规律,随着陈化时间的延长和旋涂速度的增加,增透峰中心波长发生了移动。在最佳工艺条件下,制备的SiO2薄膜具有较好的增透性能,在玻璃上镀SiO2增透膜后,峰值透过率(300～1000 nm)由90%提高到95%,其膜厚为315 nm,折射率为1.352,孔隙率为27%,进一步提高了可见光利用率。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶 SIO2 多孔 增透膜

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具有陷光结构的半透明有机/铜锌锡硫硒四端串联太阳能电池

4

作者 周慧 郑巧 《光电子技术》 CAS 2024年第2期127-132,共6页

采用半透明有机太阳能电池和铜锌锡硫硒太阳能电池构成四端串联太阳能器件,并且利用表面具有微型金字塔结构的微米聚二甲基硅氧烷(PS-PDMS)膜的减反射作用来提高太阳能电池的效率。为了研究PS-PDMS的尺寸和放置位置对四端串联太阳能电... 采用半透明有机太阳能电池和铜锌锡硫硒太阳能电池构成四端串联太阳能器件,并且利用表面具有微型金字塔结构的微米聚二甲基硅氧烷(PS-PDMS)膜的减反射作用来提高太阳能电池的效率。为了研究PS-PDMS的尺寸和放置位置对四端串联太阳能电池性能的影响。制备了尺寸分别为18μm、14μm和9μm微型金字塔结构的PS-PDMS薄膜,比较了不同尺寸下PS-PDMS薄膜的减反射效果,发现9μm尺寸的PS-PDMS薄膜的减反射效果最好。将9μm尺寸的PS-PDMS薄膜用在四端串联太阳能电池的底电池时,四端串联太阳能电池具有最佳效率。最终获得了效率为11.26%的四端串联太阳能电池。与单结铜锌锡硫硒太阳能电池相比,四端串联太阳能电池的最佳效率提高了27.51%。 展开更多

关键词 半透明有机太阳能电池 铜锌锡硫硒太阳能电池 四端串联太阳能电池 陷光结构 减反射薄膜

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基于ZrO_(2)-SiO_(2)和介孔SiO_(2)凝胶膜制备可见光区双层减反射膜

5

作者 汪文文 肖志葳 +3 位作者 邓志文 贾红宝 王颖 朱世海 《辽宁科技大学学报》 CAS 2024年第1期75-80,共6页

采用溶胶-凝胶法,以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料,在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶,Zr摩尔分数为20%~80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜,所得ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜折射率在1.55~1.75之间可调。以有序介孔... 采用溶胶-凝胶法,以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料,在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶,Zr摩尔分数为20%~80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜,所得ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜折射率在1.55~1.75之间可调。以有序介孔SiO_(2)薄膜为外层,选择与之匹配的ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜为内层,构建λ/4~λ/2双层宽谱带减反射涂层。根据实际膜层的光学常数进行双层膜的优化设计,成功制备出在可见光区平均透射率达到99.17%的双层减反射薄膜。 展开更多

关键词 ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶 溶胶-凝胶法 原位混合 减反射膜

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变角度3～5μm红外消偏振增透膜的设计 被引量：5

6

作者 高晓丹 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第3期187-190,共4页

基于红外探测器对红外增透膜的变角度使用需求,分析了入射角度改变对薄膜偏振效应的影响。通常会采用各种措施来减小这种偏振效应的影响,但基本上只能在单一入射角度较窄波段范围内实现消偏振。根据设计要求在所设计的初始膜系的基础上... 基于红外探测器对红外增透膜的变角度使用需求,分析了入射角度改变对薄膜偏振效应的影响。通常会采用各种措施来减小这种偏振效应的影响,但基本上只能在单一入射角度较窄波段范围内实现消偏振。根据设计要求在所设计的初始膜系的基础上,运用TFCalc膜系设计软件采用梯度法和Needle法综合优化设计了3～5μm宽波段红外增透膜。分析了该设计膜系在入射角为0°～60°的范围内所对应的p偏振光和s偏振光的透射光谱曲线,并模拟了膜厚改变2%对设计膜系透射率曲线的影响,实现了宽角度宽波段红外消偏振增透膜的设计。 展开更多

关键词 薄膜 增透膜 消偏振 膜系 优化设计

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SiO_2静电自组装增透膜光学性质的研究 被引量：4

7

作者 许丕池 李小甫 +1 位作者 余海湖 姜德生 《光学与光电技术》 2003年第1期61-64,共4页

采用HC1与NH_3·H_2O分步催化制各了SiO_2胶体,在同一终点pH值下可得到不同的粒度。用静电自组装法制备了PDDA/SiO_2有机/无机多层复合光学增透薄膜。用TFM测试了薄膜的微观结构,用721分光光度计监测了薄膜的透射率,研究了薄膜的光... 采用HC1与NH_3·H_2O分步催化制各了SiO_2胶体,在同一终点pH值下可得到不同的粒度。用静电自组装法制备了PDDA/SiO_2有机/无机多层复合光学增透薄膜。用TFM测试了薄膜的微观结构,用721分光光度计监测了薄膜的透射率,研究了薄膜的光学性能随薄膜层数及波长的变化。 展开更多

关键词 SIO2 溶胶 静电自组装 增透膜

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石英基底上可见光区减反射涂层的双层膜系设计 被引量：1

8

作者 魏栋 靳志勇 +1 位作者 贾红宝 朱世海 《大学物理实验》 2023年第2期26-30,共5页

针对石英光学基底合理设计多层膜系是提高光学器件透射率的关键方法。设计了两种不同的膜系结构,运用导纳轨迹法分析这两种膜系的设计原理。利用光学薄膜设计软件Filmstar分别得到两种膜系的最优解,以使在可见光区膜系的平均透射率尽可... 针对石英光学基底合理设计多层膜系是提高光学器件透射率的关键方法。设计了两种不同的膜系结构,运用导纳轨迹法分析这两种膜系的设计原理。利用光学薄膜设计软件Filmstar分别得到两种膜系的最优解,以使在可见光区膜系的平均透射率尽可能接近于100%。 展开更多

关键词 filmstar 减反射膜 膜系设计 导纳轨迹法 溶胶-凝胶法

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溶胶-凝胶法MgF2紫外增透膜的制备和性能研究 被引量：4

9

作者 崔延霞 张磊 +5 位作者 徐耀 吴东 孙予罕 吕海兵 王海军 蒋晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期401-405,共5页

采用溶胶-凝胶法,以醋酸镁和氟化氢为原料,以甲醇为溶剂制备了MgF2溶胶,利用浸渍提拉法在洁净石英基片上镀膜,考察了反应温度对溶胶微结构、薄膜结构和性能的影响。样品采用激光动态光散射、透射电镜、X射线粉体衍射仪、紫外-可见光谱... 采用溶胶-凝胶法,以醋酸镁和氟化氢为原料,以甲醇为溶剂制备了MgF2溶胶,利用浸渍提拉法在洁净石英基片上镀膜,考察了反应温度对溶胶微结构、薄膜结构和性能的影响。样品采用激光动态光散射、透射电镜、X射线粉体衍射仪、紫外-可见光谱仪、原子力显微镜进行表征。结果表明:通过该方法制备的表面平整的低折射率MgF2薄膜,在紫外区具有很好的增透性能,同时在紫外波长355 nm激光的辐照下(脉宽6ns),薄膜具有较高的抗激光损伤性能,激光损伤阈值达10.85 J.cm-2。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶法 增透膜 MGF2 激光损伤

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SiO_2/TiO_2减反膜系的制备和性能测试 被引量：4

10

作者 王曦雯 何晓雄 胡佳宝 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期496-498,551,共4页

由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625nm... 由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625nm波段具有明显的增透效果,在520nm处有98%的透过率。 展开更多

关键词 减反射薄膜 磁控溅射 制备工艺 薄膜性能

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触摸式手机面板制造的新进展 被引量：3

11

作者 王承遇 《玻璃与搪瓷》 CAS 2015年第1期34-37,6,共5页

评述触摸式手机面板玻璃的成分与性质,离子交换工艺,抗菌涂层,抗反射膜涂层以及离子注入改性的发展。指出超薄可弯曲玻璃以及蓝宝石一玻璃所组成的叠层材料是今后面板的发展趋势。

关键词 手机面板玻璃 玻璃成分 离子交换 离子注入 抗菌涂层 抗反射膜

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碳化硼薄膜的激光法制备及性能 被引量：3

12

作者 王淑云 陆益敏 +4 位作者 刘旭 黄国俊 郭延龙 万强 田方涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期895-897,共3页

采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率... 采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率、纳米硬度及膜层与衬底的结合性能进行了测试。结果表明:Si,Ge衬底单面镀碳化硼薄膜后最高透过率提高10%以上,纳米硬度提高到未镀膜的3倍以上,且膜层与衬底有较好的结合性能,表明制备的碳化硼薄膜可对光学材料起到较好的增透保护作用。 展开更多

关键词 激光沉积 碳化硼薄膜 透过率 硬度 增透膜

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热处理温度对静电自组装PDDA/SiO_2光学薄膜的影响 被引量：2

13

作者 许丕池 余海湖 +2 位作者 何方方 卢忠远 康明 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期10-13,共4页

以正硅酸乙酯(EthylSilicate,TEOS)为原料,乙醇为溶剂,NH3·H2O为催化剂,制备了胶粒带负电荷的SiO2溶胶。在低折射率(1.45)的玻璃基片上用静电自组装(ElectrostaticSelfassemblyMultiplayer,ESAM)法制备了带正电荷的聚电解质聚二烯... 以正硅酸乙酯(EthylSilicate,TEOS)为原料,乙醇为溶剂,NH3·H2O为催化剂,制备了胶粒带负电荷的SiO2溶胶。在低折射率(1.45)的玻璃基片上用静电自组装(ElectrostaticSelfassemblyMultiplayer,ESAM)法制备了带正电荷的聚电解质聚二烯丙基二甲基氯化铵PDDA与SiO2的有机/无机复合层状薄膜。然后对其进行热处理,研究了不同温度热处理对薄膜结构、组成、折射率、机械强度、激光损伤阈值以及光学性能的影响。得到了经520℃热处理后折射率为1.27、激光损伤阈值为68J/cm2、520nm处的透光率为99.0%、抗机械损伤强度大的SiO2光学增透薄膜。但最大的透光率是400℃热处理后520nm处的透光率为99.2%。 展开更多

关键词 SiO2 静电自组装 热处理 增透膜

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新型减反屏蔽膜系的模拟设计 被引量：2

14

作者 胡俊涛 吕国强 +3 位作者 陆红波 胡跃辉 冯奇斌 高伟清 《现代显示》 2009年第3期43-47,共5页

为解决航空条件下复杂外界环境对液晶显示器的各种干扰,本文设计了一种新型减反屏蔽膜系结构,将ITO透明导电膜层作为减反膜系中的一层,使膜系在达到减反效果的同时还具有屏蔽功能,大大降低了ITO作为屏蔽膜层单独使用时在可见光部分的剩... 为解决航空条件下复杂外界环境对液晶显示器的各种干扰,本文设计了一种新型减反屏蔽膜系结构,将ITO透明导电膜层作为减反膜系中的一层,使膜系在达到减反效果的同时还具有屏蔽功能,大大降低了ITO作为屏蔽膜层单独使用时在可见光部分的剩余反射率。通过TFCalc光学膜系设计软件进行模拟,结果表明该膜系结构在可见光部分的剩余反射率明显下降,其中最优膜系的平均剩余反射率为0.43%,面电阻率达到11.8Ω/□,使得液晶显示器在航空环境条件下的工作性能有了显著提高。 展开更多

关键词 减反射膜系 屏蔽膜层 氧化铟锡 液晶显示器

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颗粒污染诱导薄膜元件产生激光损伤 被引量：2

15

作者 章春来 姚春梅 向霞 《中国科学：技术科学》 EI CSCD 北大核心 2016年第9期970-974,共5页

采用Nd:YAG单纵模调Q激光器,研究了溶胶-凝胶SiO_2薄膜表面颗粒污染对激光辐照损伤的影响.实验表明当膜面存在颗粒时,激光破坏阈值明显降低.尤其是前表面颗粒,最容易诱导损伤,损伤斑中央处基底的烧蚀很严重,且伴有环状变化.从损伤形貌来... 采用Nd:YAG单纵模调Q激光器,研究了溶胶-凝胶SiO_2薄膜表面颗粒污染对激光辐照损伤的影响.实验表明当膜面存在颗粒时,激光破坏阈值明显降低.尤其是前表面颗粒,最容易诱导损伤,损伤斑中央处基底的烧蚀很严重,且伴有环状变化.从损伤形貌来看,污染后的薄膜更容易出现场致损伤和基底破坏.为了深入研究这一现象,采用了电磁波时域有限差分(FDTD)法对减反射薄膜表面的颗粒污染进行了模拟研究.结果表明,前表面颗粒的调制强度要大得多.颗粒污染诱导的调制最强区位于基底一侧一个波长内,容易诱发损伤.在元件体内,光强呈衰减趋势,在3倍波长深度后逐渐趋于稳定.颗粒物诱导激光损伤问题的量化,可为亚表面缺陷的检测和控制提供依据. 展开更多

关键词 高功率激光 熔石英 颗粒污染 减反射膜

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黑色羊毛织物增深技术研究 被引量：1

16

作者 吴倩眉 周奥佳 阎克路 《毛纺科技》 CAS 北大核心 2015年第9期32-35,共4页

研究使用3种具有不同折射率的增深剂,采用多步浸轧法对黑色羊毛织物进行增深处理,获得了比一步浸轧法更为显著的增深效果。采用两步法、三步法浸轧处理,可使黑色羊毛织物的表面亮度L值较一步浸轧处理样分别降低13%和16%。结合增深处理... 研究使用3种具有不同折射率的增深剂,采用多步浸轧法对黑色羊毛织物进行增深处理,获得了比一步浸轧法更为显著的增深效果。采用两步法、三步法浸轧处理,可使黑色羊毛织物的表面亮度L值较一步浸轧处理样分别降低13%和16%。结合增深处理后羊毛纤维的表面状态,从光学角度对多步浸轧处理带来显著增深效果的机理进行初步探讨。 展开更多

关键词 增深 羊毛 低折射率树脂 增透膜

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用势透射率的概念设计诱导透射滤光片 被引量：1

17

作者 孙平 《应用光学》 CAS CSCD 1994年第3期16-21,共6页

从势透射率的概念出发，首先从理论上确定诱导透射滤光片金属膜层的厚度。然后介绍诱导透射滤光片的一般设计方法。该方法适合于紫外、可见及红外各个波段，间隔层可选；取任意材料。还对带宽压缩和背景抑制进行研究，并介绍几种有实用... 从势透射率的概念出发，首先从理论上确定诱导透射滤光片金属膜层的厚度。然后介绍诱导透射滤光片的一般设计方法。该方法适合于紫外、可见及红外各个波段，间隔层可选；取任意材料。还对带宽压缩和背景抑制进行研究，并介绍几种有实用价值的方法。 展开更多

关键词 诱导透射 滤光片 势透射率 减反射膜

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一步法制备减反射疏水型透明薄膜

18

作者 马英 曹新宇 江雷 《石油化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期836-840,共5页

以聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯为原料,在不使用低表面能物质的条件下,采用一步法制备出具有纳米多孔粗糙结构的、具有减反射性的疏水型透明薄膜(简称纳米多孔薄膜)。原子力显微镜观察结果显示,纳米多孔薄膜表面的所有微观结构尺寸均小于... 以聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯为原料,在不使用低表面能物质的条件下,采用一步法制备出具有纳米多孔粗糙结构的、具有减反射性的疏水型透明薄膜(简称纳米多孔薄膜)。原子力显微镜观察结果显示,纳米多孔薄膜表面的所有微观结构尺寸均小于40 nm,远远小于可见光波长。与玻璃基板相比,涂有纳米多孔薄膜的玻璃基板的透光率可由91%左右提高到98%左右,减反射效果显著;纳米多孔薄膜与水的接触角为125°,表现出良好的疏水性。纳米多孔微观结构形成后,不仅实现了减反射,且提高了纳米多孔薄膜表面的疏水性。 展开更多

关键词 聚甲基丙烯酸甲酯 聚苯乙烯 一步法 减反射 疏水型透明薄膜 纳米多孔微观结构

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GaAs太阳电池中减反射薄膜的梯度折射率调控

19

作者 吴昊 涂洁磊 +4 位作者 杨宇羽 谢雨岑 杨艳云 徐章洋 张琪鑫 《云南师范大学学报（自然科学版）》 2024年第2期13-17,共5页

使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300... 使用溶胶凝胶法制备了TiO_(2)和SiO_(2)两种材料,结合梯度折射率的结构设计将不同比例的TiO_(2)/SiO_(2)沉积在GaAs太阳能电池上实现宽带减反射效果,最终制备的6层减反射薄膜在200~1 800 nm的波长范围内平均反射率为8.7%,同时确定了300℃的退火温度和1 000μm/s的提拉速度为制备薄膜的最佳工艺条件. 展开更多

关键词 溶胶凝胶 梯度折射率 宽带减反射膜

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248nm纳秒激光沉积类金刚石增透保护膜的工艺研究 被引量：5

20

作者 万强 陆益敏 +3 位作者 米朝伟 韦尚方 田方涛 程勇 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2015年第9期329-333,共5页

激光沉积的类金刚石膜是红外窗口增透保护膜的极佳选择。采用波长248 nm的纳秒脉冲激光沉积硅基底类金刚石膜,研究了不同脉冲能量对膜层光学性能、机械硬度及内应力等工程应用参数的影响。实验发现,随着准分子激光脉冲能量的提高,类金... 激光沉积的类金刚石膜是红外窗口增透保护膜的极佳选择。采用波长248 nm的纳秒脉冲激光沉积硅基底类金刚石膜,研究了不同脉冲能量对膜层光学性能、机械硬度及内应力等工程应用参数的影响。实验发现,随着准分子激光脉冲能量的提高,类金刚石膜样品的红外透射率和表面硬度逐步提高,表明高能量有利于沉积光学级类金刚石保护膜;但同时,膜层的内应力也随着激光脉冲能量的提高而增大,不利于膜层在基底上的附着,需要采用其他技术和工艺消除内应力过大的问题。分析结果为纳秒脉冲激光沉积类金刚石膜的研究提供了实践基础。 展开更多

关键词 薄膜 脉冲激光沉积 类金刚石膜 增透保护膜 纳秒激光

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