光纤通信系统用减反膜的研究 被引量：5

1

作者 张晓晖 丁双红 《海军工程大学学报》 CAS 2003年第3期23-26,共4页

针对WDM光纤通信系统对具有极高透过率的光学薄膜元件的需要,系统地研究了增透膜的设计与镀制.采用统计实验求总极值法和Powell最小二乘法相结合的多级优化方法编制程序,完成了以BK7玻璃为基底的增透膜的膜系设计,采用多种监控方法完成... 针对WDM光纤通信系统对具有极高透过率的光学薄膜元件的需要,系统地研究了增透膜的设计与镀制.采用统计实验求总极值法和Powell最小二乘法相结合的多级优化方法编制程序,完成了以BK7玻璃为基底的增透膜的膜系设计,采用多种监控方法完成了此类非规整膜系的镀制实验.测试结果表明,采用变过正量极值法监控非规整膜系的镀制,可精确控制各层膜的光学厚度,获得在1550nm波段附近具有很高透过率的光学薄膜元件. 展开更多

关键词 光纤通信系统 减反膜 光学薄膜元件 非规整膜系设计 透过率 镀制方法 晶振监控 极值法监控 二氧化硅

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808nm激光器端面镀膜技术 被引量：2

2

作者 唐婷婷 王锐 +1 位作者 刘刚明 廖柯 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期167-169,共3页

通过对AlGaAs/GaAs 808 nm半导体激光器谐振腔的前后端面分别蒸镀Ta2O5/SiO2膜系高反膜和Al2O3单层增透膜,使得前后端面的反射率分别达到11%和98.42%。器件在同一驱动电流下镀膜后的输出功率比镀膜前增加了一倍多,同时镀膜还有效地保护... 通过对AlGaAs/GaAs 808 nm半导体激光器谐振腔的前后端面分别蒸镀Ta2O5/SiO2膜系高反膜和Al2O3单层增透膜,使得前后端面的反射率分别达到11%和98.42%。器件在同一驱动电流下镀膜后的输出功率比镀膜前增加了一倍多,同时镀膜还有效地保护了端面,延长了器件工作寿命。 展开更多

关键词 高反膜 增透膜 反射率 输出功率

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太阳电池制造过程中的测试工艺 被引量：1

3

作者 袁镇 贺立龙 《现代电子技术》 2007年第12期186-188,共3页

太阳能电池是把太阳能转化为电能的装置,一般的太阳能电池是用半导体材料制成的。按照晶体硅太阳电池制造的工艺流程,对太阳电池制造过程中各工序之间的测试项目进行了介绍。同时,介绍了各测试项目的测试设备、测试原理以及测试过程。

关键词 太阳电池 绒面 扩散 减反射膜

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常用光学薄膜的应用分析 被引量：3

4

作者 丁相午 《机械管理开发》 2007年第3期63-63,65,共2页

经对薄膜理论的分析,说明了常见光学仪器上膜层色彩纷呈的原因和实际作用,纠正了某些人群对膜系功能的认知错误。

关键词 光学仪器 增透薄膜 增反薄膜 光谱区域

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空气隙型格兰泰勒棱镜斜面减反射膜的设计 被引量：1

5

作者 郝殿中 王庆 +2 位作者 夏云杰 吴福全 宋连科 《曲阜师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2009年第4期59-60,65,共3页

为了提高空气隙型格兰泰勒棱镜的透射率,改善其使用性能,针对空气隙型格兰泰勒棱镜出射偏振光的特点,利用合适的光学薄膜材料,借助于薄膜设计软件,设计了棱镜斜面增透膜,633nm处单面的剩余反射率由3.365662%降低到0.000009%,并且在579-6... 为了提高空气隙型格兰泰勒棱镜的透射率,改善其使用性能,针对空气隙型格兰泰勒棱镜出射偏振光的特点,利用合适的光学薄膜材料,借助于薄膜设计软件,设计了棱镜斜面增透膜,633nm处单面的剩余反射率由3.365662%降低到0.000009%,并且在579-686nm范围内剩余反射率均小于0.009%.采用Al2O3做过渡层,既增加了薄膜和晶体的附着性能又使目标波长处的光谱更加平坦.讨论了入射角度和薄膜的光学厚度对剩余反射率的影响;薄膜的厚度误差控制在±8%以内,剩余反射率小于0.05% 展开更多

关键词 薄膜光学 薄膜 格兰泰勒棱镜 减反射膜

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可见光区三层减反射膜的设计

6

作者 梁厚蕴 杜军 夏志华 《汕头大学学报（自然科学版）》 1997年第1期75-78,88,共5页

本文通过对可见光区减反射薄膜材料的选择和设计，采用计算机模拟，找出了在３５０～７５０ｎｍ范围内具有最好光谱中性的减反射膜系ＳｉＯ２ＴｉＯ２ＳｉＯ２玻璃基底。

关键词 减反射薄膜 可见光区 计算机模拟 设计 薄膜

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离子束辅助沉积(IAD)镀制抗电磁干扰与减反射复合薄膜 被引量：1

7

作者 杨伟声 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期75-78,共4页

在K9玻璃基底上将两种物理性能完全不同的薄膜形成组合膜系层,实现了抗电磁干扰、高透光的效果。技术指标为:在400nm-1100nm宽波段范围平均透光率不低于90%;为达到良好的抗电磁干扰屏蔽效果,抗电磁屏蔽其方块电阻值为4±0.5Ω/口。... 在K9玻璃基底上将两种物理性能完全不同的薄膜形成组合膜系层,实现了抗电磁干扰、高透光的效果。技术指标为:在400nm-1100nm宽波段范围平均透光率不低于90%;为达到良好的抗电磁干扰屏蔽效果,抗电磁屏蔽其方块电阻值为4±0.5Ω/口。为满足设计技术指标要求,计算设计了抗电磁干扰与减反射复合膜系结构,进行了镀膜工艺实验。实验结果表明,通过采用离子束辅助沉积工艺技术,可改善光学薄膜的微观结构,进而提高了复合薄膜的光学、物理性能和膜层的稳定性。 展开更多

关键词 离子束辅助沉积(IAD) 抗电磁干扰镀层 减反射薄膜 复合薄膜

原文传递

减反膜制备工艺及其应用 被引量：9

8

作者 罗海燕 黄光周 +2 位作者 马国欣 朱建明 戴晋福 《真空电子技术》 2009年第3期23-29,共7页

减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶-凝胶法等。并... 减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶-凝胶法等。并提出了相应的改进方法,分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景,为减反膜的制备提供了参考。 展开更多

关键词 减反膜 制备工艺 反射率 透射率

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红外接收用PIN硅光电探测器研究 被引量：6

9

作者 张明 费诵秋 《电子与封装》 2013年第2期37-40,共4页

PN二极管是一种常用的光电探测器,其中PIN光电二极管因其体积小、噪声低、响应速度快、光谱响应性能好等特点已作为一个标准件广泛应用于红外遥控接收领域。文章基于半导体材料的光吸收特性和光电效率转换原理,同时结合减反射膜理论,对... PN二极管是一种常用的光电探测器,其中PIN光电二极管因其体积小、噪声低、响应速度快、光谱响应性能好等特点已作为一个标准件广泛应用于红外遥控接收领域。文章基于半导体材料的光吸收特性和光电效率转换原理,同时结合减反射膜理论,对PIN光电二极管进行研究,通过衬底材料的合理选择,对减反射膜折射率及厚度进行对比实验,验证了SiN膜层较SiO2膜有着更为良好的减反射效果,可以有效提升光敏器件的光电转换效率,同条件下器件的光生电流得到提升,为今后光电器件的生产、开发应用提供了参考。 展开更多

关键词 PIN光电二极管 响应度 光吸收 抗反射膜

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多孔SiO_2膜的制备和增透性能研究 被引量：7

10

作者 王贺 魏长平 +2 位作者 彭春佳 李丛昱 程果 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期411-415,共5页

采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO2薄膜,研究了陈化时间和旋涂速度对SiO2膜增透性能的影响,利用热分析仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分解过程、晶体结构、微观形貌... 采用溶胶-凝胶结合旋转涂膜法在玻璃基底上制备SiO2薄膜,研究了陈化时间和旋涂速度对SiO2膜增透性能的影响,利用热分析仪、X射线衍射仪、红外光谱仪、扫描电镜、分光光度计、椭偏仪等方法分别对干凝胶的热分解过程、晶体结构、微观形貌、透过率和折射率进行表征。结果表明:膜层透过率与制备条件有一定的规律,随着陈化时间的延长和旋涂速度的增加,增透峰中心波长发生了移动。在最佳工艺条件下,制备的SiO2薄膜具有较好的增透性能,在玻璃上镀SiO2增透膜后,峰值透过率(300～1000 nm)由90%提高到95%,其膜厚为315 nm,折射率为1.352,孔隙率为27%,进一步提高了可见光利用率。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶 SIO2 多孔 增透膜

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具有陷光结构的半透明有机/铜锌锡硫硒四端串联太阳能电池

11

作者 周慧 郑巧 《光电子技术》 CAS 2024年第2期127-132,共6页

采用半透明有机太阳能电池和铜锌锡硫硒太阳能电池构成四端串联太阳能器件,并且利用表面具有微型金字塔结构的微米聚二甲基硅氧烷(PS-PDMS)膜的减反射作用来提高太阳能电池的效率。为了研究PS-PDMS的尺寸和放置位置对四端串联太阳能电... 采用半透明有机太阳能电池和铜锌锡硫硒太阳能电池构成四端串联太阳能器件,并且利用表面具有微型金字塔结构的微米聚二甲基硅氧烷(PS-PDMS)膜的减反射作用来提高太阳能电池的效率。为了研究PS-PDMS的尺寸和放置位置对四端串联太阳能电池性能的影响。制备了尺寸分别为18μm、14μm和9μm微型金字塔结构的PS-PDMS薄膜,比较了不同尺寸下PS-PDMS薄膜的减反射效果,发现9μm尺寸的PS-PDMS薄膜的减反射效果最好。将9μm尺寸的PS-PDMS薄膜用在四端串联太阳能电池的底电池时,四端串联太阳能电池具有最佳效率。最终获得了效率为11.26%的四端串联太阳能电池。与单结铜锌锡硫硒太阳能电池相比,四端串联太阳能电池的最佳效率提高了27.51%。 展开更多

关键词 半透明有机太阳能电池 铜锌锡硫硒太阳能电池 四端串联太阳能电池 陷光结构 减反射薄膜

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基于ZrO_(2)-SiO_(2)和介孔SiO_(2)凝胶膜制备可见光区双层减反射膜

12

作者 汪文文 肖志葳 +3 位作者 邓志文 贾红宝 王颖 朱世海 《辽宁科技大学学报》 CAS 2024年第1期75-80,共6页

采用溶胶-凝胶法,以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料,在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶,Zr摩尔分数为20%~80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜,所得ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜折射率在1.55~1.75之间可调。以有序介孔... 采用溶胶-凝胶法,以正丙醇锆、正硅酸四乙酯为原料,在乙醇体系中以原位混合方式成功制备ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶,Zr摩尔分数为20%~80%。在熔融石英基底上镀制混合凝胶膜,所得ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜折射率在1.55~1.75之间可调。以有序介孔SiO_(2)薄膜为外层,选择与之匹配的ZrO_(2)-SiO_(2)薄膜为内层,构建λ/4~λ/2双层宽谱带减反射涂层。根据实际膜层的光学常数进行双层膜的优化设计,成功制备出在可见光区平均透射率达到99.17%的双层减反射薄膜。 展开更多

关键词 ZrO_(2)-SiO_(2)混合溶胶 溶胶-凝胶法 原位混合 减反射膜

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变角度3～5μm红外消偏振增透膜的设计 被引量：5

13

作者 高晓丹 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第3期187-190,共4页

基于红外探测器对红外增透膜的变角度使用需求,分析了入射角度改变对薄膜偏振效应的影响。通常会采用各种措施来减小这种偏振效应的影响,但基本上只能在单一入射角度较窄波段范围内实现消偏振。根据设计要求在所设计的初始膜系的基础上... 基于红外探测器对红外增透膜的变角度使用需求,分析了入射角度改变对薄膜偏振效应的影响。通常会采用各种措施来减小这种偏振效应的影响,但基本上只能在单一入射角度较窄波段范围内实现消偏振。根据设计要求在所设计的初始膜系的基础上,运用TFCalc膜系设计软件采用梯度法和Needle法综合优化设计了3～5μm宽波段红外增透膜。分析了该设计膜系在入射角为0°～60°的范围内所对应的p偏振光和s偏振光的透射光谱曲线,并模拟了膜厚改变2%对设计膜系透射率曲线的影响,实现了宽角度宽波段红外消偏振增透膜的设计。 展开更多

关键词 薄膜 增透膜 消偏振 膜系 优化设计

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蓝宝石基底可见光/激光/中红外多光谱窗口薄膜研究 被引量：5

14

作者 官庆 廖林炜 《光学与光电技术》 2017年第6期66-72,共7页

研究了一种以蓝宝石为基底的可见光/激光/中红外"三光合一"窗口保护型硬质增透膜。首先开展了蓝宝石基底无吸收型硬质氧化物膜层的制备及其工艺最优化的研究,同时基于离子源工艺参数与反应气体流量的控制实现一种中波无吸收... 研究了一种以蓝宝石为基底的可见光/激光/中红外"三光合一"窗口保护型硬质增透膜。首先开展了蓝宝石基底无吸收型硬质氧化物膜层的制备及其工艺最优化的研究,同时基于离子源工艺参数与反应气体流量的控制实现一种中波无吸收的低折射率Si_(1-x)O_x膜层,从而实现了全氧化物膜系在中红外波段上的应用。以此为基础,对蓝宝石基底可见光/激光/中红外三波段窗口膜系进行了优化设计与沉积仿真研究。经过大量镀制实验与工艺改进,最终制备出光学与机械性能良好的"三光合一"窗口薄膜,可见光至中红外波段上的平均透过率达到95%以上。镀膜样品一次性通过高低温试验、恒定湿热试验以及重度磨擦试验等。试验结果表明,膜层致密性和表面机械性能良好,具备一定强度的防潮防腐能力和抗激光损伤阈值水平,可适应海洋环境光电窗口的应用需求。 展开更多

关键词 光学薄膜 多光谱 蓝宝石 增透膜 膜系设计 光电窗口

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石英基底上可见光区减反射涂层的双层膜系设计 被引量：1

15

作者 魏栋 靳志勇 +1 位作者 贾红宝 朱世海 《大学物理实验》 2023年第2期26-30,共5页

针对石英光学基底合理设计多层膜系是提高光学器件透射率的关键方法。设计了两种不同的膜系结构,运用导纳轨迹法分析这两种膜系的设计原理。利用光学薄膜设计软件Filmstar分别得到两种膜系的最优解,以使在可见光区膜系的平均透射率尽可... 针对石英光学基底合理设计多层膜系是提高光学器件透射率的关键方法。设计了两种不同的膜系结构,运用导纳轨迹法分析这两种膜系的设计原理。利用光学薄膜设计软件Filmstar分别得到两种膜系的最优解,以使在可见光区膜系的平均透射率尽可能接近于100%。 展开更多

关键词 filmstar 减反射膜 膜系设计 导纳轨迹法 溶胶-凝胶法

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SiO_2静电自组装增透膜光学性质的研究 被引量：4

16

作者 许丕池 李小甫 +1 位作者 余海湖 姜德生 《光学与光电技术》 2003年第1期61-64,共4页

采用HC1与NH_3·H_2O分步催化制各了SiO_2胶体,在同一终点pH值下可得到不同的粒度。用静电自组装法制备了PDDA/SiO_2有机/无机多层复合光学增透薄膜。用TFM测试了薄膜的微观结构,用721分光光度计监测了薄膜的透射率,研究了薄膜的光... 采用HC1与NH_3·H_2O分步催化制各了SiO_2胶体,在同一终点pH值下可得到不同的粒度。用静电自组装法制备了PDDA/SiO_2有机/无机多层复合光学增透薄膜。用TFM测试了薄膜的微观结构,用721分光光度计监测了薄膜的透射率,研究了薄膜的光学性能随薄膜层数及波长的变化。 展开更多

关键词 SIO2 溶胶 静电自组装 增透膜

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溶胶-凝胶法MgF2紫外增透膜的制备和性能研究 被引量：4

17

作者 崔延霞 张磊 +5 位作者 徐耀 吴东 孙予罕 吕海兵 王海军 蒋晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期401-405,共5页

采用溶胶-凝胶法,以醋酸镁和氟化氢为原料,以甲醇为溶剂制备了MgF2溶胶,利用浸渍提拉法在洁净石英基片上镀膜,考察了反应温度对溶胶微结构、薄膜结构和性能的影响。样品采用激光动态光散射、透射电镜、X射线粉体衍射仪、紫外-可见光谱... 采用溶胶-凝胶法,以醋酸镁和氟化氢为原料,以甲醇为溶剂制备了MgF2溶胶,利用浸渍提拉法在洁净石英基片上镀膜,考察了反应温度对溶胶微结构、薄膜结构和性能的影响。样品采用激光动态光散射、透射电镜、X射线粉体衍射仪、紫外-可见光谱仪、原子力显微镜进行表征。结果表明:通过该方法制备的表面平整的低折射率MgF2薄膜,在紫外区具有很好的增透性能,同时在紫外波长355 nm激光的辐照下(脉宽6ns),薄膜具有较高的抗激光损伤性能,激光损伤阈值达10.85 J.cm-2。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶法 增透膜 MGF2 激光损伤

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SiO_2/TiO_2减反膜系的制备和性能测试 被引量：4

18

作者 王曦雯 何晓雄 胡佳宝 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期496-498,551,共4页

由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625nm... 由于减反射薄膜的性能受制备工艺的影响很大,文章采用SiO2和TiO2作为低、高折射率膜料,采用磁控溅射法在玻璃基片上制备了多层减反射膜系,研究了制备工艺对薄膜性能的影响,从理论和实验2个方面得出了制备的多层减反射膜系在450～625nm波段具有明显的增透效果,在520nm处有98%的透过率。 展开更多

关键词 减反射薄膜 磁控溅射 制备工艺 薄膜性能

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碳化硼薄膜的激光法制备及性能 被引量：3

19

作者 王淑云 陆益敏 +4 位作者 刘旭 黄国俊 郭延龙 万强 田方涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期895-897,共3页

采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率... 采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率、纳米硬度及膜层与衬底的结合性能进行了测试。结果表明:Si,Ge衬底单面镀碳化硼薄膜后最高透过率提高10%以上,纳米硬度提高到未镀膜的3倍以上,且膜层与衬底有较好的结合性能,表明制备的碳化硼薄膜可对光学材料起到较好的增透保护作用。 展开更多

关键词 激光沉积 碳化硼薄膜 透过率 硬度 增透膜

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1550nm宽光谱超辐射发光二极管的研制 被引量：3

20

作者 訾慧 薛正群 +2 位作者 王凌华 林中晞 苏辉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期256-260,共5页

超辐射发光二极管因其宽光谱低抖动的光谱特点以及输出光为非相干光的特性,在光学相干层析成像技术、光处理技术等领域具有重要应用。为获得宽光谱低抖动的超辐射输出光,设计并制备了一种1 550 nm AlGaInAs多量子阱超辐射发光二极管。... 超辐射发光二极管因其宽光谱低抖动的光谱特点以及输出光为非相干光的特性,在光学相干层析成像技术、光处理技术等领域具有重要应用。为获得宽光谱低抖动的超辐射输出光,设计并制备了一种1 550 nm AlGaInAs多量子阱超辐射发光二极管。采取倾斜12°波导并增加隔离区,结合抗反射薄膜,最终实现宽光谱输出的超辐射发光二极管,并比较了有无隔离区对器件性能的影响。实验结果表明,制得的超辐射发光二极管3 dB光谱宽度可拓宽至83 nm,光谱纹波小于0.1 dB,在200 mA工作电流下,出光功率大于1.5 mW。 展开更多

关键词 超辐射发光二极管 宽光谱低抖动 倾斜波导 隔离区 抗反射薄膜

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