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非晶微晶过渡区域硅薄膜的微区喇曼散射研究 被引量:33
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作者 张世斌 廖显伯 +6 位作者 安龙 杨富华 孔光临 王永谦 徐艳月 陈长勇 刁宏伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期1811-1815,共5页
通过改变氢气对硅烷气体的稀释程度 ,并保持其他的沉积参量不变 ,用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)方法成功地制备出处于非晶 微晶相变过渡区域的硅薄膜样品 .测量了样品的室温光电导和暗电导 ,样品的光电性能优越 ,在 5 0mW·cm... 通过改变氢气对硅烷气体的稀释程度 ,并保持其他的沉积参量不变 ,用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)方法成功地制备出处于非晶 微晶相变过渡区域的硅薄膜样品 .测量了样品的室温光电导和暗电导 ,样品的光电性能优越 ,在 5 0mW·cm- 2 的白光照射下 ,光电导和暗电导的比值达到 10 6 .在室温下用微区喇曼谱研究了薄膜的微结构特性 ,用高斯函数对喇曼谱进行了拟合分析 .结果表明 ,在我们的样品制备条件下 ,当H2 和SiH4 的流量比R较小时 ,样品表现出典型的非晶硅薄膜的结构特性 ;随流量比R的增大 ,薄膜表现出两相结构 ,其中的微晶成分随氢稀释比的增大逐渐增多 ;用量子尺寸效应估算了两个高氢稀释样品 (R >5 0 )中微晶粒的平均尺寸大小为 2 4nm左右 ; 展开更多
关键词 非晶/微晶过渡区 非晶硅薄膜 喇曼散射 微结构
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电沉积Ni-W非晶态合金 被引量:19
2
作者 姚素薇 郭鹤桐 +1 位作者 周婉秋 小若正伦 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期88-94,共7页
研究电沉积Ni-W合金的非晶化条件,划分出结晶与非晶结构区。由X衍射实验判定,Ni-W合金镀层足以Ni为溶剂、W为济质的置换型固溶体,呈面心立方结构。通过计算晶格畸变度、晶粒直径及其随结构的变化,解释了非晶镀层的形成原因。测定了作品... 研究电沉积Ni-W合金的非晶化条件,划分出结晶与非晶结构区。由X衍射实验判定,Ni-W合金镀层足以Ni为溶剂、W为济质的置换型固溶体,呈面心立方结构。通过计算晶格畸变度、晶粒直径及其随结构的变化,解释了非晶镀层的形成原因。测定了作品镀层在酸溶液中的腐蚀速率,用X射线光电子能谱仪(XPS)对其在酸溶液中形成的钝化膜进行了测试,钝化膜的化学结构式为i(OH)_2·WO_3、·nH_2O。 展开更多
关键词 电沉积 非晶态合金 电镀
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非晶硅叠层太阳能电池的现状与发展方向 被引量:10
3
作者 李毅 胡盛明 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第3期222-225,共4页
对非晶硅叠层太阳能电池的现状及发展动态进行了综述。分析了目前阻碍非晶硅太阳能电池进一步发展和应用的制约因素 ,提出了非晶硅叠层太阳能电池是今后进一步开发非晶硅太阳能电池的重要方向。介绍了美国Solarex公司的 4平方英尺和 8... 对非晶硅叠层太阳能电池的现状及发展动态进行了综述。分析了目前阻碍非晶硅太阳能电池进一步发展和应用的制约因素 ,提出了非晶硅叠层太阳能电池是今后进一步开发非晶硅太阳能电池的重要方向。介绍了美国Solarex公司的 4平方英尺和 8平方英尺叠层非晶硅太阳能电池的生产线及其工艺 ,并就低成本大批量生产具有较高稳定性的叠层太阳能电池的关键技术如选择和制备优质底电池的i层材料。 展开更多
关键词 非晶硅 叠层太阳能电池 薄膜 稳定转化效应
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衬底温度对用RF-PECVD法制备的非晶硅薄膜光学性能影响 被引量:8
4
作者 李世彬 吴志明 +3 位作者 朱魁鹏 蒋亚东 李伟 廖乃镘 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1256,共5页
采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底... 采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底温度的变化规律.光谱式椭圆偏振仪中用ForouhiBloomer(FB)模型拟合得到薄膜的折射率(n),消光系数(k),膜厚及光学禁带宽度(Eg),并用扫描电镜(SEM)断面分析对椭偏仪测试结果的准确性进行验证.根据Tauc公式推出薄膜的Eg和截止波长,并和FB模型得到的结果进行了比较,Eg(FB)和Eg(Tauc)的差值在0.015eV内. 展开更多
关键词 非晶硅 光学常数 光学禁带 傅立叶红外光谱 薄膜
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a-Si:H簿膜的晶化与分形结构的形成 被引量:9
5
作者 林鸿溢 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第6期430-434,共5页
利用透射电子显微镜(TEM)观测a-Si:H 薄膜在不同温度下生长的分形结构。实验方法为原位动态技术。对分形结构的TEM形貌像用Sandbox方法计算了其分形维数。450℃时,形成具有类似分叉状的分形结构,分形线数d_f=1.69;800℃时,形成岛状分形... 利用透射电子显微镜(TEM)观测a-Si:H 薄膜在不同温度下生长的分形结构。实验方法为原位动态技术。对分形结构的TEM形貌像用Sandbox方法计算了其分形维数。450℃时,形成具有类似分叉状的分形结构,分形线数d_f=1.69;800℃时,形成岛状分形结构,分形维数d_f=1.76。实验结果表明,分形结构的形成与薄膜物性的变化相联系。文中还对分形结构与a =Si:H 薄膜晶化的关系进行了讨论。 展开更多
关键词 非晶硅 薄膜 晶化 分形结构
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WO_x:Mo薄膜的结构及电致变色性能研究 被引量:6
6
作者 黄佳木 施萍萍 吕佳 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期580-584,589,共6页
采用反应磁控溅射工艺,以纯钨和纯钼为靶材在ITO玻璃上制备Mo掺杂WOx电致变色薄膜,用薄膜的透射光谱和XRD衍射方法对掺杂后薄膜的电致变色性能和结构进行了分析,研究了Mo掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理。实验结果表明:... 采用反应磁控溅射工艺,以纯钨和纯钼为靶材在ITO玻璃上制备Mo掺杂WOx电致变色薄膜,用薄膜的透射光谱和XRD衍射方法对掺杂后薄膜的电致变色性能和结构进行了分析,研究了Mo掺杂对WOx薄膜电致变色性能和微观结构的影响机理。实验结果表明:在一定掺杂范围内,Mo掺杂对薄膜电致变色性能有较大提高;掺杂越均匀,对薄膜电致变色性能的改善越显著。影响薄膜电致变色性能的相应掺杂量由溅射时间表示,相对掺量存在最佳值,即7.7%附近,薄膜的变色性能可得到最大的提高,按实验结果趋势分析掺杂量存在有效范围,超出有效掺杂范围,掺杂便会失效。XRD分析表明,掺杂Mo之后的WOx薄膜仍为非晶态,且非晶态有增强的趋势。 展开更多
关键词 掺杂氧化钨 钼掺杂 非晶态薄膜 电致变色 反应磁控溅射
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非晶硅薄膜激光晶化及其结构分析 被引量:6
7
作者 庞宏杰 王存山 +2 位作者 张凯舒 苏元军 裴继斌 《应用激光》 CSCD 北大核心 2007年第1期18-20,24,共4页
以射频(频率为13.6MHz)磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用拉曼光谱仪和高分辨透射电镜对激光晶化薄膜的组织结构进行了研究。结果表明:薄膜由非晶硅结构转变为微... 以射频(频率为13.6MHz)磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用拉曼光谱仪和高分辨透射电镜对激光晶化薄膜的组织结构进行了研究。结果表明:薄膜由非晶硅结构转变为微晶硅结构,微晶硅晶粒尺寸在纳米级。激光晶化存在一个最佳工艺参数,功率太高或太低都不利于晶化。 展开更多
关键词 非晶硅 薄膜 激光晶化 纳米微晶硅 结构
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Li-Si合金中间相作为锂离子电池负极材料的研究(英文) 被引量:9
8
作者 侯贤华 胡社军 +1 位作者 汝强 张志文 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2079-2083,共5页
采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波赝势方法计算了Li-Si各种合金相的物理性质和电化学性能。结果表明:除了在反应过程中生成传统的固态电解质SEI膜之外,形成的Li12Si7合金相也是部分导致首次不可逆容量损失的重要原因。另外,采用... 采用基于密度泛函理论的第一性原理平面波赝势方法计算了Li-Si各种合金相的物理性质和电化学性能。结果表明:除了在反应过程中生成传统的固态电解质SEI膜之外,形成的Li12Si7合金相也是部分导致首次不可逆容量损失的重要原因。另外,采用射频磁控溅射制备了纯Si薄膜电极,并运用XRD、循环伏安CV、恒流充放电CC表征和测试了材料的结构和电化学性能,结果表明首次不可逆容量损失非常大,无定型结构能有效抑制体积膨胀和改善循环性能。 展开更多
关键词 合金相 中间相 锂离子电池负极材料 Materials for 首次不可逆容量损失 electrochemical performance density functional theory 电化学性能 amorphous structure solid electrolyte constant current radio frequency results film electrode 密度泛函理论 磁控溅射制备 恒流充放电 第一性原理 the growth method of
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Synergistic Effect of Mo, W, Mn and Cr on the Passivation Behavior of a Fe-Based Amorphous Alloy Coating 被引量:7
9
作者 Wan-Ping Tian Hong-Wang Yang Suo-De Zhang 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第3期308-320,共13页
In this work,the electrochemical behaviors of SAM2X5 Fe-based amorphous alloy coating and hard chromium coating were comparatively studied in 3.5 wt% NaCl solution.In comparison with the hard chromium coating,the SAM2... In this work,the electrochemical behaviors of SAM2X5 Fe-based amorphous alloy coating and hard chromium coating were comparatively studied in 3.5 wt% NaCl solution.In comparison with the hard chromium coating,the SAM2X5 coating exhibited a wider and stable passive region with lower passive current density in the potentiodynamic polarization and showed a considerably lower current density at different anodic potentials in the potentiostatic polarization.In order to understand the passivation mechanism of the Fe-based amorphous coating,the components of the passive films formed at various polarization potentials were examined by X-ray photoelectron spectroscopy.The synergistic effect of Mo,W,Mn and Cr in the passive films was systemically analyzed.It has been revealed that Mo and W facilitate the formation of compact and stable Cr2O3 passive film at lower potentials,and the substantial enrichment of Mn in the passive film enhances the passivation ability at relatively higher potentials.The deep understanding of the passivation characteristics in multicomponent alloy systems could provide a guide for the design of corrosion-resistant amorphous alloy coatings for engineering applications. 展开更多
关键词 amorphous alloy Metallic coating PASSIVATION Surface film X-ray photoelectronspectroscopy (XPS)
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反应溅射制备非晶Al_2O_3薄膜的介电特性 被引量:7
10
作者 赵登涛 狄国庆 朱炎 《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期80-83,共4页
在氧气、氩气的混合气氛中 ,利用反应射频磁控溅射制备了厚度在 1 0 0到 1 0纳米的非晶氧化铝薄膜。通过 Al-Al2 O3 -Al电容器研究了此非晶薄膜的介电性质。
关键词 反应射频磁控溅射 介电性质 非晶 氧化铝薄膜
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Ti-Ni非晶合金贮氢薄膜制备及电化学性能研究 被引量:4
11
作者 牟宗信 李国卿 +2 位作者 郭宝海 孙俊才 季世军 《金属功能材料》 CAS 1999年第1期25-28,共4页
利用离子束溅射的方法(IBS)制备了Ti-Ni非晶合金薄膜,采用XRD、SEM方法研究了薄膜试样充放电前后的结构和形貌变化,采用电化学方法研究了这种材料的电化学贮氢性能,试样Ti50Ni50最高电化学容量可达458m... 利用离子束溅射的方法(IBS)制备了Ti-Ni非晶合金薄膜,采用XRD、SEM方法研究了薄膜试样充放电前后的结构和形貌变化,采用电化学方法研究了这种材料的电化学贮氢性能,试样Ti50Ni50最高电化学容量可达458mAh/g。引用Harris模型估算了Ti-Ni非晶合金薄膜的理论电化学贮氢容量,并用以分析实验结果。 展开更多
关键词 贮氢材料 非晶态合金 薄膜 电化学性能 制备
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Evaluating corrosion resistances of Fe-based amorphous alloys by yCr/Mo values 被引量:5
12
作者 夏怀效 陈庆军 王诚杰 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第4期406-411,共6页
In this paper, the synthetic effect ofCr, Mo and Y on corrosion resistance was explored, and the YCr/Mo value was employed to evaluate the corrosion resistance. The composition of amorphous alloy was designed by mixin... In this paper, the synthetic effect ofCr, Mo and Y on corrosion resistance was explored, and the YCr/Mo value was employed to evaluate the corrosion resistance. The composition of amorphous alloy was designed by mixing the Fe41Co7Cr15Mo14C15B6Y2 (BMG1) with good glass forming ability (GFA) and Fe50Cr22B23Ni5.4 with a high corrosion resistance at 9:1 ratio. At the same time, the contents of Y, Mo and Cr were fine-tuned. The electrochemical tests demonstrated that the passivation current density decreased with the increase of the yCr/Mo value. The passivation current density of Fe-based amorphous alloy was reduced by about half an order of magnitude. The fitting result showed that the logarithm ofpassivation current density (I) and the YCr/Mo value (X) were logarithmic relationship, and the fitting equation was I=-5.649+4.904× 1015 e 17.52x. The X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) results showed that the yC,/Mo value played a key role in stability of passive films. When the yCr/Mo value Was low, the Cr6+ ion, Mo6+ ion were enriched in the initial stage of passivation process, then leading to the increase passivation current density. However, when the YCr/Mo value was high, the low-valence Fe2-, Cr3+, and Mo4+ ion were enriched more easily, which result in small passivation current densities and more stable passive films. 展开更多
关键词 the Ycr/Mo value corrosion resistance amorphous alloys passivation current density passive film rare earths
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磁控溅射WO_x电致变色薄膜的结构 被引量:1
13
作者 黄佳木 施萍萍 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期81-84,共4页
采用直流反应磁控溅射工艺,以纯钨靶为靶材在ITO玻璃上制备电致变色WOx薄膜,运用XRD衍射方法和扫描隧道显微镜(STM)测试手段对薄膜的晶体结构和微观表面形貌进行了分析,探讨了WOx薄膜的电致变色性能和微观结构之间的关系。实验分析结果... 采用直流反应磁控溅射工艺,以纯钨靶为靶材在ITO玻璃上制备电致变色WOx薄膜,运用XRD衍射方法和扫描隧道显微镜(STM)测试手段对薄膜的晶体结构和微观表面形貌进行了分析,探讨了WOx薄膜的电致变色性能和微观结构之间的关系。实验分析结果发现:磁控溅射得到的WOx薄膜主要是非晶态的,而其在着色状态和退色状态下亦呈非晶特性;电致变色反应使薄膜的颜色发生了可逆变化,必然地也使结构发生了可逆变化。Li+的进出,虽然没有使组成WOx的基本结构发生大的变化,但其微观表面形貌发生较大差异,因为原子团簇的堆积方式向较规则的低能态堆积方式转变。 展开更多
关键词 WOx 非晶态薄膜 电致变色 直流反应磁控溅射 透光率 八面体
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Fe-W非晶态合金镀膜技术及其最佳制备条件的研究 被引量:2
14
作者 王峰 伊藤清 +1 位作者 渡边澈 姚素薇 《化工进展》 EI CAS CSCD 1999年第6期47-49,56,共4页
采用电镀的方法制得了光亮的Fe-W非晶态合金镀膜,研究了各种制备条件对镀膜表面状态、微观结构、磁性特征的影响。
关键词 电镀 合金膜 磁性 钨铁 非晶态合金 镀膜
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氢化非晶硅薄膜的热导率研究 被引量:6
15
作者 李世彬 吴志明 +3 位作者 袁凯 廖乃镘 李伟 蒋亚东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期3126-3131,共6页
采用铂电极为加热电阻,研究了厚度为300—370nm等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜的热导率随衬底温度的变化规律.用光谱式椭偏仪拟合测量薄膜的厚度,得到了沉积速率随衬底温度变化规律,傅里叶红外(FTIR)表... 采用铂电极为加热电阻,研究了厚度为300—370nm等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜的热导率随衬底温度的变化规律.用光谱式椭偏仪拟合测量薄膜的厚度,得到了沉积速率随衬底温度变化规律,傅里叶红外(FTIR)表征了在KBr晶片衬底上制备的a-Si:H薄膜的红外光谱特性,SiH原子团键合模的震动对热量的吸收降低了薄膜热导率.从动力学角度分析了薄膜热导率随平均温度升高而增大的原因,并比较了声子传播和自由电子移动在a-Si:H薄膜热导率变化上的作用差异. 展开更多
关键词 非晶硅 热导率 薄膜 热能
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200 mm重掺As硅片上APCVD法沉积SiO_(2)薄膜应力的研究 被引量:1
16
作者 王海涛 张果虎 +3 位作者 刘斌 王新 冯瑞琪 钟耕杭 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期834-842,共9页
常压化学气相沉积(APCVD)方法生长的SiO_(2)薄膜沉积在硅抛光片背面用于防止自掺杂效应,也在一些电子器件制造中用于绝缘层材料,它具有无定型晶体的结构,薄膜中的孔隙结构和表面结构对薄膜的应力产生影响。本研究中对APCVD沉积的二氧化... 常压化学气相沉积(APCVD)方法生长的SiO_(2)薄膜沉积在硅抛光片背面用于防止自掺杂效应,也在一些电子器件制造中用于绝缘层材料,它具有无定型晶体的结构,薄膜中的孔隙结构和表面结构对薄膜的应力产生影响。本研究中对APCVD沉积的二氧化硅薄膜在不同工艺条件下产生薄膜应力、热处理后薄膜应力变化以及在存放过程中的应力变化进行了测试。实验结果表明:SiO_(2)薄膜的沉积工艺不同,薄膜结构也会有差异,其中工艺温度影响尤其显著;经过热处理后的SiO_(2)薄膜结构发生变化,主要体现在孔隙内-OH的脱离,Si=O键、Si-Si键减少和消失,1100℃以上的热处理可以导致薄膜向晶体型转变,薄膜应力会随着结构改变而发生变化;薄膜在特定条件下存放一段时间后,表面和空隙内的-OH会吸附周围环境中的H2O,孔隙填充使薄膜应力发生自然释放现象;经过热处理后的SiO_(2)薄膜应力自然释放明显减弱,这与SiO_(2)薄膜经过热处理后的结构发生变化有关。 展开更多
关键词 二氧化硅薄膜 无定型结构 薄膜应力 热处理
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非晶态合金材料应力阻抗效应研究进展 被引量:2
17
作者 宋雪丰 鲍丙豪 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2006年第3期7-9,15,共4页
应力阻抗效应(SI)是近年来在非晶态合金材料中发现的又一新的具有研究和应用价值的特殊物理效应,利用这种效应可以研制出高灵敏度的应力/应变传感器。简单介绍了应力阻抗效应的理论依据,分析了近几年来国内外在这方面的研究进展,主要有... 应力阻抗效应(SI)是近年来在非晶态合金材料中发现的又一新的具有研究和应用价值的特殊物理效应,利用这种效应可以研制出高灵敏度的应力/应变传感器。简单介绍了应力阻抗效应的理论依据,分析了近几年来国内外在这方面的研究进展,主要有非晶丝、非晶带和薄膜应力阻抗效应的研究以及不同处理工艺对其应力阻抗效应的影响,适当的处理工艺引入的各向异性对应力阻抗效应的提高有很大的贡献。 展开更多
关键词 非晶态合金 应力阻抗效应 非晶丝 非晶带 薄膜
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制备温度对TiO_2基膜表面非晶态ZnO薄膜发光特性影响的研究 被引量:4
18
作者 沈华 史林兴 +2 位作者 王青 何勇 朱日宏 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第4期421-425,共5页
利用电子束热蒸发镀膜的方式,以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料,以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜。研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响。通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构,... 利用电子束热蒸发镀膜的方式,以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料,以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜。研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响。通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构,表明所制备的ZnO薄膜为非晶态。用光致发光(PL)谱表征了它的发光特性,数据表明在250℃时制备的非晶态ZnO薄膜在波长389 nm处具有极强的紫外光发射,在波长431 nm处发出很强的紫光,在波长519 nm处发出较强的黄绿光。 展开更多
关键词 ZNO TIO2 电子束热蒸发 紫外光发射 非晶态薄膜
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非晶硒DR探测器平板的结构特点及正常使用要求 被引量:5
19
作者 张亚敏 申浩 《中国医学装备》 2008年第6期26-27,共2页
从非晶硒DR平板探测器内部结构的角度,讨论其正常工作所需环境温度,介绍在使用环境外DR探测器可能出现的脱膜等故障;并根据其内部结构特点,提出了正常使用的措施。
关键词 非晶硒 平板探测器 脱膜 环境条件
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非晶态合金镀层在现代工业中的应用与发展 被引量:4
20
作者 阎洪 《上海有色金属》 CAS 1994年第5期294-299,共6页
分析了非晶态镀层的技术现状。对非晶态合金层的分类、制备方法、性能和应用作了简述。
关键词 金属玻璃 覆层 镀覆
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