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用于LCD的氧化铝阻挡层的射频反应溅射沉积及其特性 被引量:6
1
作者 茅昕辉 张浩康 陈国平 《光电子技术》 CAS 1998年第2期134-137,共4页
用金属铝靶射频反应溅射制备了Al2O3薄膜,用作LCD基片玻璃的钠离子阻挡层。报道了射频溅射参数对薄膜沉积速率和折射率的影响。测试结果表明,所沉积的Al2O3薄膜满足LCD器件阻挡层的要求。
关键词 射频溅射 反应溅射 LCD 阻挡层 液晶显示器件
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反应溅射Al_2O_3薄膜研究之进展 被引量:3
2
作者 王福会 朱圣龙 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第5期413-416,共4页
Al_2O_3,薄膜具有良好的光学特性,高的绝缘强度,良好的抗氧化腐蚀能力,越来越受到人们的普遍重视。本文对反应溅射Al_2O_3薄膜的沉积过程及其抗氧化腐蚀性能进行综合评述。
关键词 反应溅射 薄膜 三氧化二铝
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溶胶—凝胶法制备的Al_2O_3感温膜及其性质 被引量:1
3
作者 陈广文 殷景华 +1 位作者 薛占林 桂太龙 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 1995年第3期255-258,共4页
用溶胶—凝胶方法,采用电泳工艺在Al基片上制成Al2O3薄膜.膜物质主要是非晶态,但含有少量微晶.随着热处理温度的升高,进晶含量增加,这种湿敏膜在中,高湿区有良好的感湿性能.
关键词 溶胶-凝胶法 电泳工艺 薄膜 湿敏性 三氧化二铝
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低温等离子复合技术淀积Al_2O_3膜的研究 被引量:2
4
作者 林锡刚 师勉恭 +1 位作者 刘玮 缪竞威 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期473-475,共3页
利用真空技术、低能离子束刻蚀技术和射频磁控溅射相结合组成的低温等离子复合技术,在软磁材料表面获得了性能优良且满足工业生产要求的Al2O3绝缘膜。本文介绍了复合技术成膜装置特点及该Al2O3膜的特性。利用扫描电子显微镜、透射电镜... 利用真空技术、低能离子束刻蚀技术和射频磁控溅射相结合组成的低温等离子复合技术,在软磁材料表面获得了性能优良且满足工业生产要求的Al2O3绝缘膜。本文介绍了复合技术成膜装置特点及该Al2O3膜的特性。利用扫描电子显微镜、透射电镜及X射线光电子能谱仪对该膜进行了分析,试验结果认为,该膜的物理特性、电学特性及机械特性是优异的。对于该膜的半工业性试验也进行了研究。 展开更多
关键词 低温等离子 复合技术 软磁材料 氧化铝膜
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介质薄膜的制备及其电性能的测试分析 被引量:1
5
作者 崔红玲 杨邦朝 +2 位作者 杜小松 滕林 周鸿仁 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期39-40,51,共3页
以Al_2O_3薄膜为例,介绍了用电子束蒸发制备介质薄膜的工艺。研究了不同退火条件下Al_2O_3薄膜的电性能,优化出最佳的热处理条件为400℃、氧气气氛中,热处理3 h。并对制得的Al_2O_3薄膜进行了SEM表面和断面分析,结果表明制得的Al_2O_3... 以Al_2O_3薄膜为例,介绍了用电子束蒸发制备介质薄膜的工艺。研究了不同退火条件下Al_2O_3薄膜的电性能,优化出最佳的热处理条件为400℃、氧气气氛中,热处理3 h。并对制得的Al_2O_3薄膜进行了SEM表面和断面分析,结果表明制得的Al_2O_3薄膜较烧结的Al_2O_3基板致密。 展开更多
关键词 二氧化二铝薄膜 电子束蒸发 电性能测试 电阻率
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低温等离子复合技术淀积Al_2O_3膜的性能及应用
6
作者 林锡刚 陈叔鑫 +1 位作者 缪竞威 韦建军 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期11-13,共3页
利用低温等离子复合技术在坡莫合金等软磁材料表面淀积A12O3膜,对其性能进行测试,并研究了在磁头芯片表面形成优良的绝缘膜的应用情况。
关键词 低温等离子复合 软磁材料 绝缘膜 氧化铝 薄膜
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溅射条件对Al_2O_3薄膜介电强度和沉积速率的影响
7
作者 章吉良 李明 +2 位作者 杨春生 赵小林 宋柏泉 《微细加工技术》 1995年第1期25-32,共8页
用射频溅射方法,在不同工作气体(纯Ar和Ar+10%O_2)和不同基片偏压(-30V到-180V,间隔-30V)下,由烧结Al_2O_3靶材制备Al_2O_3薄膜。测试了样品的介电强度和沉积速率,对部分样品的结构和成... 用射频溅射方法,在不同工作气体(纯Ar和Ar+10%O_2)和不同基片偏压(-30V到-180V,间隔-30V)下,由烧结Al_2O_3靶材制备Al_2O_3薄膜。测试了样品的介电强度和沉积速率,对部分样品的结构和成份分别用XPS和X射线进行了分析。结果表明:薄膜均呈非晶态;在两种工作气体中,随着基片负偏压的升高,沉积速率和介电强度均下降,但在-60V偏压时,介电强度具有最大值。含氧的工作气体导致沉积速率下降,但提高了介电强度。在含氧和-60V偏压下,Al_2O_3薄膜的平均介电强度为3.46MV/cm。纯氩气氛中制备的Al_2O_3薄膜是缺氧的,而含氧的工作气体可使薄膜中的氧含量提高。 展开更多
关键词 射频溅射 介电强度 沉积速率 氧化铝薄膜
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316L不锈钢表面Al_2O_3镀层中氚的扩散渗透行为 被引量:19
8
作者 郝嘉琨 山常起 +1 位作者 金柱京 陈庆旺 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1996年第2期62-64,共3页
在316L不锈钢表面,用磁控溅射方法镀2-3μm的Al2O3膜。实验表明.这种膜与基体相容性好,且具有抗氧化、抗热冲击、抗辐照、低活性等特点,氚在其中的渗透率低。在604-773K温度下,氚在此种材料中的渗透率比在基... 在316L不锈钢表面,用磁控溅射方法镀2-3μm的Al2O3膜。实验表明.这种膜与基体相容性好,且具有抗氧化、抗热冲击、抗辐照、低活性等特点,氚在其中的渗透率低。在604-773K温度下,氚在此种材料中的渗透率比在基体材料中低4-6个数量级。此种材料可用作为氚容器材料,用于氚的生产、分离和净化工艺中,还可以用作聚变堆氚工艺中氚靶包壳材料。 展开更多
关键词 氚渗透 氚阻拦层 三氧化二铝 氚工艺 气靶包壳
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TiO_2/Al_2O_3复合薄膜的亲水性能研究 被引量:11
9
作者 柳清菊 王庆辉 +2 位作者 靳映霞 杨喜昆 吴兴惠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期458-460,463,共4页
 采用溶胶 凝胶法制备了TiO2/Al2O3复合薄膜,通过XRD、XPS、UV透射光谱的分析及薄膜表面接触角的测量,研究了Al2O3与TiO2配比、热处理温度、膜厚度等因素对复合膜的亲水性、透光率的影响。结果表明:Al2O3的加入和膜厚度的增加均有利于T...  采用溶胶 凝胶法制备了TiO2/Al2O3复合薄膜,通过XRD、XPS、UV透射光谱的分析及薄膜表面接触角的测量,研究了Al2O3与TiO2配比、热处理温度、膜厚度等因素对复合膜的亲水性、透光率的影响。结果表明:Al2O3的加入和膜厚度的增加均有利于TiO2薄膜亲水性的改善;热处理温度对TiO2/Al2O3复合膜的亲水性有较大影响,其中经450℃热处理的薄膜亲水性最好;Al2O3的加入未降低复合膜的可见光透光率,其平均透光率大于80%。 展开更多
关键词 Tio2/al2o3复合薄膜 亲水性 溶胶-凝胶 接触角 XRD XPS UV透射光谱
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反应溅射Al_2O_3膜对TiAl抗高温氧化性能的影响 被引量:11
10
作者 唐兆麟 王福会 吴维 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期507-510,共4页
研究了反应溅射Al2O3膜对TiAl抗高温氧化性能的影响结果表明,在800和900℃,Al2O3膜大大提高TiAl的抗氧化性能在800℃氧化100h后,Al2O3膜及TiAl基体几乎未发生变化;在900℃氧化时,TiAl中Al优先氧化形成Al2O3,使Al2O3膜增厚,龟裂... 研究了反应溅射Al2O3膜对TiAl抗高温氧化性能的影响结果表明,在800和900℃,Al2O3膜大大提高TiAl的抗氧化性能在800℃氧化100h后,Al2O3膜及TiAl基体几乎未发生变化;在900℃氧化时,TiAl中Al优先氧化形成Al2O3,使Al2O3膜增厚,龟裂纹被弥合,仅有少量TiO2出现在大的裂纹处1000℃氧化时,原始Al2O3膜变得不连续。 展开更多
关键词 金属间化合物 高温氧化 三氧二铝 钛铝合金
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掺Er Al_2O_3光波导薄膜材料的制备及光学特性 被引量:6
11
作者 李淑凤 宋昌烈 +2 位作者 李成仁 饶文雄 雷明凯 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期344-349,共6页
 介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响。退火对...  介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响。退火对发光特性及材料具有改善作用。 展开更多
关键词 光波导 Er∶al2o3薄膜 PL特性
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一种电容式Al_2O_3湿度传感器
12
作者 吴海霞 王占和 李印增 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期456-457,461,共3页
 在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。设计制作了电容式Al2O3湿度传感器,测试结果表明,该器件具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围。
关键词 三氧化二铝 多孔膜 湿度传感器 al2o3 电容式 铝薄膜
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多孔Al_2O_3薄膜的研制 被引量:1
13
作者 吴海霞 王占和 李印增 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第2期11-13,共3页
在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,再利用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后通过铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。利用JSM 35C扫描电子显微镜观测了该Al2O3薄膜的形貌。通过对Al2O3薄膜电阻与相对湿度关系的测试,发现其具有较... 在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,再利用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后通过铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。利用JSM 35C扫描电子显微镜观测了该Al2O3薄膜的形貌。通过对Al2O3薄膜电阻与相对湿度关系的测试,发现其具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围。 展开更多
关键词 三氧化二铝 薄膜 多孔 湿度传感器
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掺Er-Al_2O_3薄膜发光特性的研究 被引量:2
14
作者 肖海波 张峰 +6 位作者 张昌盛 程新利 王永进 陈志君 林志浪 张福民 邹世昌 《科技通讯(上海)》 CSCD 2004年第1期29-32,共4页
通过离子束辅助沉积(IBAD)在热氧化SiO2上沉积Al2O3薄膜,在120keV下注入5×1015cm-2Er离子,Ar气氛下773~1273K退火1h。低温下测试PL谱线,随退火温度升高,发光强度上升。973K退火下发光强度特别低,并观察到Si衬底的1140nm峰。光透... 通过离子束辅助沉积(IBAD)在热氧化SiO2上沉积Al2O3薄膜,在120keV下注入5×1015cm-2Er离子,Ar气氛下773~1273K退火1h。低温下测试PL谱线,随退火温度升高,发光强度上升。973K退火下发光强度特别低,并观察到Si衬底的1140nm峰。光透射谱表明几乎在所有的测试范围内尤其在1530nm处973K退火样品的透射谱强度最强,波导损耗最低。1530nm发光强度随退火温度的变化跟发光强度的变化相反。说明Er离子在514.5nm泵谱吸收界面σ跟Al2O3的光吸收损耗有一定关系。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 al2o3薄膜 掺杂 PL谱 光透射谱 发光特性
原文传递
XPS Study of CeO_2/Al_2O_3 film
15
作者 Mei Zhang Zhenxiang Liu +2 位作者 Kan Xie Xueyan Du Wenchao Li(Metallurgy School, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China)(Institute of physics Chinese Academy of Science, Beijing 100080, China) 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 1999年第3期199-200,204,共3页
The redox capacity of CeO2/Al2O3 thin film which was prepared by sol-gel method has been investigated by X-ray Photoelectron Spectrascopy (XPS). The results showed that the thin film was easier to be reduced and re-ox... The redox capacity of CeO2/Al2O3 thin film which was prepared by sol-gel method has been investigated by X-ray Photoelectron Spectrascopy (XPS). The results showed that the thin film was easier to be reduced and re-oxidized than pure CeO2 powder. The key role played by oxygen vacancies which were created from the interaction between CeO2 and Al,O, was also discussed. 展开更多
关键词 Ceo_2/al_2o_3 thin film redox INTERACTIoN XPS
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铝合金表面高耐磨自润滑硬质阳极氧化膜的制备 被引量:13
16
作者 陈岁元 杨永泽 +1 位作者 梁京 刘常升 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1721-1724,共4页
以硫酸、草酸、氨基磺酸为基础电解液,分别添加0,5,15和25mL/L的PTFE乳液,在2024铝合金表面制备了PTFE复合硬质Al2O3氧化膜.利用扫描电镜、硬度计和摩擦磨损试验机等手段,对制备氧化膜的组织结构与性能及其复合机理进行了研究.结果表明... 以硫酸、草酸、氨基磺酸为基础电解液,分别添加0,5,15和25mL/L的PTFE乳液,在2024铝合金表面制备了PTFE复合硬质Al2O3氧化膜.利用扫描电镜、硬度计和摩擦磨损试验机等手段,对制备氧化膜的组织结构与性能及其复合机理进行了研究.结果表明:随着PTFE添加量的增加,氧化膜的厚度由没有添加PTFE样品的42μm增加到了51μm;硬度呈现先增加后降低的趋势,硬度最高为417HV.当PTFE乳液的添加量为25mL/L时,磨损时的失重量为7mg,是没有添加PTFE颗粒样品的三分之一.磨损时复合在氧化膜中的PTFE与对摩擦件接触时可形成润滑膜层,在保持高硬度的同时降低了摩擦系数,提高了膜的耐磨和自润滑性能. 展开更多
关键词 硬质阳极氧化 al2o3氧化膜 PTFE颗粒 耐磨性能 自润滑性能
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纳米SiC增强铝合金表面阳极氧化膜的组织与性能 被引量:7
17
作者 陈岁元 李海雄 +1 位作者 杨弥珺 刘常升 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期952-955,共4页
以硫酸、草酸、氨基磺酸为基础电解液,分别添加3,8,12,15 g/L的纳米SiC颗粒,利用直流氧化电源在优化的复合共沉积工艺参数下,在2024铝合金表面制备纳米SiC增强的硬质阳极氧化膜.结果表明:纳米SiC颗粒弥散分布在阳极氧化膜中,形成了纳米... 以硫酸、草酸、氨基磺酸为基础电解液,分别添加3,8,12,15 g/L的纳米SiC颗粒,利用直流氧化电源在优化的复合共沉积工艺参数下,在2024铝合金表面制备纳米SiC增强的硬质阳极氧化膜.结果表明:纳米SiC颗粒弥散分布在阳极氧化膜中,形成了纳米颗粒增强的硬质Al2O3氧化膜组织结构;随着纳米SiC添加量的增加,膜的厚度由没有添加纳米SiC颗粒的42μm增加到了48μm;当SiC的添加量为12 g/L时,氧化膜的硬度最高而磨耗最低,硬度由没有添加纳米颗粒样品的400 HV左右提高到了440 HV,磨损量由25 mg降到8 mg;纳米SiC在阳极氧化过程中,通过机械夹杂、吸附作用等形式进入膜层和孔隙,从而改变了膜层的组织结构,提高了氧化膜的硬度,使氧化膜的耐磨性能提高. 展开更多
关键词 硬质阳极氧化 al2o3氧化膜 纳米SiC增强 耐磨性能
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镍基高温合金表面Co-Al涂层抗高温氧化性能研究 被引量:2
18
作者 李艳明 李中生 +3 位作者 刘欢 卜嘉利 张开阔 韩振宇 《航空发动机》 北大核心 2023年第1期169-174,共6页
为了研究镍基高温合金表面Co-Al涂层抗高温氧化性,对该Co-Al涂层在800、900和1000℃下进行200 h高温氧化试验,利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)等进行高温氧化行为分析。结果表明:合金氧化动力学曲线均基本符合... 为了研究镍基高温合金表面Co-Al涂层抗高温氧化性,对该Co-Al涂层在800、900和1000℃下进行200 h高温氧化试验,利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)等进行高温氧化行为分析。结果表明:合金氧化动力学曲线均基本符合抛物线规律,氧化激活能为78185 kJ/mol,质量增大速度较缓慢,平均氧化速度也较慢;合金表面生成氧化物结构完整、致密,主要以Al2O3为主;表面生成连续致密的Al2O3保护膜有效地阻止了Al向涂层与空气界面的外扩散和氧向涂层与基体界面的内扩散,在3种温度下Co-Al涂层均表现出优异的抗高温氧化性能。 展开更多
关键词 镍基高温合金 Co-al涂层 高温氧化 al2o3保护膜 航空发动机
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FeAl/Al2O3阻氚涂层表面Al2O3薄膜形成机制与低温制备技术的研究进展 被引量:4
19
作者 胡立 张桂凯 唐涛 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1-7,共7页
应用基体渗铝+选择性氧化法制备由FeAl合金过渡层及其表面Al2O3薄膜组成的FeAl/Al2O3阻氚涂层是当前防氚渗透技术的首选,Al2O3薄膜是决定FeAl/Al2O3阻氚涂层服役性能的关键。综述了FeAl合金及其涂层的表面氧化行为,包括铝的选择性氧化... 应用基体渗铝+选择性氧化法制备由FeAl合金过渡层及其表面Al2O3薄膜组成的FeAl/Al2O3阻氚涂层是当前防氚渗透技术的首选,Al2O3薄膜是决定FeAl/Al2O3阻氚涂层服役性能的关键。综述了FeAl合金及其涂层的表面氧化行为,包括铝的选择性氧化、氧化热力学和动力学行为以及氧化机制,介绍了基体元素对Al2O3薄膜形成和结构的影响以及阻氚涂层表面Al2O3薄膜低温制备技术的研究进展,展望了FeAl/Al2O3阻氚涂层的未来研究方向。 展开更多
关键词 Feal/al2o3阻氚涂层 氧化行为 al2o3薄膜 低温制备
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p型“SE+PERC”双面太阳电池背面工艺对光伏组件PID效应的影响研究
20
作者 王玉肖 王贵梅 +2 位作者 赵英芳 程雅琦 许志卫 《太阳能》 2024年第4期80-86,共7页
基于p型“SE+PERC”双面太阳电池的背面工艺,针对背表面抛光状态、背面氧化铝薄膜厚度、背面膜层结构、背面氮化硅薄膜折射率几个因素对光伏组件电势诱导衰减(PID)效应的影响进行了研究。研究结果表明:1)背表面抛光状态越光滑,对应制备... 基于p型“SE+PERC”双面太阳电池的背面工艺,针对背表面抛光状态、背面氧化铝薄膜厚度、背面膜层结构、背面氮化硅薄膜折射率几个因素对光伏组件电势诱导衰减(PID)效应的影响进行了研究。研究结果表明:1)背表面抛光状态越光滑,对应制备的光伏组件在PID测试后的输出功率损失率越小;2)背面氧化铝薄膜厚度为10 nm及以上时对应制备的光伏组件在PID测试后的输出功率损失率差异不大;3)背面膜层结构对PID效应存在影响,合理设计背面膜层结构可以有效抑制光伏组件PID效应;4)背面氮化硅薄膜折射率大于等于2.10时,对应制备的光伏组件在PID测试后的输出功率损失率降至2.00%以内且可以稳定保持在较低水平。研究结果可为p型“SE+PERC”双面太阳电池背面工艺优化提供指导方向。 展开更多
关键词 p型晶体硅 SE+PERC 双面太阳电池 电势诱导衰减 背面工艺 抛光 氧化铝薄膜 折射率
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