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真空紫外波段铝反射膜制备
被引量：
7
1
作者
林大伟
郭春
+1 位作者
张云洞
李斌成
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期320-324,共5页
为制备出在130～210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130～210nm波长...
为制备出在130～210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130～210nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。
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关键词
薄膜
铝反射膜
蒸发速率
真空紫外
时效性
紫外辐照
原文传递
车载抬头显示光学系统塑料元件反射膜的研制
被引量：
2
2
作者
刘冬梅
刘文成
+3 位作者
付秀华
张静
岳鹏飞
李爽
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第12期1083-1089,共7页
为了提高抬头显示系统中投影镜和反射镜的耐环境性和光学性能,以聚碳酸酯(PC)作为基底,采用电子束蒸发技术,使用过渡层和连接层技术以及渐增式离子源工艺,解决了薄膜与基底的附着力问题;利用真空退火,改善了环境测试过程中薄膜的膜裂现...
为了提高抬头显示系统中投影镜和反射镜的耐环境性和光学性能,以聚碳酸酯(PC)作为基底,采用电子束蒸发技术,使用过渡层和连接层技术以及渐增式离子源工艺,解决了薄膜与基底的附着力问题;利用真空退火,改善了环境测试过程中薄膜的膜裂现象;通过调节最外层SiO2的离子源工艺,改善了水煮测试过程中薄膜因水汽渗透而导致的反射率下降的问题。制备了耐环境性能强的平均反射率大于95%的金属-介质结构的高反射膜。实际样品满足抬头显示系统的要求,并通过了多项环境测试。
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关键词
光学薄膜
抬头显示系统
光学塑料
铝反射膜
离子源辅助沉积
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职称材料
题名
真空紫外波段铝反射膜制备
被引量：
7
1
作者
林大伟
郭春
张云洞
李斌成
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期320-324,共5页
文摘
为制备出在130～210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130～210nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。
关键词
薄膜
铝反射膜
蒸发速率
真空紫外
时效性
紫外辐照
Keywords
thin
films
al
reflective
films
deposition
rate
vacuum
ultraviolet
aging
effect
ultraviolet
irradiation
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
原文传递
题名
车载抬头显示光学系统塑料元件反射膜的研制
被引量：
2
2
作者
刘冬梅
刘文成
付秀华
张静
岳鹏飞
李爽
机构
长春理工大学光电工程学院
光驰科技(上海)有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第12期1083-1089,共7页
基金
吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)
文摘
为了提高抬头显示系统中投影镜和反射镜的耐环境性和光学性能,以聚碳酸酯(PC)作为基底,采用电子束蒸发技术,使用过渡层和连接层技术以及渐增式离子源工艺,解决了薄膜与基底的附着力问题;利用真空退火,改善了环境测试过程中薄膜的膜裂现象;通过调节最外层SiO2的离子源工艺,改善了水煮测试过程中薄膜因水汽渗透而导致的反射率下降的问题。制备了耐环境性能强的平均反射率大于95%的金属-介质结构的高反射膜。实际样品满足抬头显示系统的要求,并通过了多项环境测试。
关键词
光学薄膜
抬头显示系统
光学塑料
铝反射膜
离子源辅助沉积
Keywords
Optic
al
film
Head
Up
Display
Optic
al
plastic
al
reflective
films
Ion
beam
assist
deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空紫外波段铝反射膜制备
林大伟
郭春
张云洞
李斌成
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
原文传递
2
车载抬头显示光学系统塑料元件反射膜的研制
刘冬梅
刘文成
付秀华
张静
岳鹏飞
李爽
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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