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低温APCVD法制备氮化硅薄膜 被引量:11
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作者 孟祥森 宋晨路 +2 位作者 余京松 葛曼珍 杨辉 《陶瓷学报》 CAS 1999年第3期119-122,共4页
本实验用常压化学气相沉积法( APCVD) 在平玻璃基板上沉积了氮化硅薄膜,研究了基板温度、反应气体比例、热处理等对氮化硅薄膜制备的影响,发现在700 ℃以下,NH3/SiH4 流量比例为15/1 时制得较纯的氮化硅薄膜... 本实验用常压化学气相沉积法( APCVD) 在平玻璃基板上沉积了氮化硅薄膜,研究了基板温度、反应气体比例、热处理等对氮化硅薄膜制备的影响,发现在700 ℃以下,NH3/SiH4 流量比例为15/1 时制得较纯的氮化硅薄膜,比常规APCVD 法制备温度低大约150 ℃。 展开更多
关键词 氮化硅 薄膜 apcvd 低温 陶瓷薄膜
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APCVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其性能研究 被引量:11
2
作者 王薇薇 郭玉 +1 位作者 张溪文 韩高荣 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期187-191,共5页
采用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiC l4)、氧气(O2)氨气(NH3)作为先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。通过对其进行扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外可见透过光谱(UV-VIS)研究后发现,氮掺杂后在二氧化钛薄膜中引... 采用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiC l4)、氧气(O2)氨气(NH3)作为先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。通过对其进行扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外可见透过光谱(UV-VIS)研究后发现,氮掺杂后在二氧化钛薄膜中引入Ti4O7相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变,光吸收限发生红移,相应从365.8nm红移到了402.6nm,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能。 展开更多
关键词 光催化性 亲水性 掺氮二氧化钛薄膜 常压化学气相沉积
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TiN镀膜玻璃的常压化学气相沉积法制备及其光电性能研究 被引量:8
3
作者 张涛 赵高凌 韩高荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期309-311,共3页
本研究以TiCl4和NH3为反应气体,N2为保护气氛,用常压化学气相沉积法(APCVD)在玻璃基板上沉积制备得到了一系列不同反应温度和原料浓度的TiN薄膜。利用X射线衍射(XRD)和方块电阻仪研究了反应温度和原料浓度对薄膜结晶性能和电性能的影响... 本研究以TiCl4和NH3为反应气体,N2为保护气氛,用常压化学气相沉积法(APCVD)在玻璃基板上沉积制备得到了一系列不同反应温度和原料浓度的TiN薄膜。利用X射线衍射(XRD)和方块电阻仪研究了反应温度和原料浓度对薄膜结晶性能和电性能的影响规律。研究结果表明随着基板温度升高、TiCl4浓度的增加,薄膜结晶性能提高,同时电阻率降低。在反应温度为600℃时得到了结晶性能较好的TiN薄膜,其方块电阻为186.7Ω,红外光反射率为0.2526。 展开更多
关键词 TIN 常压化学气相沉积 方块电阻
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掺氮二氧化钛薄膜的常压化学气相沉积及其结构性能研究 被引量:9
4
作者 郭玉 张溪文 韩高荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期190-194,共5页
用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiCl4)、氧气(O2)和氨气(NH3)作为气相反应先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。XRD、XPS和UV-Vis透射光谱研究表明,氮掺杂在二氧化钛薄膜中引入Ti4O7相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变... 用常压化学气相沉积(APCVD)法,以四氯化钛(TiCl4)、氧气(O2)和氨气(NH3)作为气相反应先驱体,成功制备了掺氮二氧化钛(TiO2)薄膜。XRD、XPS和UV-Vis透射光谱研究表明,氮掺杂在二氧化钛薄膜中引入Ti4O7相,抑制了锐钛矿相向金红石相的转变;氮掺杂促使光吸收限红移,提高了薄膜在可见光照射下的光催化效率,并改善了薄膜表面的亲水性能。该工艺成本低廉,成膜速度快(150 nm/min),适用于工业化浮法玻璃生产线,产业化前景广阔。 展开更多
关键词 常压化学气相沉积 掺氮TiO2薄膜 光催化性 亲水性
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SiC/Si异质生长的研究 被引量:7
5
作者 朱作云 李跃进 +1 位作者 杨银堂 贾护军 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期122-125,共4页
在半导体材料中,SiC比Si具有更优越的物理特性、化学特性和半导体特性,在高温、高频和功率器件制造中有十分广阔的应用前景.但是它的材料制备很困难.文中在理论分析基础上,以Si为衬底,用常压化学气相淀积(APCVD)技... 在半导体材料中,SiC比Si具有更优越的物理特性、化学特性和半导体特性,在高温、高频和功率器件制造中有十分广阔的应用前景.但是它的材料制备很困难.文中在理论分析基础上,以Si为衬底,用常压化学气相淀积(APCVD)技术,在温度为1100℃下,生长出SiC多晶薄膜。 展开更多
关键词 apcvd 异质外延 缓冲层 半导体材料 碳化硅
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连续快速常压化学气相沉积法制备TiO_2自清洁镀膜玻璃 被引量:8
6
作者 翁伟浩 宋晨路 +3 位作者 翁文剑 刘军波 应益明 韩高荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期16-20,共5页
以四异丙醇钛(TTIP)为先驱体,采用常压化学气相沉积(APCVD)法模拟镀膜工艺过程,制备出了TiO2自清洁镀膜玻璃。通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见透射光谱(UV-Vis)等手段对样品进行分析,并研究了基板温度和移动速率与薄膜性... 以四异丙醇钛(TTIP)为先驱体,采用常压化学气相沉积(APCVD)法模拟镀膜工艺过程,制备出了TiO2自清洁镀膜玻璃。通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见透射光谱(UV-Vis)等手段对样品进行分析,并研究了基板温度和移动速率与薄膜性能之间的关系。结果表明,当基板温度升高至580℃时,能够形成平整致密的薄膜,薄膜的结晶度,光催化性能和亲水性能也达到最好;基板移动速度下降到1.5 m/min时,薄膜的结晶度,光催化性和亲水性也可得到改善。依据光催化性能和亲水性能测试,表明沉积TiO2薄膜的最佳条件为基板温度58O℃,基板速度1.5 m/min。 展开更多
关键词 TIO2 常压化学气相沉积 自清洁 镀膜玻璃
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HP40钢表面沉积SiO_2功能涂层工艺 被引量:8
7
作者 罗小秋 黄志荣 +1 位作者 孙启凤 黄青 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期40-42,53,共4页
以正硅酸乙酯为源物质,空气为载气,采用常压化学气相沉积法在HP40(25Cr35Ni)合金钢基体上制备了SiO2涂层;研究了沉积温度、源物质温度以及气体流量等工艺参数对沉积速率的影响,并通过XRD和SEM分析了涂层的物相组成及表面形貌。结果表明... 以正硅酸乙酯为源物质,空气为载气,采用常压化学气相沉积法在HP40(25Cr35Ni)合金钢基体上制备了SiO2涂层;研究了沉积温度、源物质温度以及气体流量等工艺参数对沉积速率的影响,并通过XRD和SEM分析了涂层的物相组成及表面形貌。结果表明:用此方法可在HP40钢表面沉积出表面均匀致密且与基体具有一定结合强度的涂层,较合理的工艺参数为源物质温度60℃、沉积温度800℃、气体流量3.33 L.min-1。 展开更多
关键词 常压化学气相沉积法 SiO2涂层 HP40钢 沉积速率
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TiO_2薄膜发展现状及APCVD制备掺氮TiO_2性能研究
8
作者 王薇薇 郭玉 +1 位作者 张溪文 韩高荣 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期57-61,74,共6页
概述了TiO2的国内外发展现状,从原理、改性等方面详细介绍了TiO2的光催化特性,并对TiO2的制备方法进行了总结概括。用APCVD法所做的气体流量系列掺氮TiO2样品进行测试分析发现,氮已经掺入TiO2中,氮的掺杂改善了薄膜表面的亲水性能。
关键词 光催化性 掺氮TiO2薄膜 apcvd
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TCO玻璃的应用及制备方法 被引量:3
9
作者 刘国龙 关巍 高远 《安阳工学院学报》 2010年第2期28-30,42,共4页
通过对TCO玻璃的概念、技术指标、种类、制备方法及TCO玻璃生产线的阐述,旨在增强读者对TCO玻璃的了解。
关键词 TCO 太阳能薄膜电池 磁控溅射 apcvd
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生物医用金属钽涂层制备及性能 被引量:5
10
作者 于晓明 谭丽丽 杨柯 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期105-109,共5页
本研究采用常压化学气相沉积技术在平面和多孔钛合金基体上制备了金属钽涂层。反应原料为化学纯的五氯化钽,以高纯氢气作为还原气体及载气,将蒸发后的五氯化钽输送到高温沉积区,通过还原反应生成金属钽,并沉积在钛合金表面。通过X射线... 本研究采用常压化学气相沉积技术在平面和多孔钛合金基体上制备了金属钽涂层。反应原料为化学纯的五氯化钽,以高纯氢气作为还原气体及载气,将蒸发后的五氯化钽输送到高温沉积区,通过还原反应生成金属钽,并沉积在钛合金表面。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜和摩擦磨损试验机等设备对涂层进行表征。结果表明,钽涂层不仅可以沉积在平面钛合金表面,还可以沉积在多孔基体的外表面及内表面,而氢气流量和沉积温度均显著影响钽涂层的表面形貌及性能。经过实验参数的优化,钽涂层与钛合金基体有较佳的结合力,满足植入条件的要求。本研究结合了钛合金相对低廉的成本和金属钽优异的生物特性,为多孔钽在医疗领域的广泛应用提供了支持。 展开更多
关键词 金属钽涂层 化学气相沉积 钛合金
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不同沉积温度下V掺杂的TiN薄膜的结构和性能 被引量:2
11
作者 吴玲 赵高凌 +2 位作者 段钢锋 汪建勋 韩高荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期643-645,共3页
利用常压化学气相沉积法(APCVD)在玻璃基板上沉积制备了钒(V)掺杂的氮化钛(TiN)薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结构、形貌、以及光电性能进行了分析。结... 利用常压化学气相沉积法(APCVD)在玻璃基板上沉积制备了钒(V)掺杂的氮化钛(TiN)薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、光电子能谱仪(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结构、形貌、以及光电性能进行了分析。结果表明,薄膜呈典型的粒状结构。随着沉积温度的升高,薄膜的结晶强度不断增加,薄膜中V元素的比例增大,方块电阻逐渐降低。600℃时薄膜在近红外光区的反射率接近50%,在中远红外区的反射率达到93.74%,得到了兼具阳光控制功能和低辐射功能的V掺杂的TiN镀膜玻璃。 展开更多
关键词 apcvd 沉积温度 掺钒 氮化钛 结构和性能
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Preparation and characteri-zation of aligned carbon nanotubes coated with titania nanoparticles 被引量:2
12
作者 YU Hongtao ZHAO Huimin QUAN Xie CHEN Shuo 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2006年第18期2294-2296,共3页
Well-aligned carbon nanotubes coated with titania (TiO2) were prepared by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD),and the sequential experiments including carbon nano- tubes preparation,air-oxidation pu... Well-aligned carbon nanotubes coated with titania (TiO2) were prepared by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD),and the sequential experiments including carbon nano- tubes preparation,air-oxidation purification and tita- nia nanoparticles coating were performed at different temperatures in the same reactor. Scanning electron microscopy (SEM),transmission electron microscope (TEM),X-ray diffraction patterns (XRD),and energy- dispersive X-ray spectra (EDX) demonstrated the well-aligned nanotubes and TiO2 nanoparticles in close proximity and the average diameter of TiO2 nanoparticles was 11.5 nm. 展开更多
关键词 化学气相淀积 碳纳米管 涂层 TIO2 apcvd
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退火处理对SnO2:F薄膜光电性能的影响 被引量:4
13
作者 李铭 高倩 +2 位作者 刘涌 宋晨路 韩高荣 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期132-135,共4页
SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行... SnO2∶F薄膜作为low-e玻璃的表面功能层材料,广泛应用于节能镀膜玻璃。Low-e玻璃在后期退火(深加工)后,其性能的变化已经引起了学术研究和实际应用方面的的关注。我们对于用化学气相沉积法在玻璃表面沉积的约250nm厚的SnO2∶F薄膜进行不同的退火处理。并通过一系列的研究,结果发现,薄膜的结构、组成、电学、光学性能在氮气和空气两种不同的退火气氛下会有显著的变化。SnO2∶F薄膜的Low-e性能经过空气中高温退火后下降明显。通过计算对比退火后SnO2∶F薄膜的晶格常数和晶胞尺寸,提出了一种对于薄膜Low-e性能下降的合理解释。 展开更多
关键词 LOW-E SnO2∶F薄膜 退火 常压化学气相沉积
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常压CVD法制备氮氧化硅薄膜沉积特性的研究 被引量:2
14
作者 丁新更 杨辉 孟祥森 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1086-1090,共5页
采用常压化学气相沉积方法(atmospheric pressure chemical vapor deposition,APCVD)制备了氮氧化硅(Si—O—N)薄膜,研究了影响其沉积速率和生长模式的因素。在φ(NH_3):φ(SiH_4)=20:1,基板温度为650℃的条件下,当混合气体流量小于720m... 采用常压化学气相沉积方法(atmospheric pressure chemical vapor deposition,APCVD)制备了氮氧化硅(Si—O—N)薄膜,研究了影响其沉积速率和生长模式的因素。在φ(NH_3):φ(SiH_4)=20:1,基板温度为650℃的条件下,当混合气体流量小于720ml/min时,薄膜的形成主要受气体扩散过程控制;当混合气体流量大于720 ml/min时,则主要受表面气相反应过程控制;混合气体流量为720 ml/min的条件下,氮氧化硅薄膜的沉积过程主要受基板表面的气相反应过程控制,薄膜沉积厚度与沉积时间成线性关系,反应速率为常数1640 nm/min,表面活化能为283 kJ/mol。通过SEM分析发现:氮氧化硅薄膜的形成方式符合三维成核模型,即反应初期Si,N,O等原子在基板表面相遇结合在一起形成原子团,一定数量的原子团构成临界核;反应中期临界核长大为岛状结构,岛不断长大,岛与岛之间相互接合形成通道网络结构;反应后期,原子不断填补网络空洞,最后成为连续薄膜。 展开更多
关键词 常压化学气相沉积 氮氧化硅 薄膜 三维成核 apcvd
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IGBT制造工艺中的APCVD设备改进研究 被引量:1
15
作者 傅轶 《集成电路应用》 2017年第8期56-58,共3页
采用新的备件清洗和管理方式,降低offline和inline存在的particle和defect,提高产品line yeild,并研究常压化学气相淀积(APCVD)设备系统存在稳定性差,均匀性差等特点,合理使用设备和备件,增加设备保养周期内的出片率,降低产品缺陷和设... 采用新的备件清洗和管理方式,降低offline和inline存在的particle和defect,提高产品line yeild,并研究常压化学气相淀积(APCVD)设备系统存在稳定性差,均匀性差等特点,合理使用设备和备件,增加设备保养周期内的出片率,降低产品缺陷和设备维护成本的方法,并解决产能瓶颈的问题。 展开更多
关键词 集成电路制造 IGBT 常压化学淀积 apcvd Particle VPD
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温度对浮法在线APCVD法生产的TiO_2薄膜结构与性能的影响 被引量:1
16
作者 莫建良 《玻璃》 2010年第12期3-5,共3页
通过模拟浮法在线APCVD法生产TiO镀膜玻璃工艺,详细研究了玻璃基板温度对TiO薄膜膜层结构、形貌、光催化性能的影响。研究发现,基板温度影响TiO薄膜中各种晶相的相对比例,而不同晶相组成的膜层结构对膜层表面形貌和光催化性能有很大的... 通过模拟浮法在线APCVD法生产TiO镀膜玻璃工艺,详细研究了玻璃基板温度对TiO薄膜膜层结构、形貌、光催化性能的影响。研究发现,基板温度影响TiO薄膜中各种晶相的相对比例,而不同晶相组成的膜层结构对膜层表面形貌和光催化性能有很大的影响。 展开更多
关键词 apcvd TIO2薄膜 结构 形貌 光催化
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掺锡对α-Fe_2O_3薄膜微结构和气敏特性的影响研究 被引量:1
17
作者 柴常春 彭军 +1 位作者 严北平 镇桂芹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期71-74,共4页
本文用常压化学气相淀积法(APCVD)制备了α-Fe2O3薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和表面形貌(SEM)分析。对薄膜的气敏特性进行了测量。结果表明,用APCVD工艺制备的α-Fe2O3薄膜对烟雾极为敏感... 本文用常压化学气相淀积法(APCVD)制备了α-Fe2O3薄膜,对所制备的薄膜进行了X射线衍射分析和表面形貌(SEM)分析。对薄膜的气敏特性进行了测量。结果表明,用APCVD工艺制备的α-Fe2O3薄膜对烟雾极为敏感并且具有良好的选择性;本研究还对所制备的α-Fe2O3薄膜进行了有效的掺杂,对掺杂样品的气敏特性测试表明四价金属元素Sn的掺入对α-Fe2O3薄膜的气敏特性有显著的影响。实验表明用APCVD法制备掺Sn4+的α-Fe2O3薄膜不仅大幅度提高了材料对烟雾的灵敏度,同时也使得选择性得到明显改善。 展开更多
关键词 apcvd 氧化铁 薄膜 气敏特性
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APCVD法沉积温度对TiO_2薄膜结构的影响 被引量:1
18
作者 庞世红 王承遇 +2 位作者 李西平 刘静维 唐艳玲 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期82-84,共3页
利用APCVD方法在浮法玻璃表面沉积了TiO2薄膜,并用XRD和AFM分别研究了不同沉积温度下薄膜的晶型结构以及表面形貌。结果表明,随着沉积温度的升高,薄膜的晶型逐渐由无定形态转变为锐钛矿和金红石,薄膜的表面平均粗糙度逐渐变大。
关键词 apcvd TIO2 晶型转变 浮法玻璃
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APCVD制备二氧化硅薄膜工艺研究 被引量:1
19
作者 高丹 康洪亮 +1 位作者 徐强 佟丽英 《电子工艺技术》 2019年第6期345-347,355,共4页
背封技术可以有效防止硅外延过程中造成的自掺杂现象。讨论了APCVD制备二氧化硅膜工艺中膜厚、淀积温度和O2与SiH4比例等关系,分析了膜厚均匀性的影响因素和膜表面质量,提出了SiO2膜淀积的工艺条件及背封前清洗方法。
关键词 背封 apcvd SIO2膜
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Kinetic Study of SiO_2/S Coating Deposition by APCVD 被引量:1
20
作者 Jianxin ZHOU Hong XU Li ZHANG Jinglei LIU Xuegui QI Bo PENG 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第4期535-540,共6页
To alleviate catalytic coking on the inner surface of radiant tube for ethylene production in petrochemical plants,SiO2/S coatings were deposited on HP40 alloy specimens using dimethyldisulfide (DMDS) and tetraethox... To alleviate catalytic coking on the inner surface of radiant tube for ethylene production in petrochemical plants,SiO2/S coatings were deposited on HP40 alloy specimens using dimethyldisulfide (DMDS) and tetraethoxysilane (TEOS) by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD). A two-dimension mathematical model was made to predict the growth rate of SiO2/S coating and to study the effects of deposition parameters on the deposition rate. The results show that the predicted deposition rate is in good agreement with the experimental one. The deposition rate mainly depends on the concentrations of precursors in the total gas flow, concentrations of intermediates on the deposition surface, total gas flow rate and deposition temperature. The weight of SiO2/S coating linearly increases with the deposition time. When the gas flow rate is below 0.3 m/s, the rate-limiting step of SiO2/S coating deposition is the diffusions of intermediates.However, the surface reactions of intermediates will be the rate-limiting step after the gas flow rate is above 0.3 m/s. When the deposition temperature is below 780℃, the rate-limiting step of SiO2/S coating deposition mainly depends on the surface reactions of intermediates. When the deposition temperature is above 780℃,the rate-limiting step depends on the diffusions of intermediates. The deposition rate increases with increasing the concentrations of the intermediates. However, when the partial pressures of the intermediates reach 8 Pa,the deposition rate keeps constant. 展开更多
关键词 apcvd SiO2/S coating Mathematical model HP40 steel KINETICS
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