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题名声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真
被引量：3
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作者
陈营端
高杨
白竹川
刘婷婷
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机构
西南科技大学信息工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
西南科技大学制造科学与工程学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第12期739-743,749,共6页
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基金
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016)
教育部访问学者基金资助项目(无编号)
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文摘
为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30～40个网格可以得到较精确的仿真结果。对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1～2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性。最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件SAW传播速度与ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO结构器件SAW传播速度的2～3倍。
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关键词
RF
MEMS
SAW谐振器
叉指换能器(IDT)
ansys软件
建模与仿真
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Keywords
RF MEMS
SAW resonator
interdigital transducer （IDT）
ansys software modeling and simulation
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分类号
O422
[理学—声学]
TN712
[理学—物理]
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