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氧分压对TiO_2薄膜微观结构与光吸收性能的影响 被引量：2
1
作者 杨兵初 高飞 +1 位作者 刘晓艳 张丽 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期64-68,共5页
采用直流磁控溅射法在不同氧分压下制备TiO2薄膜;研究氧分压对TiO2薄膜的表面形貌、晶体结构、化学组分及光吸收性能的影响。研究结果表明:Ti在所有样品中均以+4价态存在;随着氧分压的增大,TiO2薄膜颗粒逐渐变大,薄膜的结晶质量随着氧... 采用直流磁控溅射法在不同氧分压下制备TiO2薄膜;研究氧分压对TiO2薄膜的表面形貌、晶体结构、化学组分及光吸收性能的影响。研究结果表明:Ti在所有样品中均以+4价态存在;随着氧分压的增大,TiO2薄膜颗粒逐渐变大,薄膜的结晶质量随着氧分压的增大逐渐提高;在吸收光谱中,300 nm附近的紫外吸收峰随着氧分压的增大而减弱,在330～465 nm范围内出现1个吸收谷,且该吸收谷随着氧分压的增大而减小,当氧分压达到0.8 Pa时,吸收谷基本消失。 展开更多
关键词 TIO2薄膜 氧分压 +4价钛 吸收特性
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