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基于直流-交变电场的单晶硅3D微纳结构制备方法研究
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作者 焦晓东 巢炎 +3 位作者 吴立群 姚安琦 楼洪梁 李仁旺 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第21期2923-2928,共6页
贵金属颗粒辅助化学腐蚀法在制备硅微纳线结构方面具有独特的作用。为了自动控制贵金属颗粒在单晶硅体内的运动方向,提高制备复杂3D硅微纳结构的可能性和结构品质,提出一种基于复合电场的单晶硅3D微纳结构制备方法。设计了直流-交变复... 贵金属颗粒辅助化学腐蚀法在制备硅微纳线结构方面具有独特的作用。为了自动控制贵金属颗粒在单晶硅体内的运动方向,提高制备复杂3D硅微纳结构的可能性和结构品质,提出一种基于复合电场的单晶硅3D微纳结构制备方法。设计了直流-交变复合电场模型来研究贵金属颗粒辅助化学腐蚀法的机理,并分析了电场频率对单晶硅微纳结构的影响。设计了外电场控制模型及试验,讨论了电场强度和电场方向对腐蚀效率和腐蚀轨迹的作用规律。微结构观测结果验证了利用电场控制腐蚀加工过程的可行性,得到了优化的电场电流密度和电场频率工作区间,为制备3D硅微纳结构提供了新的试验思路和机理分析途径。 展开更多
关键词 贵金属颗粒 辅助化学腐蚀法 直流交变电场 3D微纳结构 可控制备
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Preparation of 3D micro/nanostructured CeO2: Influence of organic/inorganic acids 被引量:1
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作者 Runnong Yang Lin Yu +3 位作者 Ming Sun Xiangyun Zhao Gao Cheng Wenjin Ye 《Particuology》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第2期17-25,共9页
CeO2 is an important porous material with a wide range of applications in the abatement of volatile organic compounds (VOCs). In this paper, we prepared a series of novel three-dimensional (3D) micro/nanostructure... CeO2 is an important porous material with a wide range of applications in the abatement of volatile organic compounds (VOCs). In this paper, we prepared a series of novel three-dimensional (3D) micro/nanostructured CeO2 materials via a solvothermal method. Organic acid-assisted synthesis and inorganic acid post-treatment were used to adjust the Ce02 microstructures. The size of the 3D micro/nanostructures could be controlled in the range from 180nm to 1.5 μm and the surface morphology changed from rough to smooth with the use of different organic acids. The CeO2 synthesized with acetic acid featured a hierarchical porosity and showed good performance for toluene catalytic combustion: a T50 of 187 ℃ and a T90 of 195 ℃. Moreover, the crystallite size, textural properties, and surface chemical states could be tuned by inorganic acid modification. After treatment with HNO3, the modified CeO2 materials exhibited improved catalytic activity, with a T50 of-175 ℃ and a T90 of -187 ℃. We concluded that the toluene combustion activity is related to the porosity and the amount of surface active oxygen of the CeO2. Both these features can be tuned by the co-work of organic and inorganic acids. 展开更多
关键词 3D micro/nanostructure CeO2 Organic acid Inorganic acid Toluene catalytic combustion
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3D飞秒激光纳米打印 被引量:11
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作者 刘墨南 李木天 孙洪波 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第1期98-110,共13页
现今各个应用领域的器件微型化、功能化和集成化的发展趋势,对微纳加工技术提出了巨大挑战。越来越多器件的核心设计都依赖于高度图案化的三维复杂微纳结构。3D飞秒激光纳米打印(FsLNP)是一种无掩模的、利用飞秒激光直写进行加工的三维... 现今各个应用领域的器件微型化、功能化和集成化的发展趋势,对微纳加工技术提出了巨大挑战。越来越多器件的核心设计都依赖于高度图案化的三维复杂微纳结构。3D飞秒激光纳米打印(FsLNP)是一种无掩模的、利用飞秒激光直写进行加工的三维增材加工技术。其高度可设计性和远超光学衍射极限的高加工精度能够充分满足复杂技术需求。基于3D飞秒激光纳米打印独特的双光子聚合机制,只要合理设计所需材料的光聚合方案和微纳结构,可以制备一系列效率高且性能优越的微纳器件。简要介绍了3D飞秒激光纳米打印的技术要点、基本原理和目前所涉及的典型应用。 展开更多
关键词 激光技术 飞秒激光 3D纳米打印 双光子聚合 三维微纳结构
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Ni3S2微纳米结构超疏水表面的制备及耐蚀性能 被引量:5
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作者 尹晓丽 于思荣 胡锦辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第20期3372-3376,共5页
随着表面科学和仿生学的迅速发展,超疏水材料的制备和研究已成为当下研究的热点,其性能优异,具有十分广阔的应用前景。本工作采用水热反应法在泡沫镍基体上直接生长Ni3S2微纳米复合结构,经过十四酸修饰后获得性能优良的超疏水表面。实... 随着表面科学和仿生学的迅速发展,超疏水材料的制备和研究已成为当下研究的热点,其性能优异,具有十分广阔的应用前景。本工作采用水热反应法在泡沫镍基体上直接生长Ni3S2微纳米复合结构,经过十四酸修饰后获得性能优良的超疏水表面。实验探究了水热反应温度和反应时间对水滴在超疏水表面接触角的影响。研究发现,水热反应温度为180℃、反应时间为6 h的条件下获得的水热反应层表面的水滴接触角达到最大值160.28°。采用扫描电子显微镜观察超疏水试样表面的微观结构,发现在基体表面生长了一层交错排列的锥状结构。利用X射线衍射仪和能谱仪对水热反应层表面进行物相及表面化学成分分析发现,与泡沫镍基体相比,水热反应层表面除了存在Ni相外还形成了新的Ni3S2相。对获得的超疏水试样进行性能测试,发现利用该方法制备的超疏水材料具有良好的耐酸碱性和耐电化学腐蚀特性。 展开更多
关键词 超疏水表面 Ni3S2 微纳米结构 水热反应 耐酸碱性 电化学腐蚀特性
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