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采用UV-LIGA技术制作340GHz折叠波导慢波结构 被引量：5
1
作者 李含雁 白国栋 +2 位作者 李兴辉 唐烨 冯进军 《太赫兹科学与电子信息学报》 2013年第4期527-530,共4页
紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其... 紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构,研究前烘、曝光量、后烘对SU8胶模的影响,着重讨论了曝光量的影响并分析其原因,得出最佳工艺。另外,本文还对去胶进行了初步研究,获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。 展开更多
关键词 紫外光刻 电铸和注塑技术 SU8胶模 曝光量 340 ghz折叠波导
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