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牺牲层二维腐蚀修正模型的研究
被引量：
1
1
作者
俞佳佳
方玉明
+1 位作者
蒋文涛
吉新村
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期809-813,共5页
针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内...
针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内外拐角等多种复杂组合结构腐蚀过程的模拟,使用MATLAB软件绘制腐蚀图形,最后将模拟结果与实验结果进行了对比,验证了模型的合理性。
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关键词
牺牲层腐蚀
二维腐蚀模型
扩散系数
计算机模拟
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职称材料
题名
牺牲层二维腐蚀修正模型的研究
被引量：
1
1
作者
俞佳佳
方玉明
蒋文涛
吉新村
机构
南京邮电大学电子科学与工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期809-813,共5页
基金
江苏省普通高校专业学位研究生科研实践计划项目(SJLX_0372)
江苏省自然科学基金项目(BK20131380
BK20130880)
文摘
针对氢氟酸腐蚀氧化硅,深入研究了牺牲层腐蚀的原理。牺牲层腐蚀主要受扩散机制影响。把二维扩散方程中的扩散系数看作溶液浓度和温度的函数,建立了二维腐蚀修正模型。利用有限差分算法求解扩散方程,并使用C语言编程实现了对单开口、内外拐角等多种复杂组合结构腐蚀过程的模拟,使用MATLAB软件绘制腐蚀图形,最后将模拟结果与实验结果进行了对比,验证了模型的合理性。
关键词
牺牲层腐蚀
二维腐蚀模型
扩散系数
计算机模拟
Keywords
sacrificial
layer
etching
2
-D
etching
model
diffusion
coefficient
simulation
with
computer
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
牺牲层二维腐蚀修正模型的研究
俞佳佳
方玉明
蒋文涛
吉新村
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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