微镜单元的设计与加工工艺研究

1

作者 蒋军彪 冯培德 +1 位作者 魏芳琳 徐建东 《航空精密制造技术》 北大核心 2001年第1期11-14,共4页

详细介绍了微光学电子机械系统MOEMS领域的用于光学信号调制的微镜单元，分析了该微镜单元的工作原理及结构，推导了动态方程的有关参数，给出了仿真结果。首次提出了该结构前两阶频率的表达式，并与相应的有限元模态分析结果进行了比... 详细介绍了微光学电子机械系统MOEMS领域的用于光学信号调制的微镜单元，分析了该微镜单元的工作原理及结构，推导了动态方程的有关参数，给出了仿真结果。首次提出了该结构前两阶频率的表达式，并与相应的有限元模态分析结果进行了比较。本文还对微镜的加工工艺作了简要介绍。 展开更多

关键词 微镜单元 压膜阻尼 模态 微机械加工

原文传递

曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究 被引量：3

2

作者 杨尊先 李昕欣 于映 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期138-144,共7页

利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动... 利用有限元模拟方法,对一种高量程MEMS加速度计进行10万g正弦加速度脉冲下的动态冲击响应分析。首先,建立适用于该器件曲面阻尼的分段近似叠加理论模型;随后,采用ANSYS有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁固有频率振动的叠加。当阻尼带隙较小时,输出结果表现为冲击载荷下的受迫振动响应;随着阻尼带隙变宽,悬臂梁固有频率振动渐突显,响应峰值电压也近线性增加,而峰值电压所对应时间则非线性减小。在其它条件相同情况下,阻尼介质粘滞系数越大,响应输出曲线越光滑,但其峰值电压也相应越低。在空气阻尼介质中,过载保护曲面的平移距离控制在0.5～0.65μm范围内,以获取较好的动态响应效果。 展开更多

关键词 高g加速度传感器 压膜阻尼 曲面过载保护 冲击响应

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MEMS低频水声电容传感器的设计 被引量：3

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作者 王雁 刘梦然 +1 位作者 张国军 李静 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第1期19-22,共4页

针对低频水声信号的探测需求,设计了一种MEMS低频水声电容传感器。为适应水下工作环境,改善振膜的承压性,将电容敏感结构整体置于硅油中,同时在振膜上开设6个对称均匀分布的小孔,以降低硅油压膜阻尼。文中介绍了MEMS低频水声电容传感器... 针对低频水声信号的探测需求,设计了一种MEMS低频水声电容传感器。为适应水下工作环境,改善振膜的承压性,将电容敏感结构整体置于硅油中,同时在振膜上开设6个对称均匀分布的小孔,以降低硅油压膜阻尼。文中介绍了MEMS低频水声电容传感器的工作原理,通过机械建模结合ANSYS Workbench有限元仿真分析,确定了电容敏感结构的结构参数及性能指标。电容敏感单元采用了C-SOI加工工艺方法,传感器振膜和空腔分别定义在SOI片和硅片上。MEMS低频水声电容传感器的谐振频率为5 498.6 Hz,灵敏度为-148.4 d B。 展开更多

关键词 水声电容传感器 压膜阻尼 ANSYS WORKBENCH C-SOI加工工艺

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低压下微机械谐振器件挤压膜阻尼分子动力学仿真的一种高效算法 被引量：2

4

作者 高流 李普 方玉明 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2009年第12期101-106,共6页

正确预测挤压膜气体阻尼对于微机械谐振器件的设计是至关重要的。目前,当气压不太低时,已经有比较完善的连续介质模型能描述挤压膜气体阻尼。当气压很低时,气体连续介质模型不再适用,只能采用分子动力学方法。但是,当前关于自由分子区... 正确预测挤压膜气体阻尼对于微机械谐振器件的设计是至关重要的。目前,当气压不太低时,已经有比较完善的连续介质模型能描述挤压膜气体阻尼。当气压很低时,气体连续介质模型不再适用,只能采用分子动力学方法。但是,当前关于自由分子区域中的微谐振器件挤压膜阻尼的分子动力学研究非常少,为了避免计算量过大,还未有三维的挤压膜阻尼分子动力学模型。提出一种高计算效率的三维分子动力学算法。该方法以气体分子速度分布函数生成每一分子的初始速度,通过分别单独计算每一气体分子在一个振动周期内与器件碰撞获得的动能增量,得到一个振动周期内气体分子总体动能增量,从而计算器件挤压膜阻尼。与已有的实验结果对比表明,该算法具有良好的精度,而且计算量是可以接受的。 展开更多

关键词 挤压膜阻尼 分子动力学 品质因数

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微机械结构中考虑边界滑移的穿孔平板压膜阻尼分析 被引量：1

5

作者 高春晖 高世桥 +2 位作者 金磊 刘海鹏 牛少华 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期562-566,共5页

针对微机械结构中的穿孔平板提出了一种精简的压膜阻尼计算模型,计算时考虑了气体的稀薄效应和穿孔造成的压力损失及其内壁产生的气流剪切力.分析时将穿孔平板分解为多个压力分布相同的圆环板,通过修正的雷诺方程得到每个圆环板的压力分... 针对微机械结构中的穿孔平板提出了一种精简的压膜阻尼计算模型,计算时考虑了气体的稀薄效应和穿孔造成的压力损失及其内壁产生的气流剪切力.分析时将穿孔平板分解为多个压力分布相同的圆环板,通过修正的雷诺方程得到每个圆环板的压力分布.考虑边界滑移解释了气体的稀薄效应,根据气体的流量守恒给出了穿孔造成的压力损失.为了验证理论模型的正确性,分别与Kwok、Veijola的理论模型和Pasquale的实验结果进行了对比.结果表明本文给出的阻尼计算模型相对于Kwok给出的阻尼计算模型计算起来更准确,相对于Veijola给出的阻尼计算模型在精度相差不大的情况计算起来更方便. 展开更多

关键词 压膜阻尼 穿孔 稀薄效应 滑移

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声表面波加速度计中压膜阻尼技术的研究

6

作者 熊嚥 陈明 +1 位作者 郭琳 赵博辉 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第10期35-36,42,共3页

分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性。利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型。通过对该模型进行计算机仿真分析,总结出各种压膜阻尼参数影响声表面波加速度计性能的规律,从而为声表面波加速度计的... 分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性。利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型。通过对该模型进行计算机仿真分析,总结出各种压膜阻尼参数影响声表面波加速度计性能的规律,从而为声表面波加速度计的设计提供重要的理论依据。 展开更多

关键词 声表面波 加速度计 等效电路模型 性能 模拟方法 机电 设计 压膜阻尼

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压膜阻尼对有孔微梁谐振器振动特性影响分析

7

作者 冯闯 《湖南农机（学术版）》 2009年第1期37-39,共3页

微梁谐振器是微机电系统中常用的一种谐振器。基于修正雷诺方程和梁的振动理论,通过求解微梁的控制方程,得到了压膜阻尼对有孔微梁梁振动特性的影响,可以为器件的优化设计提供参考。

关键词 微电机系统 压膜阻尼 谐振器 品质因子

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具有自由悬浮敏感膜的硅微机械电容式麦克风的设计与仿真计算 被引量：2

8

作者 王伟 董健 计时鸣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1571-1575,共5页

提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力。底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的... 提出了一种具有自由悬浮敏感膜和带孔铜底板的硅微机械电容式麦克风。采用低压化学汽相淀积工艺制作而成的复合敏感膜一端固定于硅基,其余部分处于自由悬浮状态,可以释放敏感膜的内应力。底板采用铜电镀技术制作,底板上呈蜂窝状分布的圆形通气孔用来调节敏感膜与底板间的空气压膜阻尼。仿真计算表明在5V偏置电压下麦克风灵敏度为10.62mV/Pa,工作稳定最大电压为9.7V,工作频率带宽为0～10.57kHz。分析结果表明该微机械麦克风能满足市场需求。 展开更多

关键词 硅微机械电容式麦克风 自由悬浮敏感膜 空气压膜阻尼 灵敏度 频率带宽

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回转轴系参数识别研究 被引量：1

9

作者 刘永明 马淦林 王正奎 《中国纺织大学学报》 CSCD 1990年第2期38-46,共9页

本文以纺织机械中的一个重要部件——细纱锭子为例,从连续系统的复模态观点出发,研究了具有挤压油膜阻尼装置的回转轴系的参数识别问题,导出了连续系统振型方程的“共轭自乘积分式”,由此建立了具有任意分布的粘性阻尼和弹簧作用的连续... 本文以纺织机械中的一个重要部件——细纱锭子为例,从连续系统的复模态观点出发,研究了具有挤压油膜阻尼装置的回转轴系的参数识别问题,导出了连续系统振型方程的“共轭自乘积分式”,由此建立了具有任意分布的粘性阻尼和弹簧作用的连续系统物理参数和模态参数之间的关系,并且在对回转轴系进行复模态分析的基础上建立了识别系统油膜刚度和阻尼系数的迭代公式,从而只要采用单点激振、单点测量的方法即可足够精确地识别出系统的油膜刚度、阻尼系数。另外,本文还建立了求解回转轴系复频率的迭代公式。 展开更多

关键词 回转轴系 参数识别 机械振动学

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缩短RFMEMS开关释放时间的上悬梁方法 被引量：1

10

作者 邓成 鲍景富 +3 位作者 凌源 杜亦佳 赵兴海 郑英彬 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期714-719,732,共7页

针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了在开关梁上设计一个上悬梁的方法,以增大开关梁所受压膜阻尼,抑制开关梁在平衡位置附近的振动,从而缩短RF MEMS开关的释放时间。给出了这种方法的相关理论、等效模型及仿真结果。通过ANSYS仿... 针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了在开关梁上设计一个上悬梁的方法,以增大开关梁所受压膜阻尼,抑制开关梁在平衡位置附近的振动,从而缩短RF MEMS开关的释放时间。给出了这种方法的相关理论、等效模型及仿真结果。通过ANSYS仿真雷声梁在设置上悬梁前后的动态特性:对于4μm高的梁,释放时间由设置上悬梁前的103μs(0.5μm厚),176μs(0.8μm厚)和232.5μs(1.1μm厚)分别下降为53.3,89和123.4μs;对于3μm高0.5μm厚的梁,释放时间由43.3μs下降为22μs。仿真结果均表明:在标准大气压下,当雷声梁高度为上悬梁高度的一半时,加入上悬梁后雷声梁的释放时间约为原来的1/2,即开关速度约为原来的2倍。 展开更多

关键词 RFMEMS开关 释放时间 开关速度 上悬梁 空气压膜阻尼

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扭臂结构静电驱动式微驱动器动力学特性分析 被引量：8

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作者 孙东明 董玮 +3 位作者 玄伟 刘彩霞 王国东 陈维友 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期658-665,共8页

基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,... 基于扭转动力学原理,推导了用于分析静电微驱动器的驱动电压、响应时间和其它动力学参数的特性方程。对于忽略和考虑空气阻尼效应的2种情况,分别进行了详细的讨论,计算结果可以用于分析器件处于真空和空气条件下的工作状态。结果表明,当考虑空气阻尼时,悬臂梁的运动轨迹与忽略空气阻尼时相比较发生相当大的改变,从而吸合(pull-in)电压和响应时间等计算结果也发生改变。因此,对于微机电系统(MEMS)器件的设计和制作,空气阻尼效应是影响其性能和工作条件的重要因素。最后,介绍了一种光学测量方法,可用于器件的响应时间和悬臂梁扭转角度等参数的测试,得到的实验结果与理论分析结果有较好的吻合。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 微驱动器 静电驱动 动力学分析 空气压膜阻尼

原文传递

参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究 被引量：8

12

作者 张文明 孟光 +1 位作者 周健斌 陈杰宇 《力学季刊》 CSCD 北大核心 2009年第1期44-48,共5页

静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注,共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为。提出参数激励作用下静... 静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注,共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为。提出参数激励作用下静电驱动微机电系统中梁式微结构共振传感器的动力学模型,采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分析,探讨直流偏置电压、压膜阻尼和交流激励电压幅值对系统频率响应、共振频率的影响规律,结果表明:直流偏置电压和交流电压幅值都具有软化效应,且使共振频率漂移到较小的数值范围,压膜阻尼对共振频率的影响较小,但是增大压膜阻尼会使稳态振幅的峰值明显下降,为静电驱动微机电系统共振传感器的动力学分析与设计提供参考。 展开更多

关键词 微机电系统 参数激励 静电驱动 共振传感器 压膜阻尼

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压膜阻尼作用下微机械谐振器动力学分析 被引量：7

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作者 张琪昌 周凡森 王炜 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2015年第17期124-130,共7页

静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机械谐振器,作为表面效应的空气阻尼以及三次非线性静电刚度会显著影响器件的动态响应特性。通过压膜阻尼理... 静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机械谐振器,作为表面效应的空气阻尼以及三次非线性静电刚度会显著影响器件的动态响应特性。通过压膜阻尼理论,探究了双端固支梁在自由振动过程中由于环境压力引起的空气阻尼和三次非线性静电刚度对微梁的运动形态、谐振响应等性能参数的影响,发现了双极板微谐振器振动特性与环境压力以及立方非线性静电刚度的关系。结果表明:环境压力的增加会使微机械谐振器的共振频率增加,振动的幅值以及共振漂移的幅度减小。微机械谐振器在小位移振动时,通过对幅频曲线的分析发现,三次非线性静电刚度会使微机械谐振器表现出或软或硬的非线性特性且不可忽略。 展开更多

关键词 微机械谐振器 压膜阻尼 环境压力

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孔的形状和排列方式对厚孔板微结构压膜空气阻尼的影响分析 被引量：6

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作者 董林玺 刘国华 钱忺 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1262-1266,共5页

本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该... 本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单元阵列,若孔的总面积和孔单元面积均为常数,当孔数增加到某一值时有最小阻尼力,并用FEM工具ANSYS证明了该结论的正确性.结果还表明孔数对恒定尺寸微结构空气阻尼的影响随着结构厚度和孔数的增加而变得更加明显.分析结果对比表明在同样的尺寸条件下,孔方形排列微结构的空气阻尼小于孔蜂窝式排列微结构的空气阻尼,该现象随着孔单元面积的增加变得越明显,但是随着孔单元接近微结构的边界,阻尼之间的差距减小.研究结果可以用在高精度MEMS器件如MEMS地震检波器、MEMS光开关和MEMS红外光传感器等的优化设计中去. 展开更多

关键词 MEMS加速度计 压膜空气阻尼 孔板 孔排列 优化设计

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静电悬浮微硅陀螺的空气阻尼特性 被引量：5

15

作者 吴黎明 董景新 +1 位作者 韩丰田 刘云峰 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1972-1975,共4页

为保证静电悬浮微陀螺在工作状态下具有期望的动态特性,需要得到微陀螺六自由度运动的空气阻尼模型。根据流体力学和分子动力学的基本理论,在考虑空气流动状态、温度和气膜可压缩性的基础上,构建了描述微陀螺压膜阻尼特性的Reynolds方程... 为保证静电悬浮微陀螺在工作状态下具有期望的动态特性,需要得到微陀螺六自由度运动的空气阻尼模型。根据流体力学和分子动力学的基本理论,在考虑空气流动状态、温度和气膜可压缩性的基础上,构建了描述微陀螺压膜阻尼特性的Reynolds方程,以及描述滑膜阻尼特性的Couette流模型。将微陀螺表头内部气膜分成了8个区,推导了气膜在大间隙振动、径向摆动和轴向旋转时的气膜阻尼系数。根据微陀螺的结构参数进行气膜阻尼仿真,结果表明:轴向压膜阻尼对微陀螺支承系统的动态特性影响最大,气膜间隙-气膜阻尼系数曲线呈抛物线型,气膜阻尼系数随温度呈线性变化。 展开更多

关键词 静电悬浮 微硅陀螺 滑膜阻尼 压膜阻尼

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微流体对中心开孔圆盘的阻尼特性 被引量：3

16

作者 王卫东 贾建援 《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第2期218-222,共5页

由缝隙流和挤压流动控制方程得到了滑流边界条件下的粘性修正的流动解.分析了圆盘的运动阻尼与缝隙大小、中心孔径以及圆盘厚度的关系,给出了设计滑膜和压膜合成阻尼的解析表达式.微流体对圆盘的阻尼与圆盘面的表面特性相关.通过修正动... 由缝隙流和挤压流动控制方程得到了滑流边界条件下的粘性修正的流动解.分析了圆盘的运动阻尼与缝隙大小、中心孔径以及圆盘厚度的关系,给出了设计滑膜和压膜合成阻尼的解析表达式.微流体对圆盘的阻尼与圆盘面的表面特性相关.通过修正动量协调系数可得到合适的等效粘度,以计算微流体对运动物体的阻尼力.算例表明,用本文中提出的解析方法得到的结果与有限元方法的数值解吻合. 展开更多

关键词 微流体 开孔圆盘 压膜阻尼 滑膜阻尼 动量协调系数 解析解

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弹性悬臂微梁谐振系统挤压膜阻尼新解析模型 被引量：4

17

作者 李普 胡如夫 尹垚 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2008年第3期1-4,25,共5页

正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。过去,弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型。但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系。从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发,提出了新... 正确预测挤压膜阻尼对于MEMS器件设计是至关重要的。过去,弹性悬臂微梁挤压膜阻尼的解析计算一般采用Darling等提出的模型。但基于格林函数法的Darling模型简化了流-固耦合关系。从弹性微梁振动方程和雷诺方程的耦合关系出发,提出了新的弹性悬臂微梁挤压膜阻尼解析计算模型,导出了解析形式的等效阻尼系数和等效刚度系数。这两个系数完全由梁和挤压膜气体的物理性质决定。最后,通过与Vignola实验结果、Darling模型计算结果、AN-SYS/FLOTRAN计算结果相比表明,所提出模型的计算精度有较明显的提高。 展开更多

关键词 挤压膜 弹性悬臂微梁 MEMS

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压膜阻尼在声表面波加速度传感器中的应用

18

作者 王锋 史国伟 陈明 《测控技术》 CSCD 2001年第3期20-23,共4页

声表面波 (SAW)加速度传感器的精度高 ,具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需要 ,对SAW加速度传感器中所采用的压膜阻尼进行了理论分析 ,并采用机电等效模拟技术对微间隙压膜阻... 声表面波 (SAW)加速度传感器的精度高 ,具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需要 ,对SAW加速度传感器中所采用的压膜阻尼进行了理论分析 ,并采用机电等效模拟技术对微间隙压膜阻尼进行了仿真 ,取得了较好的效果。 展开更多

关键词 声表面波加速度传感器 压膜阻尼 模拟技术 加速度计

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基于压膜阻尼效应的纳米振动传感光机系统设计

19

作者 梁亮 梁文峰 +2 位作者 翟胜杭 杨铁 于鹏 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第11期1863-1870,共8页

原子力显微镜(AFM)在微纳成像、测量等领域有着举足轻重的作用,然而振动引起的噪声对其成像和测量有较大影响。为减小振动影响,采用双测头差分的方法进行测量成像,而双测头测量系统中测振测头需满足小型化的需求。因此,提出一种基于压... 原子力显微镜(AFM)在微纳成像、测量等领域有着举足轻重的作用,然而振动引起的噪声对其成像和测量有较大影响。为减小振动影响,采用双测头差分的方法进行测量成像,而双测头测量系统中测振测头需满足小型化的需求。因此,提出一种基于压膜阻尼效应的纳米振动传感光机系统,旨在满足该需求。通过对系统的光路与结构进行设计,实现系统的小型化,并且仿真验证了设计的合理性。在此基础上,搭建实物进行实验,测量系统的底噪、灵敏度、带宽等参数,以验证理论分析的正确性。实验结果表明:测头部分的尺寸仅为25 mm×40 mm×40 mm,系统的底噪低于150 fm/√Hz,灵敏度为1823 nm/V,带宽为705 Hz,分辨率为0.8 nm。本系统可实现对于AFM测头纳米级的振动测量,为AFM的振动噪声测量提供了一种方法,并且为实现AFM测头微型化提供了参考。 展开更多

关键词 光机系统 压膜阻尼效应 振动测量 纳米级 传感

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微机械轮式角振动陀螺气体阻尼特性研究 被引量：2

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作者 陈奥运 凤瑞 +2 位作者 庄须叶 徐大诚 郭述文 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期54-58,共5页

轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态滑膜阻尼数学解析模型,并给出了改进解析模型。利用有限差分算法求解极坐标系下雷诺方程,建立了敏感模态... 轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态滑膜阻尼数学解析模型,并给出了改进解析模型。利用有限差分算法求解极坐标系下雷诺方程,建立了敏感模态压膜阻尼简化分析模型。在5 Pa到10~5Pa压强范围内,进行了简化分析模型计算,同时对计算结果进行了与ANSYS仿真结果的比对。理论模型计算与仿真结果表明,敏感模态压膜阻尼是轮式角振动陀螺气体阻尼的主要产生机制。进而,从结构设计和控制电路的角度,给出了减小气体阻尼效应的有效方法。 展开更多

关键词 微机械轮式角振动陀螺 滑膜阻尼 压膜阻尼 品质因数

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