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化学气相沉积钽限制性环节初探
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作者 赵树壮 宋立贤 +1 位作者 庞安才 杨现林 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 1997年第1期62-64,70,共4页
本实验用氯气将钽块氯化，然后用氢还原，在镍基合金上沉积出致密的钽涂层。根据反应速度和温度的关系，求出反应的活化能。
关键词 化学气相沉积 镍基合金 钽涂层 活化能
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