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超精密仪器工程关键技术研究若干进展 被引量：6
1
作者 谭久彬 李东升 《中国计量学院学报》 2003年第2期83-88,共6页
　介绍超精密仪器工程研究中的几个最近研究进展:二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代... 　介绍超精密仪器工程研究中的几个最近研究进展:二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术、无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代表了目前超精密仪器工程研究的发展趋势,优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键。 展开更多
关键词 超精密仪器工程 微小内尺度测量 三维轮廓测量 微力接触式测量 振动扫描式测量 伺服移焦技术 准原子力显微镜 共焦显微镜 三维激光测量 超精密回转基准技术 超精密直线基准技术 微驱动技术
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基于Workbench某步进电机微型驱动器结构设计分析 被引量：1
2
作者 冯岗 柳海科 +4 位作者 贾波 张朝晖 苗瑞 吴琎 吴波 《微电机》 2022年第10期82-87,共6页
针对一种微型步进电机驱动器的复杂工作环境,考虑了热、力、形三方面因素。通过对驱动器进行总体结构分析、结构布局优化和关键结构分析,设计一种可安装步进电机驱动器的结构,为驱动器提供优质的运行环境。同时,运用Ansys Workbench仿... 针对一种微型步进电机驱动器的复杂工作环境,考虑了热、力、形三方面因素。通过对驱动器进行总体结构分析、结构布局优化和关键结构分析,设计一种可安装步进电机驱动器的结构,为驱动器提供优质的运行环境。同时,运用Ansys Workbench仿真平台对结构进行有限元分析,并利用成熟的灌封工艺技术进一步对结构和工艺进行优化,经仿真对比与样机试验验证,采用灌封技术的可靠性优于前者,且运行状态稳定,可为今后微型驱动器结构设计提供参考。 展开更多
关键词 结构设计 驱动器 有限元分析 灌封技术
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一种微米级机电系统的设计
3
作者 车仁炜 吕广明 陆念力 《机电一体化》 2005年第1期52-55,共4页
该文利用简单廉价的机电结构实现了微米级的机电一体化系统的设计,该系统可用于在约束条件下测量混凝土的内应力。文章给出了系统的工作原理,并对其关键技术进行了分析。该装置性能稳定,可满足测试要求。
关键词 微米级 性能稳定 内应力 装置 机电系统 设计 测试 关键技术 机电一体化系统 约束条件
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基于显微视觉的宏／微双重驱动微动台的自动标定 被引量：3
4
作者 于保军 张玮 +1 位作者 王红东 杨志刚 《吉林大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1326-1331,共6页
提出了基于压电技术的微操作系统的自动标定方法,采用混合式步进电机直接驱动的宏动平台,实现系统大行程宏动定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动的微动平台和精密光栅,实现亚微米级的分辨率和定位精度,通过以上两部分实现定位机构的... 提出了基于压电技术的微操作系统的自动标定方法,采用混合式步进电机直接驱动的宏动平台,实现系统大行程宏动定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动的微动平台和精密光栅,实现亚微米级的分辨率和定位精度,通过以上两部分实现定位机构的全闭环反馈控制,采用显微视觉反馈获取微动台操作器在图像中的位置信息进行标定。实验结果表明:系统的动态和稳定性能良好,自动标定运算速度快,运行速度达到11 frame/s,实现了对系统的精确标定,标定精度达到0.1μm。 展开更多
关键词 仪器仪表技术 宏微双重驱动 压电技术 精密定位 显微视觉 自动标定
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