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TiO_2薄膜的液相沉积法制备及其性能表征 被引量：43
1
作者 王晓萍 于云 +1 位作者 高濂 胡行方 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期573-576,共4页
采用液相沉积法（LPD）制备了透明TiO2薄膜，并研究了所制薄膜的形貌、结构和在紫外光照射下亲水性能的变化．结果表明，用此法制得的TiO2薄膜较为均匀致密，热处理前后的薄膜具有相似的亲水性能，在紫外光照射下亲水性能都有提高．热... 采用液相沉积法（LPD）制备了透明TiO2薄膜，并研究了所制薄膜的形貌、结构和在紫外光照射下亲水性能的变化．结果表明，用此法制得的TiO2薄膜较为均匀致密，热处理前后的薄膜具有相似的亲水性能，在紫外光照射下亲水性能都有提高．热处理后的薄膜在紫外光照射一定时间后可与水完全润湿． 展开更多
关键词 液相沉积 亲水性 二氧化钛薄膜
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多孔TiO_2薄膜自洁净玻璃的亲水性和光催化活性 被引量：51
2
作者 余家国 赵修建 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期1437-1440,共4页
亲水性多孔 Ti O2 薄膜自洁净玻璃以含聚乙二醇的钛醇盐溶胶前驱体中通过浸渍提拉法制备 ;随着前驱物中聚乙二醇加入量的增加 ,多孔 Ti O2 薄膜表面的羟基含量也增加 ,薄膜表面的亲水性增强 ,水与薄膜表面的接触角下降为 0°.该亲... 亲水性多孔 Ti O2 薄膜自洁净玻璃以含聚乙二醇的钛醇盐溶胶前驱体中通过浸渍提拉法制备 ;随着前驱物中聚乙二醇加入量的增加 ,多孔 Ti O2 薄膜表面的羟基含量也增加 ,薄膜表面的亲水性增强 ,水与薄膜表面的接触角下降为 0°.该亲水性多孔 Ti O2 薄膜自洁净玻璃具有明显的自洁净和易清洗功能 .紫外 -可见光透过光谱分析表明 ,随着 Ti O2 薄膜中孔径的增大 ,光的散射增强 ,透光率减小 .该 Ti O2 镀膜玻璃对于紫外线具有吸收作用 .甲基橙水溶液的光催化降解实验表明 ,在 Ti O2 薄膜中引入适当大小的微孔可显著增强薄膜的光催化活性 ,但当孔径接近 40 0 nm时 ,薄膜的光催化活性减弱 . 展开更多
关键词 玻璃 二氧化碳多孔薄膜 亲水性 自洁净 光催化
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光催化多孔TiO_2薄膜的表面形貌对亲水性的影响 被引量：49
3
作者 余家国 赵修建 赵青南 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期245-250,共6页
:从含聚乙二醇 (PEG)的钛醇盐溶胶前驱体中通过溶胶 -凝胶工艺在普通钠钙玻璃表面制备了多孔锐钛矿型TiO2 纳米薄膜 .用扫描电镜 (SEM )、X射线光电子能谱 (XPS)和红外光谱 (IR)分析了TiO2 薄膜表面的微结构 ,结果表明 :随着前驱物中聚... :从含聚乙二醇 (PEG)的钛醇盐溶胶前驱体中通过溶胶 -凝胶工艺在普通钠钙玻璃表面制备了多孔锐钛矿型TiO2 纳米薄膜 .用扫描电镜 (SEM )、X射线光电子能谱 (XPS)和红外光谱 (IR)分析了TiO2 薄膜表面的微结构 ,结果表明 :随着前驱物中聚乙二醇的加入量和分子量的增加 ,聚乙二醇热分解后的薄膜中产生的气孔就越多且孔径越大 ,同时TiO2 薄膜表面的羟基含量增加且表面粗糙度增大 .接触角测试表明 :随着薄膜中气孔数量的增多和孔径增大 ,薄膜表面的亲水性增强 ,水与薄膜表面的接触角下降为 0° .分析了多孔TiO2 薄膜表面的超亲水机理 . 展开更多
关键词 多孔氧化钛薄膜 表面形貌 亲水性 光催化
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光催化抗雾膜材料的制备及其亲水性研究 被引量：49
4
作者 刘平 凌岚 +1 位作者 林华香 付贤智 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期462-465,共4页
采用改进的 Sol-Gel技术制备负载型复合光催化抗雾膜材料 ,利用 XRD,AES和接触角测定等手段研究了膜厚度、热处理条件及光照条件等因素对膜材料亲水性的影响 .结果表明 ,光催化抗雾膜的亲水性受控于 Ti O2 的晶型和膜比表面 ,大比表面... 采用改进的 Sol-Gel技术制备负载型复合光催化抗雾膜材料 ,利用 XRD,AES和接触角测定等手段研究了膜厚度、热处理条件及光照条件等因素对膜材料亲水性的影响 .结果表明 ,光催化抗雾膜的亲水性受控于 Ti O2 的晶型和膜比表面 ,大比表面和高锐钛矿含量可降低膜对水的接触角 .膜的厚度通过改变催化剂量和光利用率影响材料的亲水性 .膜材料亲水性对光照强度的响应呈阶跃特性 。 展开更多
关键词 二氧化钛 亲水性 抗雾性 光催化膜 制备
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新型聚胺页岩抑制剂特性及作用机理 被引量：71
5
作者 邱正松 钟汉毅 黄维安 《石油学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期678-682,共5页
通过抑制膨润土造浆、屈曲硬度、耐崩散等新型实验方法,评价了新型聚胺页岩抑制剂SDA的抑制特性。结果表明,SDA的抑制性优于传统抑制剂KCl,并与国外同类产品Ultrahib相当。借助FT-IR、XRD、Zeta电位测试等实验分析手段,深入探讨了聚胺... 通过抑制膨润土造浆、屈曲硬度、耐崩散等新型实验方法,评价了新型聚胺页岩抑制剂SDA的抑制特性。结果表明,SDA的抑制性优于传统抑制剂KCl,并与国外同类产品Ultrahib相当。借助FT-IR、XRD、Zeta电位测试等实验分析手段,深入探讨了聚胺的强抑制作用机理。研究表明,低分子聚胺进入黏土层间后,解离出的铵离子交换出层间水化阳离子,通过静电作用中和黏土晶层表面负电荷,降低黏土层间水化斥力;同时聚胺与黏土层间硅氧烷基形成氢键,进一步强化其在黏土表面的吸附,二者共同作用将相邻黏土片层束缚在一起,抑制黏土水化膨胀;聚胺吸附在黏土晶层表面之后,其分子结构中聚氧丙烯疏水部分覆盖在黏土表面,使黏土亲水性减弱,进一步抑制黏土水化。 展开更多
关键词 聚胺页岩抑制剂 抑制性 屈曲硬度 质子化 亲水性
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膜材料的亲水性、膜表面对水的湿润性和水接触角的关系 被引量：62
6
作者 祝振鑫 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期1-4,共4页
根据《化工词典》的释义和定义,亲水性是物质的一种内在性质,是由物质分子结构中对水具有大的亲和力的极性基团所赋予的,其外在表现是物体表面对水的铺展能力——即湿润性.但是,湿润性不仅与物质的内在性质——亲水性有关,还与物体的表... 根据《化工词典》的释义和定义,亲水性是物质的一种内在性质,是由物质分子结构中对水具有大的亲和力的极性基团所赋予的,其外在表现是物体表面对水的铺展能力——即湿润性.但是,湿润性不仅与物质的内在性质——亲水性有关,还与物体的表面性状,即粗糙度、孔隙率、孔径及其分布等因素有关.水接触角测量的是水滴在物体表面的铺展夹角,因而是湿润性的一种具体量度,其数值大小直接反映了物体表面对水湿润性的强弱.只有当物体表面是光滑的、平整的、无孔的固体表面时,水接触角才不仅是物体表面对水湿润性的一种量度,而且也是对材料内在亲水性的一种很好的量度.膜表面性状对水接触角测量值的影响很大,有时还占主导地位.《膜科学与技术》上已经发表的3篇论文充分证明:水接触角测量值只是膜表面湿润性的一种量度,而与膜材料的亲水性并无必然的联系. 展开更多
关键词 亲水性 湿润性 水接触角 膜污染
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废水处理用生物填料的研究进展 被引量：46
7
作者 张凡 程江 +1 位作者 杨卓如 王华祥 《环境污染治理技术与设备》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期8-12,共5页
概述了废 (污 )水处理用生物填料的现状和发展 ,并针对现今水处理用生物填料存在的亲水性和生物亲和性(活性 )不足这一问题 ,提出了解决办法和发展方向 ,指出生物亲和亲水活性磁种填料的应用 ,可望大大提高废水生物降解的效率。
关键词 废水处理技术 生物填料 亲水性 磁效应 比表面积 软性填料
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纳米二氧化钛薄膜的制备及特性研究 被引量：30
8
作者 崔晓莉 江志裕 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 2002年第5期17-21,共5页
纳米二氧化钛薄膜由于具有优良的光催化活性而受到人们的重视。采用阳极电沉积的方法在ITO基体上制备二氧化钛纳米薄膜。研究了阳极电流密度和沉积时间对纳米二氧化钛薄膜结构和附着力的影响 ,利用扫描电子显微技术和X射线衍射技术分析... 纳米二氧化钛薄膜由于具有优良的光催化活性而受到人们的重视。采用阳极电沉积的方法在ITO基体上制备二氧化钛纳米薄膜。研究了阳极电流密度和沉积时间对纳米二氧化钛薄膜结构和附着力的影响 ,利用扫描电子显微技术和X射线衍射技术分析了二氧化钛薄膜的表面形貌和组织结构 ,探讨了其光催化活性和亲水性。结果表明 ,纳米二氧化钛薄膜是由纳米级的颗粒组成 ,颗粒间存在纳米级小孔 ,该薄膜对于波长为 4 0 0～ 70 0nm的可见光是透明的 ,具有优良的光催化活性和亲水性。 展开更多
关键词 纳米二氧化钛薄膜 制备 特性 研究 阳极电沉积 光催化活性 亲水性
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明胶-聚乳酸载药纳米微球的制备及其体外释药研究 被引量：30
9
作者 刘海峰 常津 +2 位作者 张爽男 原续波 姚康德 《中国生物医学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期178-182,共5页
采用复合乳液 溶剂挥发法制得明胶 聚乳酸载五氟脲嘧啶 (5 Fu)微球 ,以混合型乳化剂Tween 80∶Span 80 =5∶1 作为初乳乳化剂 ,O 羧甲基壳聚糖作为复乳乳化剂 ,考察了明胶 聚乳酸载药微球的制备条件对微球的成球性、药物包封率及体... 采用复合乳液 溶剂挥发法制得明胶 聚乳酸载五氟脲嘧啶 (5 Fu)微球 ,以混合型乳化剂Tween 80∶Span 80 =5∶1 作为初乳乳化剂 ,O 羧甲基壳聚糖作为复乳乳化剂 ,考察了明胶 聚乳酸载药微球的制备条件对微球的成球性、药物包封率及体外释药的影响。结果表明乳化剂的选择、内部水相药物浓度和PLA分子量等均对载药微球的结构与性能产生影响 ,经优化条件得到了成球性和体外释放都比较好的载药微球。 展开更多
关键词 明胶-聚乳酸 载药 纳米微球 制备 体外释药 研究
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聚偏氟乙烯膜的亲水性改性研究进展 被引量：35
10
作者 唐广军 孙本惠 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期480-485,共6页
疏水性聚合物膜的亲水性改性是当前分离膜研究的热点之一。从膜表面亲水改性和膜材料亲水性改性的角度出发 ,综述了聚偏氟乙烯 (PVDF)分离膜的各种改性方法的特点及改性效果 ,分析了其亲水改性机理 。
关键词 聚偏氟乙烯 亲水性 膜改性 表面改性 材料改性
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TiO_2-SiO_2复合薄膜光催化活性与亲水性关系的研究 被引量：25
11
作者 关凯书 尹衍升 姜秋鹏 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期219-223,228,共6页
采用溶胶凝胶法在载玻片表面制备了均匀透明的TiO2 -SiO2 超亲水性薄膜。利用XPS ,XRD ,IR等对光催化活性和亲水性关系进行了研究。结果表明 :薄膜的亲水性与光催化活性协同作用是其保持自清洁的关键。添加SiO2 后 ,复合氧化物中表面形... 采用溶胶凝胶法在载玻片表面制备了均匀透明的TiO2 -SiO2 超亲水性薄膜。利用XPS ,XRD ,IR等对光催化活性和亲水性关系进行了研究。结果表明 :薄膜的亲水性与光催化活性协同作用是其保持自清洁的关键。添加SiO2 后 ,复合氧化物中表面形成Lewis酸 ,薄膜表面吸附的羟基含量增多且稳定。在与有机物竞争吸附过程中 ,水优先吸附 ,可提高薄膜的超亲水性和光催化活性 。 展开更多
关键词 氧化钛-氧化硅复合薄膜 溶胶-凝胶 超亲水性 光催化 自清洁效应
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我国微孔滤膜研究现状与发展 被引量：37
12
作者 宫美乐 袁国梁 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期186-189,共4页
介绍了我国微孔滤膜的研发和当前应用的概况 。
关键词 中国 微孔滤膜 研究发展 膜分离 孔径 澄清过滤 亲水性 疏水性
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植物的亲水疏水特性与农药药液行为的分析 被引量：43
13
作者 顾中言 《江苏农业学报》 CSCD 北大核心 2009年第2期276-281,共6页
通过观察,雨水能很好地在棉花、黄瓜、桃树等植物叶面铺展成水膜,能很好的沾湿石榴、扁豆、辣椒等植物,在叶面形成弧形或半圆形的水滴,但雨水不能使红花酢浆草、水稻、甘蓝等植物润湿,而是在叶面形成球形的水珠,极易滚落。大于31.25 mg/... 通过观察,雨水能很好地在棉花、黄瓜、桃树等植物叶面铺展成水膜,能很好的沾湿石榴、扁豆、辣椒等植物,在叶面形成弧形或半圆形的水滴,但雨水不能使红花酢浆草、水稻、甘蓝等植物润湿,而是在叶面形成球形的水珠,极易滚落。大于31.25 mg/LTX-10水溶液和大于200 mg/L杀虫单-矿物油微乳剂的表面张力均小于水稻或甘蓝的临界表面张力,因此在水稻或甘蓝叶面能形成弧形或半圆形的水滴,很好地沾湿叶片,甚至可以在叶面铺展成水膜。 展开更多
关键词 植物 亲水性 疏水性 液体 行为
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PLA—PEG—PLA嵌段共聚物的合成及研究 被引量：25
14
作者 葛建华 王迎军 +4 位作者 郑裕东 朱百家 姜宏伟 南开辉 吴刚 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期817-820,共4页
本研究将可生物降解高分子聚乳酸与具有亲水性链段的聚乙二醇共聚制得嵌段共聚物 ,用以改善疏水性材料聚乳酸的亲水性。研究发现通过共聚 ,显著改善了聚乳酸材料的亲水性 ,在一定反应条件下 ,使得材料的接触角由 4 6°降为 10～ 2 3... 本研究将可生物降解高分子聚乳酸与具有亲水性链段的聚乙二醇共聚制得嵌段共聚物 ,用以改善疏水性材料聚乳酸的亲水性。研究发现通过共聚 ,显著改善了聚乳酸材料的亲水性 ,在一定反应条件下 ,使得材料的接触角由 4 6°降为 10～ 2 3°。 展开更多
关键词 PLA-PEG-PLA嵌段共聚物 聚乳酸 亲水性 结构性能 PLA 生物材料
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PVDF/PVA共混膜的研究 被引量：33
15
作者 李娜娜 肖长发 安树林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1975-1980,共6页
采用湿法相转化法制备了聚偏氟乙烯(PVDF)/聚乙烯醇(PVA)共混膜,研究了PVDF/PVA共混体系的相容性,并讨论了PVDF/PVA共混比、固含量、添加剂浓度、凝固条件与后处理对膜结构及性能的影响。结果表明,PVDF/PVA为不相容体系,在成膜过程中产... 采用湿法相转化法制备了聚偏氟乙烯(PVDF)/聚乙烯醇(PVA)共混膜,研究了PVDF/PVA共混体系的相容性,并讨论了PVDF/PVA共混比、固含量、添加剂浓度、凝固条件与后处理对膜结构及性能的影响。结果表明,PVDF/PVA为不相容体系,在成膜过程中产生界面微孔;随PVA含量增加,PVDF/PVA共混膜水通量先增大后减小,在PVDF/PVA为8/2时呈较大值,截留率变化趋势则相反;PVA的存在明显改善了PVDF/PVA共混膜的亲水性,表现为随其含量增加共混膜接触角明显减小;随固含量增加,膜厚度增加,孔隙率降低,水通量减小,截留率升高;添加剂PEG600浓度为6%时,孔隙率高,水通量大,但截留率低;凝固浴种类直接影响膜结构及性能;热处理可完善膜结构从而获得性能更优的膜。选择适当的铸膜条件可制成较好的膜产品,而且共混膜通量明显大于各组分通量的加权,表明共混是一种改善PVDF膜性能的有效方法。 展开更多
关键词 PVDF/PVA共混膜 界面微孔 相容性 亲水性
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退火温度对纳米TiO_2薄膜结构和亲水性的影响 被引量：17
16
作者 刘彭义 叶勤 +4 位作者 唐振方 孙汪典 叶海 赵丽特 张丽丽 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期133-136,共4页
采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛 (TiO2 )薄膜 ,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响。结果表明 :退火温度升高 ,晶粒长大 ,孔隙率减小 ;常温制备 30 0℃以下退火的TiO2 薄膜为无定形结构 ,亲水性差 ;4 0 0℃～ 6... 采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛 (TiO2 )薄膜 ,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响。结果表明 :退火温度升高 ,晶粒长大 ,孔隙率减小 ;常温制备 30 0℃以下退火的TiO2 薄膜为无定形结构 ,亲水性差 ;4 0 0℃～ 6 5 0℃退火的薄膜为锐钛矿结构 ,表现出超亲水性 ;80 0℃退火薄膜为金红石结构 。 展开更多
关键词 退火温度 纳米TIO2薄膜 薄膜结构 亲水性 纳米二氧化钛薄膜 锐钛矿 金红石
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铜离子掺杂对TiO_2纳米颗粒膜结构和性能的影响 被引量：14
17
作者 姜洪波 高濂 张青红 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期787-791,共5页
采用溶胶-凝胶法在普通的载玻片上制备了锐钛矿型TiO2和过渡金属Cu离子掺杂TiO2薄膜.通过XRD,UV-VIS,XPS,AFM表征了合成的薄膜,表明铜离子掺入后,薄膜变得更加致密.铜离子以Cu2O的形式存在.在紫外光照射下,TiO2薄膜表现出明显的亲水性.... 采用溶胶-凝胶法在普通的载玻片上制备了锐钛矿型TiO2和过渡金属Cu离子掺杂TiO2薄膜.通过XRD,UV-VIS,XPS,AFM表征了合成的薄膜,表明铜离子掺入后,薄膜变得更加致密.铜离子以Cu2O的形式存在.在紫外光照射下,TiO2薄膜表现出明显的亲水性.对于掺铜的TiO2薄膜,随着铜掺杂量的增加,铜（Ⅰ）对亲水性能的抑制作用亦增强. 展开更多
关键词 铜离子 掺杂 TIO2 纳米颗粒膜 结构 性能 溶胶-凝胶法 亲水性 二氧化钛
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铁、氮共掺杂二氧化钛薄膜的亲水性能 被引量：23
18
作者 黄东升 曾人杰 +1 位作者 陈朝凤 李玉花 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1037-1041,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了铁掺杂TiO2(Fe-TiO2)薄膜,将Fe-TiO2薄膜放置氨气气氛中高温处理,形成铁、氮共掺杂TiO2(Fe/N-TiO2)薄膜.通过XRD、XPS、SEM、UV-Vis法进行吸收光谱分析及薄膜表面亲水接触角分析,研究了铁、氮掺杂浓度,热处理温度... 采用溶胶-凝胶法制备了铁掺杂TiO2(Fe-TiO2)薄膜,将Fe-TiO2薄膜放置氨气气氛中高温处理,形成铁、氮共掺杂TiO2(Fe/N-TiO2)薄膜.通过XRD、XPS、SEM、UV-Vis法进行吸收光谱分析及薄膜表面亲水接触角分析,研究了铁、氮掺杂浓度,热处理温度,膜厚等因素对薄膜亲水性能的影响.结果表明,Fe/N-TiO2(0.5%Fe,摩尔百分数)显示出更佳的亲水性能,在可见光下优势尤为明显.铁掺杂主要作用是降低电子和空(的复合几率,氮掺杂可以增强TiO2薄膜在可见光区的吸收,两种效应相互结合,共同提高了薄膜在可见光下的亲水性能. 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 铁、氮共掺杂 二氧化钛 亲水性
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Fe_2O_3/TiO_2和ZnO/TiO_3纳米颗粒薄膜的亲水性能和光催化性能的研究 被引量：18
19
作者 姜洪波 高濂 张青红 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期695-699,共5页
采用溶胶-凝胶法在玻璃上制备了锐钛矿型TiO_2和过渡金属铁、锌离子掺杂的TiO_2薄膜,并通过XRD、XPS、AFM表征了合成的薄膜。结果表明铁和锌离子掺入后,TiO_2薄膜变的更加致密。铁离子和锌离子分别以Fe_2O_3和ZnO的形式存在,在紫外光照... 采用溶胶-凝胶法在玻璃上制备了锐钛矿型TiO_2和过渡金属铁、锌离子掺杂的TiO_2薄膜,并通过XRD、XPS、AFM表征了合成的薄膜。结果表明铁和锌离子掺入后,TiO_2薄膜变的更加致密。铁离子和锌离子分别以Fe_2O_3和ZnO的形式存在,在紫外光照射下,TiO_2薄膜表现明显的亲水性,金属离子掺杂的TiO_2薄膜,亲水性能明显增强,铁离子掺入对光催化降解甲基橙有一定的抑制作用;少量的锌离子掺入对光催化降解甲基橙有促进作用,锌离子掺入量增大后,效果并不明显。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 亲水性 光催化 金属离子掺杂 TIO2
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射频磁控溅射制备纳米TiO_2薄膜及其光致特性研究 被引量：22
20
作者 沈杰 沃松涛 +2 位作者 崔晓莉 杨锡良 章壮健 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期81-86,共6页
在室温下采用射频溅射法制备纳米TiO2 薄膜 ,并用XRD、AFM、Raman谱仪等手段研究了不同溅射气压及不同退火温度处理后薄膜的结构及其相应的亲水性、光催化能力。结果表明 :在室温下制备的薄膜为无定形结构 ,当退火温度超过4 0 0℃时转... 在室温下采用射频溅射法制备纳米TiO2 薄膜 ,并用XRD、AFM、Raman谱仪等手段研究了不同溅射气压及不同退火温度处理后薄膜的结构及其相应的亲水性、光催化能力。结果表明 :在室温下制备的薄膜为无定形结构 ,当退火温度超过4 0 0℃时转化为锐钛矿结构。在 4 0 0℃下退火 展开更多
关键词 射频溅射 磁控溅射 纳米TIO2薄膜 纳米二氧化钛薄膜 光致特性 溅射气压 退火温度
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