期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到273篇文章
< 1 2 … 14 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
铁电薄膜、多层膜及异质结构研究 被引量：12
1
作者 朱信华 刘治国 《物理》 CAS 1999年第2期68-73,共6页
综述了铁电薄膜、多层膜和异质结构研究的新进展，分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点．重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器、微电子机械系统及热释电红外探测器方面的应用．
关键词 铁电薄膜 多层膜 异质结构 制备 薄膜器件
原文传递
铁电薄膜的材料系统与功能性质 被引量：13
2
作者 孙顺明 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 1999年第4期71-75,共5页
集成铁电体把铁电材料与集成半导体技术联合起来，以发展出一批新的电子器件。铁电薄膜在其中发挥着非挥发性记忆、热释电、压电、光折变、抗辐射、声学的和／或介电的功能性质。在不同的器件应用中，铁电薄膜的材料体系是不相同的。在... 集成铁电体把铁电材料与集成半导体技术联合起来，以发展出一批新的电子器件。铁电薄膜在其中发挥着非挥发性记忆、热释电、压电、光折变、抗辐射、声学的和／或介电的功能性质。在不同的器件应用中，铁电薄膜的材料体系是不相同的。在非挥发性存贮器（ＮＶＲＡＭ）中，ＰＺＴ薄膜面临着ＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９（ＳＢＴ）系列铁电体的强力挑战；Ｂａ１－ｘＳｒｘＴｉＯ３（ＢＳＴ）则可能出现在下一代高密度动态随机存贮器（ＤＲＡＭ）中。金属氧化物电极和／或过渡层可以克服Ｐｔ电极面临的一些问题。 展开更多
关键词 铁电体 铁电薄膜 铁电材料 集成半导体
下载PDF
铁电薄膜研究中的几个重要问题 被引量：12
3
作者 肖定全 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期479-481,共3页
　近十多年来,铁电薄膜及集成铁电器件一直是材料科学工作者和电介质物理工作者关注和研究的热点之一。要使集成铁电器件得到更广泛的应用,还应针对铁电薄膜本身和铁电薄膜异质结构开展更深入的研究。本文针对铁电薄膜的疲劳、老化和电... 　近十多年来,铁电薄膜及集成铁电器件一直是材料科学工作者和电介质物理工作者关注和研究的热点之一。要使集成铁电器件得到更广泛的应用,还应针对铁电薄膜本身和铁电薄膜异质结构开展更深入的研究。本文针对铁电薄膜的疲劳、老化和电压漂移、电阻等特性退变,以及薄膜异质结构的表面和界面等问题,结合作者的研究工作,进行比较概括的分析,并提出一些解决问题的方法。 展开更多
关键词 铁电薄膜 集成铁电器件 铁电材料 疲劳 异质结构 老化 电压漂移 电阻
下载PDF
PZT铁电薄、厚膜及其制备技术研究进展 被引量：9
4
作者 夏冬林 刘梅冬 +1 位作者 徐慢 赵修建 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第10期64-67,共4页
铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用。近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的... 铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用。近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的热点。介绍了PZT铁电薄、厚膜材料与器件的研究进展以及PZT铁电薄、厚膜制备技术及几种典型的PZT铁电薄、厚膜材料制备技术的特点,并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向。 展开更多
关键词 厚膜材料 铁电 PZT 集成光学 微电子学 热释电 光电子学 器件 压电
下载PDF
(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3薄膜的制备及性能的研究 被引量：10
5
作者 刘梅冬 刘少波 +2 位作者 曾亦可 李楚容 邓传益 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期41-43,共3页
选用 Ba(C2 H3O2 ) 2 、Sr(C2 H3O2 ) 2 · 1/ 2 H2 O和 Ti(OC4H9) 4为原材料 ,冰醋酸为催化剂 ,乙二醇乙醚为溶剂。用改进的溶胶 -凝胶技术在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si基片上成功地制备出钙钛矿型结构的 (Ba1 - x Srx) Ti O3薄膜。该薄... 选用 Ba(C2 H3O2 ) 2 、Sr(C2 H3O2 ) 2 · 1/ 2 H2 O和 Ti(OC4H9) 4为原材料 ,冰醋酸为催化剂 ,乙二醇乙醚为溶剂。用改进的溶胶 -凝胶技术在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si基片上成功地制备出钙钛矿型结构的 (Ba1 - x Srx) Ti O3薄膜。该薄膜是制备铁电动态随机存取存储器、微波电容和非致冷红外焦平面阵列的优选材料 ;分析了薄膜的结构 ;测试了薄膜的介电和铁电性能。在室温 10 k Hz下 ,(Ba0 .73Sr0 .2 7) Ti O3薄膜介电系数和损耗分别为 30 0和 0 .0 3。在室温 1k Hz下 ,(Ba0 .95 Sr0 .0 5 ) Ti O3薄膜剩余极化强度和矫顽场分别为 3μC/ cm2和 5 0 k V/ 展开更多
关键词 钛电薄膜 溶胶-凝胶技术 BST薄膜
下载PDF
采用金属有机化合物热分解法研制锆钛酸铅薄膜 被引量：6
6
作者 张之圣 刘如净 刘志刚 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第1期44-48,共5页
详细研究了采用金属有机化合物热分解法制备锆钛酸铅 Pb(Zr0 .5 3Ti0 .47) O3铁电薄膜的工艺 ,讨论了影响
关键词 铁电薄膜 金属有机化合物 锆钛酸铅 热处理 热分解法
下载PDF
铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究 被引量：6
7
作者 刘梅冬 陈实 +5 位作者 曾亦可 饶韫华 李楚容 陈磊 潘晓光 邓传益 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期100-101,共2页
用改进的溶胶 -凝胶旋转涂覆技术 ,在Pt/Ti/SiO2 /Si基片上研制出 1～ 2 μm厚 ,具有钙钛矿型结构的PbTiO3、PLT和PZT铅基铁电薄膜。该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能。
关键词 铁电薄膜 溶胶-凝胶 介电性能 热释电性能
下载PDF
Sol-Gel法制备PZT薄膜及其抗疲劳性能研究进展 被引量：4
8
作者 刘大格 张洪喜 +2 位作者 王中 蔡伟 赵连城 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第4期276-282,共7页
综述了Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ系列铁电薄膜各种因素对薄膜微结构及性能的影响，分析了铁电薄膜极化疲劳微观机制，提出了优化的工艺条件及极化疲劳改善方法。
关键词 PZT 铁电薄膜 SOL-GEL法 疲劳
下载PDF
用溶胶—凝胶法制备铁电薄膜 被引量：3
9
作者 赵新伟 裴志斌 田长生 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期24-26,31,共4页
介绍了溶胶—凝胶技术制备铁电薄膜的基本原理、工艺过程及工艺特点；综述了溶胶—凝胶法制备铁电薄膜的最新进展。
关键词 溶胶 凝胶 铁电薄膜 制造
下载PDF
PZT铁电薄膜刻蚀的研究进展 被引量：6
10
作者 史鹏 姚熹 +1 位作者 吴小清 张良莹 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期386-389,共4页
PZT铁电薄膜器件在微电子领域有着广泛的应用,可用于制备微机械系统(MEMS)、DRAM、红外探测器等,而薄膜的微图形化刻蚀技术是制备工艺中重要的环节。该文主要介绍了PZT铁电薄膜刻蚀技术的研究进展和应用,并对各种刻蚀法进行分析和对比。
关键词 PZT 铁电薄膜 刻蚀 微图形
下载PDF
铅过量PLZT铁电薄膜的制备及其电学性质研究 被引量：6
11
作者 侯识华 宋世庚 +1 位作者 马远新 郑毓峰 《材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期43-47,共5页
采用Sol Gel法 ,在Pt TiO2 Si基片上制备了具有不同铅过量 (0— 2 0mol% )的PLZT铁电薄膜。分析了薄膜的晶相结构 ,研究了铅过量对PLZT铁电薄膜的介电性能和铁电性能的影响。结果表明 ,各薄膜均具有钙钛矿型结构 ,且各薄膜均呈 (110 )... 采用Sol Gel法 ,在Pt TiO2 Si基片上制备了具有不同铅过量 (0— 2 0mol% )的PLZT铁电薄膜。分析了薄膜的晶相结构 ,研究了铅过量对PLZT铁电薄膜的介电性能和铁电性能的影响。结果表明 ,各薄膜均具有钙钛矿型结构 ,且各薄膜均呈 (110 )择优取向。PLZT铁电薄膜的介电性能和铁电性能随铅过量的变化而改变。铅过量为 10mol%的薄膜具有最佳的的介电性能和铁电性能。 展开更多
关键词 SOL-GEL法 PLZT 铁电薄膜 铅过量 电学性质 锆钛酸铅镧薄膜 介电性能 铁电性能 制备
下载PDF
铁电薄膜材料的研究进展 被引量：8
12
作者 王悦辉 庄志强 《陶瓷研究与职业教育》 2003年第2期42-45,共4页
近年来 ,随着铁电薄膜制备技术的发展 ,其应用领域不断扩大。综述了近年铁电薄膜材料研究进展情况 ,并指出存在的问题及其发展方向。
关键词 铁电薄膜 钙钛矿相 溶胶-凝胶
下载PDF
钛酸镧铅薄膜的介电、铁电性能研究 被引量：5
13
作者 甘肇强 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期403-404,共2页
采用溶胶 凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试 ,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响 ,结果发现在 60 0℃下退火 1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构 ;常温下 ,薄膜的矫顽场和剩余极化强度都... 采用溶胶 凝胶法在Si衬底上制备了钛酸镧铅薄膜。通过对膜进行XRD、SEM、介电和铁电性能测试 ,研究了退火条件和掺镧量对薄膜性能的影响 ,结果发现在 60 0℃下退火 1h的PLT薄膜呈现钙钛矿结构 ;常温下 ,薄膜的矫顽场和剩余极化强度都随着掺镧量的增加而降低 。 展开更多
关键词 铁电薄膜 钛酸镧铅 溶胶-凝胶法 铁电性能 介电性能
下载PDF
PZT铁电薄膜电极材料研究进展 被引量：3
14
作者 孙秋 成海涛 王福平 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期200-204,共5页
近几年,PZT铁电存储器的商业应用受到了广泛关注,但PZT电容器的疲劳现象已成为其应用的严重障碍,变换电极是改善PZT电容器抗疲劳特性的有效方法。系统地介绍了PZT铁电薄膜用电极材料的结构、性能及其特点,比较了不同电极材料对PZT铁电... 近几年,PZT铁电存储器的商业应用受到了广泛关注,但PZT电容器的疲劳现象已成为其应用的严重障碍,变换电极是改善PZT电容器抗疲劳特性的有效方法。系统地介绍了PZT铁电薄膜用电极材料的结构、性能及其特点,比较了不同电极材料对PZT铁电薄膜结构及铁电性能的影响,并对导电金属氧化物电极改善抗疲劳特性的机制进行了一定的分析,提出了电极材料的主要问题和发展方向。 展开更多
关键词 PZT 铁电薄膜 电极 铁电性能
下载PDF
溶胶-凝胶技术制备(Bi_(4-x),La_x)Ti_3O_(12)陶瓷的工艺技术研究 被引量：3
15
作者 申林 肖定全 +3 位作者 余萍 朱建国 朱居木 高道江 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期422-424,共3页
采用 3种溶胶 凝胶 (sol gel)工艺 ,以硝酸铋、硝酸镧和钛酸丁酯为原料 ,制备掺镧钛酸铋 (Bi4-x,Lax)Ti3 O12 (简记为BLT)陶瓷。通过控制溶胶 凝胶工艺 ,分析比较不同溶胶 凝胶过程对陶瓷结构的影响 ,为后续BLT铁电薄膜的溶胶 凝胶... 采用 3种溶胶 凝胶 (sol gel)工艺 ,以硝酸铋、硝酸镧和钛酸丁酯为原料 ,制备掺镧钛酸铋 (Bi4-x,Lax)Ti3 O12 (简记为BLT)陶瓷。通过控制溶胶 凝胶工艺 ,分析比较不同溶胶 凝胶过程对陶瓷结构的影响 ,为后续BLT铁电薄膜的溶胶 凝胶制备选择最佳工艺技术条件。研究发现采用滴定方式的sol 展开更多
关键词 溶胶-凝胶技术 制备 铁电陶瓷 铁电薄膜 BTO
下载PDF
铁电薄膜的制备及其在器件中的应用 被引量：1
16
作者 张鲁殷 胡晓君 《山东科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2002年第2期14-16,共3页
综述了铁电薄膜研究的新进展 ,分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点。重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器及热释电红外探测器方面的应用。
关键词 铁电薄膜 制备方法 应用 薄膜器件 铁电存储器 热释电红外探测器 Sol-Gel凝胶法
下载PDF
择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析 被引量：5
17
作者 王悦辉 庄志强 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第4期35-38,共4页
制备性能优良、高度择优取向或外延生长、成分均匀、结构可控的晶态铁电薄膜材料,是发展铁电薄膜应用的基础。随着铁电薄膜在微电子学,光电子学和集成光学等领域的应用不断扩大,如何制备高性能的铁电薄膜材料一直称为人们关注的热点。... 制备性能优良、高度择优取向或外延生长、成分均匀、结构可控的晶态铁电薄膜材料,是发展铁电薄膜应用的基础。随着铁电薄膜在微电子学,光电子学和集成光学等领域的应用不断扩大,如何制备高性能的铁电薄膜材料一直称为人们关注的热点。对择优取向铁电薄膜材料制备技术中的主要影响因素进行了分析,希望能为从事此方面工作的研究者提供一定的借鉴。 展开更多
关键词 择优取向 铁电薄膜 衬底 热处理 制备 钛酸盐 铌酸盐
下载PDF
溶胶-凝胶技术制备Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的研究 被引量：6
18
作者 刘梅冬 李楚容 +2 位作者 曾亦可 王培英 饶韫华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期297-299,共3页
采用溶胶－凝胶技术在Ｓｉ单晶基片上制备了具有层状钙钛矿型结构的Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２铁电薄膜。讨论了回火温度与时间对薄膜结构的影响。Ｘ射线衍射分析表明，经７００℃和７００℃以上温度回火的薄膜为具有层状钙钛矿型结构的Ｂｉ４... 采用溶胶－凝胶技术在Ｓｉ单晶基片上制备了具有层状钙钛矿型结构的Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２铁电薄膜。讨论了回火温度与时间对薄膜结构的影响。Ｘ射线衍射分析表明，经７００℃和７００℃以上温度回火的薄膜为具有层状钙钛矿型结构的Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２多晶薄膜。该薄膜的电滞回线测试呈现出剩余极化强度Ｐｒ＝５μＣ／ｃｍ２，矫顽场Ｅｃ＝１３０ｋＶ／ｃｍ。 展开更多
关键词 铁电薄膜 溶胶-凝胶法 钛酸铋 薄膜
下载PDF
用溶胶－凝法制备锆钛铅铁电薄膜 被引量：4
19
作者 阎培渝 苏涛 +1 位作者 李龙土 张孝文 《高技术通讯》 CAS CSCD 1995年第6期43-46,共4页
利用溶胶－凝胶法在镀铂硅片上制备了ＰＺＴ铁电薄膜。利用ＸＲＤ、ＳＥＭ和ＴＥＭ观察了ＰＺＴ薄膜的组成与形貌，测定ＰＺＴ薄膜的电学性能。为防止薄膜发生龟裂，在前体溶液中加入了干燥控制化学添加剂，并采用慢速变温的热处理过程... 利用溶胶－凝胶法在镀铂硅片上制备了ＰＺＴ铁电薄膜。利用ＸＲＤ、ＳＥＭ和ＴＥＭ观察了ＰＺＴ薄膜的组成与形貌，测定ＰＺＴ薄膜的电学性能。为防止薄膜发生龟裂，在前体溶液中加入了干燥控制化学添加剂，并采用慢速变温的热处理过程。ＰｂＴｉＯ３过渡层保证了ＰＺＴ薄膜结晶完好。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 铁电薄膜 锆钛铅铁电薄膜
下载PDF
(Ba,Sr)TiO_3铁电薄膜制备技术及其研究进展 被引量：2
20
作者 单连伟 丁碧妍 +2 位作者 付兴华 侯文萍 单志强 《桂林电子工业学院学报》 2003年第6期36-39,共4页
(Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜较传统的铁电材料有高介电常数、高击穿场强、快响应速度、居里温度可调等优点,在DRAM、微波调节器等领域具有广阔的发展前景,是目前国际上新型功能材料研究的热点之一。通过对铁电薄膜及其制备技术研究新... (Ba,Sr)TiO3(简称BST)铁电薄膜较传统的铁电材料有高介电常数、高击穿场强、快响应速度、居里温度可调等优点,在DRAM、微波调节器等领域具有广阔的发展前景,是目前国际上新型功能材料研究的热点之一。通过对铁电薄膜及其制备技术研究新进展的综合评述,就BST的微观结构、性能及应用,深入分析BST铁电薄膜主要制备技术的优缺点,指出了目前铁电薄膜及其制备技术研究中应注意的问题。 展开更多
关键词 (Ba Sr)TiO3 铁电薄膜 制备方法 DRAM 微波调节器 钙钛矿型铁电固溶体 BST
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 14 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部