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PCVD法在模具钢表面沉积Ti(CN)涂层的研究 被引量：9
1
作者 潘应君 吴新杰 +1 位作者 李平生 张细菊 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2003年第8期7-9,共3页
应用PCVD技术 ,以金属有机物钛酸丙酯 (TPT)代替TiCl4作钛源 ,在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层 ,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响。试验结果表明 ,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量 ,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致... 应用PCVD技术 ,以金属有机物钛酸丙酯 (TPT)代替TiCl4作钛源 ,在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层 ,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响。试验结果表明 ,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量 ,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层 ,显著提高模具的表面硬度和使用寿命。 展开更多
关键词 等离子体化学气相沉积 ti(cn)涂层 工模具钢
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PCVD法沉积Ti(CN)涂层及其抗氧化性研究 被引量：10
2
作者 潘应君 陈淑花 +2 位作者 吴新杰 李平生 张细菊 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 2004年第4期12-14,共3页
应用 PCVD技术 ,以金属有机物 TPT作钛源在 H13模具钢表面沉积 Ti(CN)涂层 ,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响 ,并对涂层的抗氧化性进行了试验。结果表明 ,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量 ,可以在 H13钢表面得到以 Ti(CN ... 应用 PCVD技术 ,以金属有机物 TPT作钛源在 H13模具钢表面沉积 Ti(CN)涂层 ,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响 ,并对涂层的抗氧化性进行了试验。结果表明 ,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量 ,可以在 H13钢表面得到以 Ti(CN )为主的致密涂层 ,在沉积温度 5 0 0℃时达到最高硬度 HV 176 0 ,涂层在 6 0 0℃以下具有良好的抗氧化性。 展开更多
关键词 PCVD ti(cn)涂层 抗氧化性
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金属有机物PCVD法沉积Ti(CN)涂层 被引量：3
3
作者 潘应君 陈淑花 +2 位作者 吴新杰 李平生 张细菊 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第F01期272-275,共4页
应用PCVD技术,以金属有机物TPT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了实验。结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密... 应用PCVD技术,以金属有机物TPT作钛源在H13模具钢表面沉积Ti(CN)涂层,研究了不同工艺参数对涂层组织和性能的影响,并对涂层的抗氧化性进行了实验。结果表明,采用适当的沉积温度、压力及氮气流量,可以在H13钢表面得到以Ti(CN)为主的致密涂层,在沉积温度500℃时达到最高硬度HV1760,涂层在600℃以下具有良好的抗氧化性。 展开更多
关键词 金属有机物 PCVD ti(cn)涂层 抗氧化性 模具钢 工艺参数
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