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采用共光路干涉法测量液晶空间光调制器的相位调制特性 被引量：5
1
作者 苗悦 白福忠 +2 位作者 刘珍 田朝平 梅秀庄 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2016年第2期123-128,共6页
提出一种基于液晶偏振分光的共光路干涉测量方法来测量液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性。线偏振入射光束被LCSLM分为两束正交线偏振光,然后沿相同方向传播至渥拉斯顿棱镜(WP);经WP出射的两光束产生横向剪切,同时,WP也将会在两光... 提出一种基于液晶偏振分光的共光路干涉测量方法来测量液晶空间光调制器(LCSLM)的相位调制特性。线偏振入射光束被LCSLM分为两束正交线偏振光,然后沿相同方向传播至渥拉斯顿棱镜(WP);经WP出射的两光束产生横向剪切,同时,WP也将会在两光束之间引入倾斜调制,从而当它们再经过检偏器后产生载频干涉条纹。用傅里叶变换法计算两帧干涉条纹之间的相对相移量。给出了透射式LCSLM相位调制特性的实验测量结果。该方法对振动、空气扰动不敏感,能够测量得到LCSLM的整体相位调制特性,结果更加精确、科学。 展开更多
关键词 测量 液晶空间光调制器(LCSLM) 相位调制特性 共光路干涉仪 傅里叶变换法
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用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法 被引量：3
2
作者 柳忠尧 闫聚群 +4 位作者 张蕊 林德教 殷纯永 叶孝佑 许婕 《计量学报》 CSCD 北大核心 2005年第2期115-119,共5页
提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特... 提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。 展开更多
关键词 计量学 偏振干涉 边缘探测 线宽 共光路设计 共焦显微术
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基于双窗口载波干涉的动态相位测量研究 被引量：1
3
作者 刁鸣 郝本功 +1 位作者 钟志 单明广 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2141-2145,共5页
研究了一种具有共光路结构的双窗口载波干涉方法用于动态相位测量。基于4 f光学成像系统,将输入面分成两个窗口,并在成像透镜之间放置郎奇光栅,通过控制光栅的离焦引入载波,进而利用傅里叶变换法实时定量恢复待测物的相位分布。构建了... 研究了一种具有共光路结构的双窗口载波干涉方法用于动态相位测量。基于4 f光学成像系统,将输入面分成两个窗口,并在成像透镜之间放置郎奇光栅,通过控制光栅的离焦引入载波,进而利用傅里叶变换法实时定量恢复待测物的相位分布。构建了实验平台,并实时记录了水滴的蒸发过程和有机玻璃板的受压迫变形过程。结果表明,本文方法不仅结构简单、抗干扰性能好,而且实时性好,适合于动态相位变化的实时测量。 展开更多
关键词 动态定量测量 共光路 双窗口 载波干涉 傅立叶变换法
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环形共光路点衍射干涉仪 被引量：2
4
作者 吴亚琴 白福忠 +2 位作者 刘珍 田枫 顾乃庭 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期421-424,共4页
建立了一种基于偏振掩膜板与环形共路结构的点衍射干涉仪,通过旋转偏振片可以改变参考光与测试光之间的相对光强,实现干涉条纹对比度的调节,能够获得最高对比度的干涉条纹,并且针对条纹对比度进行了详细的理论分析;由于系统中线性载频... 建立了一种基于偏振掩膜板与环形共路结构的点衍射干涉仪,通过旋转偏振片可以改变参考光与测试光之间的相对光强,实现干涉条纹对比度的调节,能够获得最高对比度的干涉条纹,并且针对条纹对比度进行了详细的理论分析;由于系统中线性载频幅度极易调节,可以有效地改善傅里叶变换法的相位提取精度;验证性实验被完成。 展开更多
关键词 点衍射干涉仪 光学测量 环形共路结构 条纹对比度 傅里叶变换法
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